5–10 mm JGS1 透明 UV 石英板

の 5 ～ 10 mm JGS1 透明 UV 石英板は、 遠紫外から近赤外のスペクトル向けに特別に設計された高性能光学窓材です。高純度の合成石英から作られており、優れた分光透過率、極めて低い熱膨張係数、優れた化学的安定性を備えています。この厚み範囲の石英板は機械的強度と平坦度に優れ、高い光透過率を確保できるため、精密光学系には欠かせない基幹部品となります。

よくある質問 (FAQ)

Q1: JGS1 透明 UV 石英プレートと JGS2、JGS3 の基本的な違いは何ですか?

A: JGS1は合成石英を原料とした遠紫外用光学石英ガラスです。非常に高い透過率を備え、185 ～ 2500 nm の波長範囲に吸収帯がないため、特に短波長の紫外線用途に適しています。 JGS2 は主に 220 ～ 2500 nm の波長範囲で使用され、JGS3 は 260 ～ 3500 nm の範囲の赤外線アプリケーションを対象としています。

Q2: 厚さ 5 ～ 10 mm の石英板の光学的な利点は何ですか?

A: 5 ～ 10 mm は、精密光学窓やレーザー保護に一般的に使用される厚さです。この仕様により、紫外域から近赤外域まで極めて高い透過率（可視光域での透過率93％以上）を維持しながら、優れた表面平坦性（例：λ/10）と極めて低い平行度偏差を実現し、光路差や波面歪みを効果的に低減します。

Q3: 御社はカスタムサイズや特殊なコーティングサービスを提供できますか?

A: もちろんです。外径1mmから600mm超までの特注加工を、板厚公差±0.05mm以内で承ります。また、クリーンルーム設備により、片面・両面の反射防止（AR）コート、高反射（HR）コート、各種保護コートなどの精密コーティングサービスもサポートしております。

Q4: このタイプの石英板は、高温または酸性/アルカリ性の高い環境でも安定ですか?

答え: 非常に安定しています。 JGS1石英板は軟化点が1730℃と高く、1100℃でも長期使用が可能です。フッ化水素酸を除いて、酸性物質とはほとんど反応しません。耐酸性はステンレス鋼の 150 倍であり、極端な化学的および熱的環境にも完全に耐えることができます。

ユーザーの中核的なニーズと課題に対処する

実際の精密光学の研究開発や工業生産では、ユーザーは、従来のガラスによる紫外スペクトルの深刻な吸収、高温環境での変形や飛散、腐食性の高い環境での窓板の耐用年数の短さなどの課題に直面することがよくあります。 5 ～ 10 mm JGS1 透明 UV 石英プレートは、これらの課題を克服するために特別に設計されました。遠紫外から近赤外までのスペクトル全体にわたって高忠実度の光伝送を保証するだけでなく、スペクトル分析における信号減衰の問題を解決します。極めて低い熱膨張係数と卓越した熱衝撃耐性により、高出力レーザーや高温炉チャンバーの観察窓における熱応力破壊のリスクを完全に排除します。さらに、その非常に高い化学的不活性により、半導体エッチングや特殊な光源などの要求の厳しい用途に長期にわたるメンテナンス不要の光学バリアが提供され、ユーザーの機器メンテナンスコストが大幅に削減されます。

光学性能の利点

JGS1 の平均透過率は 185 ～ 2500 nm の波長範囲で約 90% で、透過率値は 185 nm で >85%、200 nm で >85%、220 nm で >85%、240 nm で >87%、および 300 nm で >90% です。板厚5～10mmで深紫外領域でも高い透過率を維持します。さらに、全波長範囲にわたって粒子のない構造と低蛍光を特徴としており、純粋な光路を確保します。

物理的および化学的安定性

密度: 2.20 g/cm³;屈折率: 1.4586 (588 nm);熱膨張係数が極めて低い。優れた耐熱衝撃性。酸およびアルカリ腐食に耐性があります（フッ酸および高温リン酸を除く）。急激な温度変化や腐食環境下でも長期安定動作が可能です。

カスタマイズ機能

標準の厚さは 5 mm、6 mm、8 mm、10 mm で、特定の要件に合わせて長さと幅の寸法をカスタマイズできます。 4×4mmなどの小型部品から大型パネルまで加工可能です。付加価値サービスには、精密エッジ研磨、保護面取り、表面コーティング (反射防止または反射コーティング) が含まれます。

お客様の適用事例

事例 1: 半導体製造装置メーカー – リソグラフィー装置のアライメント システム ウィンドウ

顧客の要件: 厚さ 8 mm、寸法 120 × 80 mm の長方形の JGS1 ウィンドウ。193 nm で >80% の透過率、λ/4 の表面プロファイル精度、および 40 ～ 20 の表面品質が必要です。

解決策: 精密に研磨、研磨された高純度合成 JGS1 ブランクを使用しました。表面プロファイルは干渉計を使用して測定され、透過率は紫外分光光度計で検証されました。納入された製品は、193 nm での測定透過率 82.3% と表面形状精度 λ/6 を達成しました。顧客は最初の試行で製品を受け入れ、それ以来、次世代の機器アップグレードに使用するために大量注文を行っています。

ケーススタディ 2: 研究機関 - 真空紫外反応チャンバーのビューポート

顧客の要件: 真空チャンバー (10-6 Pa) での使用を目的とした、直径 150 mm、厚さ 10 mm の円形 JGS1 ウィンドウ。ウィンドウは 200°C でのベーキングに耐え、200 nm で >80% の透過率を達成する必要があります。

解決策: 真空シールの要件を満たすために、エッジ研磨プロセスを最適化し、平行度を 10 秒角以内に制御しました。納品後の実際の透過率テストでは 200 nm で 81.5% と測定されました。ウィンドウは真空密閉テストに合格し、6 か月以上連続して動作し続けていますが、性能が低下することはありません。

事例 3: 環境監視機器会社 - オンライン水質分析装置の光学窓

お客様の要件: 深紫外 (254 nm) 分解および検出光路用の直径 25 mm、厚さ 5 mm の JGS1 ウィンドウ。加水分解に対する耐性と、水に長期間浸漬しても迷光がないことが必要です。

解決策: 精密研磨を採用して表面粗さを 0.5 nm 未満に抑え、洗浄プロセスを最適化しました。納品後、透過率の一貫性は±0.5%に達し、窓の表面には傷や汚れはありませんでした。その後、顧客はそれを標準部品表に含めるようになりました。

私たちを選ぶ理由

Luverre Quartz は、クォーツ製品の専門ソース メーカーとして、超クリーンなクラス 1,000 のクリーンルームを運営し、数十台の高精度輸入機械加工機およびコーティング機を利用しています。原材料の溶解、CNC精密加工から両面研削、研磨、光学コーティングに至るまで、全工程を社内で徹底した品質管理を行っております。標準仕様であっても、非常に複雑なカスタム形状であっても、当社は世界中のお客様に、試作から量産までのワンストップ OEM/ODM サービスを、競争力の高い価格と安定した品質で提供します。

標準仕様が必要な場合も、完全にカスタマイズされた寸法が必要な場合も、単一のサンプルまたは大量購入の場合でも、製品選択のアドバイスやお見積りについては、いつでもお気軽にお問い合わせください。

Luverre Quartz は 、さまざまな水晶板の製造に重点を置いているメーカーです。お客様のご要望に応じて、正方形、円形、楕円形、その他の特殊な形状のデザインなど、さまざまなサイズや形状のカスタマイズされた水晶板を製造できます。加工には切断、曲げ、溶接などがあり、透明な石英板、不透明な石英板、乳白色の石英板などさまざまな色があります。