De productie van halfgeleiders vormt de kern van de hedendaagse hightechindustrie, en de prestaties van kwartsglasbuizen, als belangrijke procesmaterialen, hebben een directe invloed op de opbrengst, efficiëntie en veiligheid van de chipproductie. Als professional Fabrikant van kwartsproducten , we zijn al vele jaren nauw betrokken bij de buitenlandse handel en bieden hoogwaardige, op maat gemaakte kwartsoplossingen voor wereldwijde halfgeleiderklanten.

De kerntoepassing van kwartsglasbuizen bij de productie van halfgeleiders

Kwartsglasbuizen, met hun unieke fysische en chemische eigenschappen, worden veel gebruikt in de volgende halfgeleiderprocesverbindingen:

1. Diffusie- en oxidatieproces bij hoge temperaturen: als wafeldrager transporteert het gedoteerde gassen of zuurstof in een omgeving met hoge temperaturen.

2. Chemische dampafzetting (CVD): Het dient als voering in de reactiekamer om de apparatuur tegen corrosieve gassen te beschermen.

3. Ets- en reinigingsproces: het wordt gebruikt voor het transporteren van zeer zuivere etsmiddelen (zoals HF-zuur) en ultrapuur water.

4. Lichtbronsysteem voor fotolithografiemachines: als lens- en venstermateriaal voor diep-ultraviolette (DUV) lichtbronnen.

Vijf belangrijke prestatie-eisen voor kwartsglasbuizen van halfgeleiderkwaliteit

1. Ultieme zuiverheid en lage kristallisatie

Het gehalte aan metaalonzuiverheden moet minder dan 1 ppm zijn en de kristallisatiesnelheid bij hoge temperaturen (≥1100℃) moet de 0 benaderen.

- Probleemoplossing: Voorkom dat onzuiverheden de wafer vervuilen of ervoor zorgen dat de buis barst als gevolg van kristallisatie om processtabiliteit te garanderen.

Onze voordelen: Door gebruik te maken van boogsmelttechnologie en zeer zuivere natuurlijke kristalgrondstoffen, zorgen we ervoor dat de productzuiverheid meer dan 99,99% bedraagt ​​en het kristallisatiepunt zo hoog is als 1250 ℃.

2. Stabiliteit bij hoge temperaturen en weerstand tegen thermische schokken

Het verwekingspunt moet hoger zijn dan 1580℃ en de thermische uitzettingscoëfficiënt mag slechts 5,5×10⁻⁷/℃ zijn.

- Probleemoplossing: voorkom dat het leidinglichaam barst bij plotselinge koel- en verwarmingsomgevingen om de levensduur van de apparatuur te verlengen.

Toepassingsvoorbeeld: Een chipsfabriek in Zuidoost-Azië werd gesloten vanwege de frequente vervanging van de originele kwartsbuizen, die onvoldoende thermische schokprestaties hadden. Na de overstap op onze producten is de continue bedrijfscyclus van de productielijn drie keer zo groot geworden.

3. Chemische inertie en corrosieweerstand

- Vereisten: Bestand tegen sterk corrosieve gassen zoals waterstoffluoride en chloor, met een erosiesnelheid van minder dan 0,1 mm per jaar.

- Probleemoplossing: Verminder het afstoten van deeltjes en het vrijkomen van metaalionen om de uniformiteit van het etsproces te garanderen.

Onze technologie: Door een behandeling met oppervlaktehydroxylverwijdering wordt de levensduur van het product in HF-omgevingen met 50% verlengd.

4. Optische uniformiteit en ultraviolette transmissie

- Vereisten: De transmissie in de diepe ultraviolette band (193 nm) moet groter zijn dan 90% en er mogen geen bel- of streepdefecten zijn.

- Probleemoplossing: zorg voor de belichtingsnauwkeurigheid van de fotolithografiemachine en vermijd grafische vervorming.

Klantverificatie: Nadat Europese fabrikanten van lithografieapparatuur onze kwartsbuizen hadden overgenomen, werd de nauwkeurigheid van de foutcontrole van de waferlijnbreedte verbeterd tot op nanometerniveau.

5. Nauwkeurige afmetingen en aanpassingsmogelijkheden

- Vereisten: Tolerantie buisdiameter ±0,1 mm, uniformiteit van de wanddikte > 95%, ondersteuning voor onregelmatig structuurontwerp.

- Probleemoplossing: stem de interfaces van geautomatiseerde apparatuur af om verstoringen in het gasstroomveld te verminderen.

Onze service: Wij vertrouwen op CNC-precisieverwerking en 3D-inspectiesystemen en bieden klanten een totaaloplossing van 'ontwerp - productie - testen'.

Waarom voor ons kiezen?

1. We hebben meer ervaring.

We hebben meer dan 18 jaar ervaring in de productie van gesmolten kwartsproducten.

2. We zijn efficiënter.

Wij reageren binnen 24 uur op verzoeken van klanten. We hebben een efficiënt productie-, engineering- en verkoopteam.

3. Onze kwaliteit is meer gegarandeerd.

Wij controleren de kwaliteit van gesmolten kwartsblokken tot gesmolten kwartszand en vervolgens tot gesmolten kwartsproducten. Onze kwaliteitscontrole is beter en strenger dan die van andere fabrikanten.

4. Wij zijn in staat gesmolten kwartsproducten te vervaardigen die een grotere uitdaging vormen.

We beschikken over grote slijpplatforms en precisie-etsmachines, waarmee we grote platen, buizen en precisie-glasplaatproducten van grote afmetingen kunnen produceren.

Echte klantcases (geanonimiseerde verwerking)

- Klantachtergrond: een halfgeleidergieterij, productielijn voor 8-inch wafers.

Pijnpunt: Tijdens het oxidatieproces ondergaan kwartsbuizen vaak kristallisatie, wat resulteert in de noodzaak om de machine elke 200 uur uit te schakelen voor vervanging.

Oplossing: Pas kwartsbuizen met een laag hydroxylgehalte aan (OH-gehalte < 5 ppm) en optimaliseer de curve van het gloeiproces.

- Prestaties: De levensduur van het product is verlengd tot 800 uur en de jaarlijkse onderhoudskosten zijn met 300.000 dollar verlaagd.

Hoewel kwartsglasbuizen kleine onderdelen zijn, vormen ze de 'levensader' van de halfgeleiderproductie. Door nauwkeurig te voldoen aan de eisen op het gebied van zuiverheid, thermologie, chemie en optica, helpen wij onze klanten procesknelpunten te doorbreken en kostenreductie en efficiëntieverbetering te realiseren.

Welke problemen of uitdagingen bent u tegengekomen tijdens het gebruik van uw product? Welkom om een ​​bericht achter te laten en met ons te communiceren!

Luverre Quartz kan kwartsbuizen op maat vervaardigen in verschillende vormen, zoals spiraalvormig, vierkant, rond, met bewerkingen zoals snijden, buigen, lassen, enz., en verkrijgbaar in verschillende kleuren, zoals transparante kwartsbuizen, ondoorzichtige kwartsbuizen, melkachtig witte kwartsbuizen, rode kwartsbuizen, enzovoort.