高精度のスロット付き石英プレートは 、半導体、太陽光発電、光学、精密機器の分野における重要な基礎材料です。加工精度、表面品質、寸法安定性は、端末機器の性能と歩留まりに直接影響します。石英製品のカスタマイズ専門メーカーとして、当社はマイクロメートルレベルの公差制御を備えた高精度のスロット付き石英プレートを提供し、複雑な構造加工、高清浄度要件、および特殊サイズのカスタマイズにおける顧客の中核問題を解決することに重点を置いています。半導体製造におけるウェーハのローディング、光学システムにおける高精度の位置決め、または実験室環境における耐食容器のいずれであっても、当社は高度な CNC 加工技術と厳格な品質管理を通じて、設計から量産までのワンストップ ソリューションをお客様に提供し、すべての石英プレートがお客様のアプリケーション シナリオに完全に適合することを保証します。

高精度スロット付き石英プレートの核となる価値とユーザーの需要

半導体、太陽光発電、精密光学などのハイテク産業では、石英シートの加工精度と材料純度が生産効率を制限する重要な要因となっています。従来の処理方法では、次の 3 つの主要な課題に直面することがよくあります。

寸法公差が管理できない： 通常の機械加工では公差を±0.05mm以内に管理することが難しく、装置組立時に隙間や応力集中が発生し、装置の安定性に影響を与えます。

頻繁な表面欠陥: 処理中に微小な亀裂、傷、またはエッジの破損が発生しやすく、半導体のクリーンルーム環境では粒子汚染の原因となり、ウェーハの歩留まりが低下する可能性があります。

複雑な構造の処理のボトルネック: マルチスロット、不規則なスロット、または深いスロット構造の場合、従来のプロセスでは、垂直でないスロット壁や不均一なスロット底などの問題が発生しやすく、正確な位置決めの要件を満たすことができません。

当社の高精度溝付き石英板は、マイクロメートルレベルの加工技術により、寸法公差±0.02mm以内、表面粗さRa≦0.4μmを安定制御し、上記課題を完全に解決しました。光電拡散炉に使用される石英ボートキャリアであっても、半導体エッチング装置の電極基板であっても、高温および強い腐食環境下での構造の完全性を確保し、装置の耐用年数を延ばし、メンテナンスコストを削減します。

素材から職人技まで

当社の競争力の核心は、石英素材の特性に対する深い理解と高度な加工技術の組み合わせにあります。

ミクロンレベルの加工精度

公差制御： ハイエンドのCNCマシニングセンターとレーザー測定システムを使用して、溝幅、溝深さ、溝間隔などの主要な寸法をマイクロメートルレベルで制御（±0.02mm）し、精密位置決めに対する半導体装置の厳しい要件を満たします。

表面品質： 精密な研削および研磨プロセスにより、溝壁の垂直度は99.8％以上、溝底の平坦度は0.01mm以下が確保され、微小な亀裂やエッジの破損がなく、粒子の汚染が回避されます。

高純度の材料保証

原料純度： 東海県産の高品質で高純度の珪砂が選択され、二酸化ケイ素含有量が99.99％以上、金属不純物含有量が5ppm未満で、石英板が高温（1100℃）で結晶化したり変形したりしないことを保証します。

熱安定性： 熱膨張係数が0.55×10⁻⁶/℃と低いため、室温から1200℃までの急激な温度変化にも耐えられ、光電拡散炉や半導体アニール装置などの高温シナリオに適しています。

カスタマイズされたサービス機能

サイズ範囲: 10mm × 10mm ～ 1500mm × 800mm の超大型サイズの加工をサポートし、厚さの範囲は 0.5mm ～ 100mm で、さまざまな装置の設置要件を満たします。

溝設計： U字溝、V字溝、T字溝、段付き溝などのさまざまな溝タイプを加工できます。最小溝幅は0.3mmに達し、最大溝深さは50mmに達することができます。複数の溝位置の並列処理をサポートします。

特殊加工： ARコーティング、超精密研磨、石英金属封止などの付加価値サービスを提供し、光学・半導体分野の製品の応用シーンを拡大します。

応用シナリオと問題解決

当社の石英プレートはさまざまな分野で広く使用されており、お客様が実際の生産における重要な問題を解決するのに役立ちます。

半導体製造

問題点： あるウエハ工場のエッチング工程で使用されている石英基板は溝精度が不十分で、ウエハの位置ずれが発生し、歩留まり率が92%となっている。

解決策: スロット公差±0.02mmの石英基板をカスタマイズし、スロット壁の垂直度を99.9%に高め、超清浄研磨技術を使用してウェーハ歩留まりを98.5%に高め、年間500万元以上の損失を削減します。

太陽光発電産業

問題: 太陽光発電会社は拡散炉で従来の石英ボートサポートを使用していますが、これにより高温変形によりシリコンウェーハが不均一に加熱され、セル効率が±0.3%変動します。

解決策: ボートキャリアの加工には高純度の石英素材を使用し、アニール処理により内部応力を除去します。 1100℃で1000時間連続使用しても変形量は0.1mm未満で、電池セル効率の安定性は±0.1％に向上した。

光学機器

質問: ある研究機関では、紫外分光分析用に、透過率が 99% 以上 @ 200 ～ 400nm で、表面に傷がない石英窓板を必要としています。

解決策: Ra ≤ 0.2 μ m の両面研磨石英板を使用し、AR コーティング処理により透過率を 99.5% に高め、精密な光学実験の要件を満たします。

お客様の適用事例

事例1：某大学の材料研究室

要件: 複雑なスパイラル凝縮構造と 1200 ℃ の耐熱性を備えた、高温焼結実験用の石英るつぼのセットをカスタマイズします。

課題: 以前は、複雑な構造と高い公差要件 (± 0.05mm) のため、サプライヤー 3 社すべてが注文をキャンセルする必要がありました。

解決プロセス: 技術チームは、セグメント化処理と真空溶接技術を使用して 3D モデリングを通じて応力分布をシミュレーションし、15 日間でサンプリングを完了しました。テスト後、るつぼは変形することなく1200℃で200時間連続使用され、研究室による新しいセラミック材料の焼結実験の完了に成功しました。

事例 2: 新エネルギー太陽光発電企業

要件: 必要な耐用年数が 300 時間以上、不純物含有量が 3ppm 未満の、単結晶シリコン成長炉用の石英るつぼの一括購入。

解決策: るつぼは連続溶解プロセスを使用して製造され、内壁の平滑度は AI 外観検査システムによって制御されるため、製品の耐用年数は 400 時間に延長され、平均年間調達コストが 25% 削減されます。

事例 3: 半導体製造装置メーカー

要件: エッチング装置用にカスタマイズされた石英電極基板。マイクロクラックのない 200 個の微細孔 (直径 0.5 mm、間隔 1 mm) の加工が必要です。

ソリューション: レーザー穴あけと精密研削技術を採用し、穴位置精度は±0.01mm以内に制御され、表面粗さRaは≤0.3μmです。 SEMI規格の試験に合格し、同社のハイエンドエッチング装置に広く採用されています。

私たちを選ぶ理由

ソースファクトリーの利点: 東海県の石英鉱物資源に依存しており、原料の精製から最終製品の加工までの全プロセスを独立して制御でき、コストは業者よりも15%〜20%低くなります。

技術チームの強み: 20 年以上の水晶加工経験を持つ 20 人以上の技術スタッフが、最小 3 日のサンプリング サイクルで顧客のカスタマイズされたニーズに迅速に対応します。

グローバル サービス: 中国語と英語の間の技術統合をサポートし、米国、ドイツ、日本などの国に製品を輸出し、DHL/FedEx の高速物流サービスを提供します。

当社は、標準サイズと特殊構造の両方に対して専門的なソリューションを提供できます。図面またはパラメータ要件を提供するだけで、当社の技術チームが 24 時間以内に見積もりと加工計画を提供します。

ルベールクォーツは 、石英管、石英板、石英ロッド、石英窓、石英るつぼ、石英ボート、石英フランジ、石英ビーカー、石英ガラス器具など、幅広い高品質の石英ガラスを製造・販売しています。石英ガラス製品のあらゆるカスタマイズのご要望にお応えいたします。