A fabricação de semicondutores está no centro da indústria de alta tecnologia atual, e os tubos de vidro de quartzo, como principais materiais de processo, seu desempenho afetam diretamente o rendimento, a eficiência e a segurança da produção de chips. Como profissional fabricante de produtos de quartzo , estamos profundamente engajados no campo do comércio exterior há muitos anos, fornecendo soluções de quartzo personalizadas de alto padrão para clientes globais de semicondutores.

A principal aplicação de tubos de vidro de quartzo na fabricação de semicondutores

Os tubos de vidro de quartzo, com suas propriedades físicas e químicas únicas, são amplamente utilizados nas seguintes ligações de processos de semicondutores:

1. Processo de difusão e oxidação em alta temperatura: Como transportador de wafer, ele transporta gases dopados ou oxigênio em um ambiente de alta temperatura.

2. Deposição Química de Vapor (CVD): Serve como revestimento na câmara de reação para proteger o equipamento de gases corrosivos.

3. Processo de gravação e limpeza: É usado para transportar agentes de gravação de alta pureza (como ácido HF) e água ultrapura.

4. Sistema de fonte de luz para máquina de fotolitografia: Como material de lente e janela para fontes de luz ultravioleta profunda (DUV).

Cinco principais requisitos de desempenho para tubos de vidro de quartzo de grau semicondutor

1. Pureza final e baixa cristalização

O conteúdo de impurezas metálicas deve ser inferior a 1 ppm e a taxa de cristalização em altas temperaturas (≥1100°C) deve se aproximar de 0.

- Solução de problemas: Evite que impurezas contaminem o wafer ou causem rachaduras no tubo devido à cristalização para garantir a estabilidade do processo.

Nossas vantagens: Ao usar tecnologia de fusão de arco e matérias-primas de cristal natural de alta pureza, garantimos que a pureza do produto seja superior a 99,99% e o ponto de cristalização seja tão alto quanto 1250 ℃.

2. Estabilidade em altas temperaturas e resistência ao choque térmico

O ponto de amolecimento deve ser superior a 1580 ℃ e o coeficiente de expansão térmica deve ser de apenas 5,5×10⁻⁷/℃.

- Solução de problemas: Evite que o corpo do tubo rache em ambientes repentinos de resfriamento e aquecimento para prolongar a vida útil do equipamento.

Caso de aplicação: Uma fábrica de chips do Sudeste Asiático foi fechada devido à substituição frequente de seus tubos de quartzo originais, que apresentavam desempenho insuficiente de choque térmico. Depois de mudar para nossos produtos, o ciclo de operação contínua da linha de produção aumentou três vezes.

3. Inércia química e resistência à corrosão

- Requisitos: Resistente a gases corrosivos fortes como fluoreto de hidrogênio e cloro, com taxa de erosão inferior a 0,1mm por ano.

- Solução de problemas: Reduza o derramamento de partículas e a liberação de íons metálicos para garantir a uniformidade do processo de gravação.

Nossa tecnologia: Através do tratamento de remoção de hidroxila superficial, a vida útil do produto em ambientes HF aumenta em 50%.

4. Uniformidade óptica e transmitância ultravioleta

- Requisitos: A transmitância na banda ultravioleta profunda (193 nm) deve ser superior a 90% e não deve haver defeitos de bolhas ou faixas.

- Resolução de problemas: Garanta a precisão da exposição da máquina fotoligráfica e evite distorções gráficas.

Verificação do cliente: Depois que os fabricantes europeus de equipamentos de litografia adotaram nossos tubos de quartzo, a precisão do controle de erro de largura da linha do wafer foi melhorada para o nível nanométrico.

5. Dimensões precisas e recursos de personalização

- Requisitos: Tolerância de diâmetro do tubo ± 0,1 mm, uniformidade de espessura de parede> 95%, suporte para projeto de estrutura irregular.

- Resolução de problemas: Combine as interfaces de equipamentos automatizados para reduzir perturbações no campo de fluxo de gás.

Nosso serviço: Contando com processamento de precisão CNC e sistemas de inspeção 3D, oferecemos aos clientes uma solução completa de 'design - produção - teste'.

Por que nos escolher?

1. Temos mais experiência.

Temos mais de 18 anos de experiência na fabricação de produtos de quartzo fundido.

2. Somos mais eficientes.

Respondemos às solicitações dos clientes em 24 horas. Temos uma equipe eficiente de produção, engenharia e vendas.

3. Nossa qualidade é mais garantida.

Controlamos a qualidade desde blocos de quartzo fundido até areia de quartzo fundido e depois produtos de quartzo fundido. Nosso controle de qualidade é melhor e mais rigoroso que o de outros fabricantes.

4. Somos capazes de fabricar produtos de quartzo fundido que são mais desafiadores.

Temos grandes plataformas de moagem e máquinas de gravação de precisão, o que nos permite produzir placas de sílica fundida de grande porte, tubos e produtos de sílica fundida de precisão de alto tamanho.

Casos reais de clientes (processamento anonimizado)

- Histórico do cliente: Fundição de semicondutores, linha de produção de wafer de 8 polegadas.

Ponto problemático: Durante o processo de oxidação, os tubos de quartzo freqüentemente sofrem cristalização, resultando na necessidade de desligar a máquina para substituição a cada 200 horas.

Solução: Personalize tubos de quartzo com baixo teor de hidroxila (teor de OH <5ppm) e otimize a curva do processo de recozimento.

- Conquistas: A vida útil do produto foi estendida para 800 horas e o custo anual de manutenção foi reduzido em 300.000 dólares americanos.

Embora os tubos de vidro de quartzo sejam componentes pequenos, eles são a “tábua de salvação” da fabricação de semicondutores. Ao atender com precisão aos requisitos de pureza, termologia, química e óptica, ajudamos nossos clientes a superar gargalos de processo e obter redução de custos e melhoria de eficiência.

Que problemas ou desafios você encontrou durante o uso do seu produto? Bem-vindo a deixar uma mensagem e se comunicar conosco!

Luverre Quartz pode fabricar tubos de quartzo personalizados em vários formatos, como espiral, quadrado, redondo, com processamento incluindo corte, dobra, soldagem, etc., e disponíveis em diversas cores, como tubos de quartzo transparentes, tubos de quartzo opacos, tubos de quartzo branco leitoso, tubos de quartzo vermelho e assim por diante.