반도체 외경 10~200mm의 투명 석영 도가니는 반도체 제조 공정용으로 특별히 설계된 고순도 석영 유리 제품입니다. 주로 웨이퍼의 운반 및 운반에 사용되며, 반도체 제조의 확산, 산화, 세정, 식각 등 핵심 공정에 널리 사용됩니다. 석영 도가니의 투명성은 빛이나 노출이 필요한 공정에서 독특한 이점을 제공합니다.

제품특징

1. 고순도 및 화학적 안정성

- 순도 99.9% 이상의 고순도 석영유리(SiO2)를 사용하였습니다. 석영유리는 불산을 제외하고는 다른 산성 물질과 화학적으로 거의 반응하지 않으며, 내산성은 세라믹의 30배, 스테인리스의 150배에 달합니다.

2. 고온 저항 성능

- 연화점 온도는 약 1730℃로 1100℃에서 장시간 사용이 가능하며, 단시간에 최고 온도는 1450℃에 도달할 수 있다.

3. 열적 안정성

- 열팽창계수가 매우 작아서 급격한 온도 변화에도 견딜 수 있습니다. 1100℃ 정도에서 가열하고 상온의 물에 넣어도 폭발하지 않습니다.

4. 투명성 성능

-자외선부터 적외선까지 전 스펙트럼 범위에서 투명성이 좋으며, 가시광선 투과율은 95% 이상입니다.

5. 전기 절연 성능

- 저항값은 일반 유리의 10,000배에 해당하며, 고온에서도 전기적 성능이 좋습니다.

애플리케이션 시나리오

1. 반도체 제조

-웨이퍼 캐리어: 석영 도가니는 여러 개의 웨이퍼를 수용하고 다양한 공정 단계를 위한 제조 장비에 안전하게 배치할 수 있습니다.

-고온 처리: 열 어닐링, 산화 등의 고온 공정에 적합합니다. 석영 도가니는 고온 환경에서도 안정성을 유지하여 웨이퍼가 손상되지 않도록 보호합니다.

-화학적 불활성: 다양한 화학 환경에서 사용되며 공정에 사용되는 화학 물질과 반응하지 않습니다.

2. 리소그래피 공정

- 석영 도가니의 투명성으로 인해 사진 평판 공정의 조명 및 노광 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

3. 세척 및 에칭

-세정 및 에칭 공정에서 석영 도가니는 화학적 부식을 견딜 수 있어 가공 중에 웨이퍼가 오염되지 않도록 보장합니다.

기술 사양

1. 크기 범위

- 외경 : 10-200mm, 고객 요구에 따라 맞춤 설정할 수 있습니다.

2. 정확도 요구사항

- 길이, 너비, 높이 및 직경의 편차는 엄격하게 제어됩니다. 예를 들어 101-400mm 범위 내 직경의 편차는 ± 0.5mm입니다.

3. 재료 등급

-표준 등급(S등급)과 고순도 등급(H등급)으로 구분되는 고순도 석영 도가니는 불순물 원소 함량에 대한 요구 사항이 높은 공정에 적합합니다.

장점과 가치

1. 높은 정밀도와 신뢰성

- 고순도 석영 재료와 정밀 가공 기술은 고온 및 화학적 환경에서 석영 도가니의 안정성과 신뢰성을 보장합니다.

2. 맞춤형 서비스

- 다양한 프로세스 요구 사항을 충족하기 위해 고객의 특정 요구에 따라 크기와 모양을 맞춤 설정할 수 있습니다.

3. 환경 보호 및 내구성

-석영유리의 화학적, 열적 안정성으로 인해 수명이 길어지고 교체 빈도가 줄어들며 생산 비용이 절감됩니다.

외경이 10-200mm인 반도체 투명 석영 도가니는 뛰어난 성능과 광범위한 적용 시나리오로 인해 반도체 제조에 없어서는 안될 핵심 구성 요소가 되었습니다. 고순도, 고온 저항, 화학적 안정성 및 기타 특성은 반도체 공정의 효율적이고 안정적인 작동을 강력하게 보장합니다.

Luverre Quartz는 석영 튜브, 석영 판, 석영 막대, 석영 창, 석영 도가니, 석영 보트, 석영 플랜지, 석영 비커, 석영 유리 기기 등을 포함한 다양한 고품질 석영 유리를 제조 및 판매합니다. 우리는 석영 유리 제품에 대한 모든 종류의 맞춤형 요구 사항을 충족할 수 있습니다.