La fabrication de semi-conducteurs est aujourd'hui au cœur de l'industrie de haute technologie, et les tubes en verre de quartz, en tant que matériaux clés du processus, leurs performances affectent directement le rendement, l'efficacité et la sécurité de la production de puces. En tant que professionnel Fabricant de produits à quartz , nous sommes profondément engagés dans le domaine du commerce extérieur depuis de nombreuses années, fournissant des solutions de quartz personnalisées de haut niveau aux clients mondiaux de semi-conducteurs.

L'application principale des tubes en verre de quartz dans la fabrication de semi-conducteurs

Les tubes en verre de quartz, avec leurs propriétés physiques et chimiques uniques, sont largement utilisés dans les processus de semi-conducteurs suivants :

1. Processus de diffusion et d'oxydation à haute température : en tant que support de plaquette, il transporte des gaz dopés ou de l'oxygène dans un environnement à haute température.

2. Dépôt chimique en phase vapeur (CVD) : Il sert de revêtement dans la chambre de réaction pour protéger l'équipement des gaz corrosifs.

3. Processus de gravure et de nettoyage : il est utilisé pour transporter des agents de gravure de haute pureté (tels que l'acide HF) et de l'eau ultra pure.

4. Système de source lumineuse de machine de photolithographie : comme matériau de lentille et de fenêtre pour les sources de lumière ultraviolette profonde (DUV).

Cinq exigences de performance majeures pour les tubes en verre de quartz de qualité semi-conducteur

1. Pureté ultime et faible cristallisation

La teneur en impuretés métalliques doit être inférieure à 1 ppm et le taux de cristallisation à haute température (≥ 1 100 ℃) doit s'approcher de 0.

- Résolution de problèmes : empêchez les impuretés de contaminer la plaquette ou de provoquer la fissuration du tube en raison de la cristallisation afin de garantir la stabilité du processus.

Nos avantages : en utilisant la technologie de fusion à l'arc et des matières premières de cristaux naturels de haute pureté, nous garantissons que la pureté du produit est supérieure à 99,99 % et que le point de cristallisation atteint 1 250 ℃.

2. Stabilité à haute température et résistance aux chocs thermiques

Le point de ramollissement doit être supérieur à 1 580 ℃ et le coefficient de dilatation thermique ne doit être que de 5,5 × 10⁻⁷/℃.

- Résolution de problèmes : empêche le corps du tuyau de se fissurer dans des environnements de refroidissement et de chauffage soudains pour prolonger la durée de vie de l'équipement.

Cas d'application : Une usine de puces en Asie du Sud-Est a été fermée en raison du remplacement fréquent de ses tubes de quartz d'origine, qui présentaient des performances insuffisantes en matière de choc thermique. Après le passage à nos produits, le cycle de fonctionnement continu de la ligne de production a été multiplié par trois.

3. Inertie chimique et résistance à la corrosion

- Exigences : Résistant aux gaz fortement corrosifs tels que le fluorure d'hydrogène et le chlore, avec un taux d'érosion inférieur à 0,1 mm par an.

- Résolution de problèmes : Réduisez la perte de particules et la libération d'ions métalliques pour garantir l'uniformité du processus de gravure.

Notre technologie : Grâce au traitement d'élimination des hydroxyles de surface, la durée de vie du produit dans les environnements HF est augmentée de 50 %.

4. Uniformité optique et transmission ultraviolette

- Exigences : La transmission dans la bande ultraviolette profonde (193 nm) doit être supérieure à 90 % et il ne doit y avoir aucun défaut de bulle ou de bande.

- Résolution de problèmes : Assurer la précision de l'exposition de la machine de photolithographie et éviter les distorsions graphiques.

Vérification du client : après que les fabricants européens d'équipements de lithographie ont adopté nos tubes de quartz, la précision du contrôle des erreurs de largeur de ligne de plaquette a été améliorée jusqu'au niveau nanométrique.

5. Dimensions précises et capacités de personnalisation

- Exigences : tolérance du diamètre du tuyau ±0,1 mm, uniformité de l'épaisseur de paroi > 95 %, prise en charge d'une conception de structure irrégulière.

- Résolution de problèmes : Faire correspondre les interfaces des équipements automatisés pour réduire les perturbations dans le champ d'écoulement des gaz.

Notre service : S'appuyant sur un traitement de précision CNC et des systèmes d'inspection 3D, nous fournissons aux clients une solution unique de « conception – production – test ».

Pourquoi nous choisir ?

1. Nous avons plus d’expérience.

Nous avons plus de 18 ans d’expérience dans la fabrication de produits en quartz fondu.

2. Nous sommes plus efficaces.

Nous répondons aux demandes des clients dans les 24 heures. Nous disposons d’une équipe de production, d’ingénierie et de vente efficace.

3. Notre qualité est plus garantie.

Nous contrôlons la qualité des blocs de quartz fondu au sable de quartz fondu, puis aux produits de quartz fondu. Notre contrôle qualité est meilleur et plus strict que celui des autres fabricants.

4. Nous sommes capables de fabriquer des produits en quartz fondu plus exigeants.

Nous disposons de grandes plates-formes de broyage et de machines de gravure de précision, qui nous permettent de produire des plaques de silice fondue de grande taille, des tubes et des produits en silice fondue de précision de grande taille.

Cas clients réels (traitement anonymisé)

- Contexte client : Une fonderie de semi-conducteurs, ligne de production de plaquettes de 8 pouces.

Point problématique : pendant le processus d’oxydation, les tubes de quartz subissent fréquemment une cristallisation, ce qui entraîne la nécessité d’arrêter la machine pour un remplacement toutes les 200 heures.

Solution : Personnalisez les tubes de quartz à faible teneur en hydroxyle (teneur en OH < 5 ppm) et optimisez la courbe du processus de recuit.

- Réalisations : La durée de vie du produit a été prolongée à 800 heures et le coût de maintenance annuel a été réduit de 300 000 dollars américains.

Bien que les tubes en verre de quartz soient de petits composants, ils constituent la « bouée de sauvetage » de la fabrication de semi-conducteurs. En répondant précisément aux exigences de pureté, de thermologie, de chimie et d'optique, nous aidons nos clients à surmonter les goulots d'étranglement des processus et à réduire les coûts et à améliorer l'efficacité.

Quels problèmes ou défis avez-vous rencontrés lors de l’utilisation de votre produit ? Bienvenue à laisser un message et à communiquer avec nous !

Luverre Quartz peut fabriquer des tubes de quartz personnalisés de différentes formes, telles que spirale, carré, rond, avec un traitement comprenant la découpe, le pliage, le soudage, etc., et disponibles en différentes couleurs, telles que des tubes de quartz transparents, des tubes de quartz opaques, des tubes de quartz blanc laiteux, des tubes de quartz rouge, etc.