Semicondutor O cadinho de quartzo transparente com diâmetro externo de 10-200 mm é um produto de vidro de quartzo de alta pureza projetado especificamente para processos de fabricação de semicondutores. É usado principalmente para transportar e transportar wafers e é amplamente utilizado em processos-chave como difusão, oxidação, limpeza, gravação, etc. na fabricação de semicondutores. A transparência dos cadinhos de quartzo confere-lhes uma vantagem única em processos que requerem luz ou exposição.

Recursos do produto

1. Alta pureza e estabilidade química

-Fabricado em vidro de quartzo de alta pureza (SiO ₂), com pureza superior a 99,9%. Com exceção do ácido fluorídrico, o vidro de quartzo dificilmente reage quimicamente com outras substâncias ácidas e sua resistência aos ácidos é 30 vezes maior que a da cerâmica e 150 vezes maior que a do aço inoxidável.

2. Desempenho de resistência a altas temperaturas

-A temperatura do ponto de amolecimento é de cerca de 1730 ℃, que pode ser usada por um longo tempo a 1100 ℃, e a temperatura mais alta em um curto espaço de tempo pode chegar a 1450 ℃.

3. Estabilidade térmica

-O coeficiente de expansão térmica é extremamente pequeno e pode suportar mudanças drásticas de temperatura. Mesmo quando aquecido a cerca de 1100 ℃ e colocado em água à temperatura ambiente, ele não explodirá.

4. Desempenho de transparência

-Possui boa transparência em toda a faixa espectral do ultravioleta ao infravermelho, com transmitância de luz visível superior a 95%.

5. Desempenho de isolamento elétrico

-O valor da resistência equivale a dez mil vezes o do vidro comum e apresenta bom desempenho elétrico mesmo em altas temperaturas.

Cenários de aplicação

1. Fabricação de semicondutores

-Portador de wafer: cadinhos de quartzo podem conter vários wafers e colocá-los com segurança em equipamentos de fabricação para várias etapas do processo.

-Tratamento de alta temperatura: adequado para processos de alta temperatura, como recozimento térmico e oxidação. Os cadinhos de quartzo permanecem estáveis ​​em ambientes de alta temperatura, protegendo os wafers contra danos.

-Inércia química: Utilizado em diversos ambientes químicos, não reage com os produtos químicos utilizados no processo.

2. Processo de litografia

-A transparência dos cadinhos de quartzo permite atender aos requisitos de iluminação e exposição em processos de fotolitografia.

3. Limpeza e gravação

-No processo de limpeza e gravação, os cadinhos de quartzo podem resistir à corrosão química, garantindo que o wafer não seja contaminado durante o processamento.

Especificações Técnicas

1. Faixa de tamanho

-Diâmetro externo: 10-200mm, pode ser personalizado de acordo com a necessidade do cliente.

2. Requisitos de precisão

-O desvio de comprimento, largura, altura e diâmetro é estritamente controlado, por exemplo, o desvio de diâmetro na faixa de 101-400 mm é de ± 0,5 mm.

3. Grau do material

-Divididos em grau padrão (grau S) e grau de alta pureza (grau H), os cadinhos de quartzo de alta pureza são adequados para processos com requisitos mais elevados de conteúdo de elementos de impureza.

Vantagens e valor

1. Alta precisão e confiabilidade

-Materiais de quartzo de alta pureza e técnicas de processamento de precisão garantem a estabilidade e confiabilidade dos cadinhos de quartzo em ambientes químicos e de alta temperatura.

2. Serviços personalizados

-Podemos personalizar o tamanho e a forma de acordo com as necessidades específicas dos clientes para atender aos diferentes requisitos do processo.

3. Proteção ambiental e durabilidade

-A estabilidade química e térmica do vidro de quartzo proporciona uma vida útil mais longa, reduz a frequência de substituição e reduz os custos de produção.

O cadinho de quartzo transparente semicondutor com diâmetro externo de 10-200 mm tornou-se um componente-chave indispensável na fabricação de semicondutores devido ao seu excelente desempenho e amplos cenários de aplicação. Sua alta pureza, resistência a altas temperaturas, estabilidade química e outras características fornecem fortes garantias para a operação eficiente e estável de processos de semicondutores.

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