La fabricación de semiconductores es el núcleo de la industria de alta tecnología actual y los tubos de vidrio de cuarzo, como materiales de proceso clave, su rendimiento afecta directamente el rendimiento, la eficiencia y la seguridad de la producción de chips. como profesional Fabricante de productos de cuarzo , hemos estado profundamente comprometidos en el campo del comercio exterior durante muchos años, brindando soluciones de cuarzo personalizadas de alto estándar para clientes globales de semiconductores.

La aplicación principal de los tubos de vidrio de cuarzo en la fabricación de semiconductores.

Los tubos de vidrio de cuarzo, con sus propiedades físicas y químicas únicas, se utilizan ampliamente en los siguientes enlaces de procesos de semiconductores:

1. Proceso de oxidación y difusión a alta temperatura: como portador de obleas, transporta gases dopados u oxígeno en un ambiente de alta temperatura.

2. Deposición química de vapor (CVD): sirve como revestimiento en la cámara de reacción para proteger el equipo de gases corrosivos.

3. Proceso de grabado y limpieza: se utiliza para transportar agentes de grabado de alta pureza (como el ácido HF) y agua ultrapura.

4. Sistema de fuente de luz de la máquina de fotolitografía: como material de lente y ventana para fuentes de luz ultravioleta profunda (DUV).

Cinco requisitos de rendimiento principales para tubos de vidrio de cuarzo de grado semiconductor

1. Máxima pureza y baja cristalización

El contenido de impurezas metálicas debe ser inferior a 1 ppm y la tasa de cristalización a altas temperaturas (≥1100 ℃) debe acercarse a 0.

- Resolución de problemas: Evite que las impurezas contaminen la oblea o provoquen que el tubo se agriete debido a la cristalización para garantizar la estabilidad del proceso.

Nuestras ventajas: Al utilizar tecnología de fusión por arco y materias primas de cristal natural de alta pureza, garantizamos que la pureza del producto sea superior al 99,99% y que el punto de cristalización sea de hasta 1250 ℃.

2. Estabilidad a altas temperaturas y resistencia al choque térmico.

El punto de reblandecimiento debe ser superior a 1580 ℃ y el coeficiente de expansión térmica debe ser de solo 5,5×10⁻⁷/℃.

- Resolución de problemas: Evite que el cuerpo de la tubería se agriete en ambientes de enfriamiento y calentamiento repentinos para extender la vida útil del equipo.

Caso de aplicación: una fábrica de chips del sudeste asiático cerró debido al reemplazo frecuente de sus tubos de cuarzo originales, que tenían un rendimiento insuficiente frente al choque térmico. Después de cambiar a nuestros productos, el ciclo de operación continua de la línea de producción se ha triplicado.

3. Inercia química y resistencia a la corrosión.

- Requisitos: Resistente a fuertes gases corrosivos como fluoruro de hidrógeno y cloro, con una tasa de erosión inferior a 0,1 mm al año.

- Resolución de problemas: reduzca el desprendimiento de partículas y la liberación de iones metálicos para garantizar la uniformidad del proceso de grabado.

Nuestra tecnología: mediante el tratamiento de eliminación de hidroxilo de la superficie, la vida útil del producto en entornos HF aumenta en un 50%.

4. Uniformidad óptica y transmitancia ultravioleta.

- Requisitos: La transmitancia en la banda ultravioleta profunda (193 nm) debe ser superior al 90% y no debe haber defectos de burbujas o rayas.

- Resolución de problemas: Garantizar la precisión de la exposición de la máquina de fotolitografía y evitar la distorsión gráfica.

Verificación del cliente: después de que los fabricantes europeos de equipos de litografía adoptaran nuestros tubos de cuarzo, la precisión del control de errores del ancho de la línea de oblea se mejoró al nivel nanométrico.

5. Dimensiones precisas y capacidades de personalización.

- Requisitos: Tolerancia del diámetro de la tubería ±0,1 mm, uniformidad del espesor de la pared > 95 %, soporte para diseño de estructura irregular.

- Resolución de problemas: Haga coincidir las interfaces de los equipos automatizados para reducir las perturbaciones en el campo del flujo de gas.

Nuestro servicio: Confiando en el procesamiento de precisión CNC y los sistemas de inspección 3D, brindamos a los clientes una solución integral de 'diseño - producción - pruebas'.

¿Por qué elegirnos?

1. Tenemos más experiencia.

Contamos con más de 18 años de experiencia en la fabricación de productos de cuarzo fundido.

2. Somos más eficientes.

Respondemos a las solicitudes de los clientes en un plazo de 24 horas. Contamos con un eficiente equipo de producción, ingeniería y ventas.

3. Nuestra calidad está más garantizada.

Controlamos la calidad desde bloques de cuarzo fundido hasta arena de cuarzo fundido y luego hasta productos de cuarzo fundido. Nuestro control de calidad es mejor y más estricto que el de otros fabricantes.

4. Somos capaces de fabricar productos de cuarzo fundido que son más desafiantes.

Contamos con grandes plataformas de molienda y máquinas de grabado de precisión, que nos permiten producir placas y tubos de sílice fundida de gran tamaño y productos de sílice fundida de precisión de gran tamaño.

Casos de clientes reales (tratamiento anonimizado)

- Antecedentes del cliente: fundición de semiconductores, línea de producción de obleas de 8 pulgadas.

Punto débil: durante el proceso de oxidación, los tubos de cuarzo frecuentemente se cristalizan, lo que resulta en la necesidad de apagar la máquina para reemplazarla cada 200 horas.

Solución: Personalice tubos de cuarzo con bajo contenido de hidroxilo (contenido de OH < 5 ppm) y optimice la curva del proceso de recocido.

- Logros: Se ha ampliado la vida útil del producto a 800 horas y se ha reducido el coste de mantenimiento anual en 300.000 dólares estadounidenses.

Aunque los tubos de vidrio de cuarzo son componentes pequeños, son el 'salvavidas' de la fabricación de semiconductores. Al cumplir con precisión los requisitos de pureza, termología, química y óptica, ayudamos a nuestros clientes a superar los cuellos de botella en los procesos y lograr una reducción de costos y una mejora de la eficiencia.

¿Qué problemas o desafíos ha encontrado durante el uso de su producto? ¡Bienvenido a dejar un mensaje y comunicarse con nosotros!

Luverre Quartz puede fabricar tubos de cuarzo personalizados en varias formas, como espirales, cuadrados, redondos, con procesamiento que incluye corte, doblado, soldadura, etc., y disponibles en diferentes colores, como tubos de cuarzo transparentes, tubos de cuarzo opacos, tubos de cuarzo blanco lechoso, tubos de cuarzo rojo, etc.