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高純度触媒担体石英ガラス管
高純度触媒担体石英ガラスパイプは触媒担体の分野で広く使用されている重要な材料です。石英ガラスパイプは、耐高温性、耐酸性、耐アルカリ性、低膨張性、良好な光透過性などの特殊な物性により、半導体産業をはじめとする高純度の反応環境が求められる分野で欠かせないキャリア素材となっています。半導体産業では、石英ガラス パイプは、高純度反応チャンバー、ガス/液体入口、輸送パイプラインなどのバッチ焼成炉で広く使用されています。また、半導体の拡散、酸化、成膜、エッチングなどの重要なプロセスにおいては、石英材質の拡散管やベルジャーが重要な役割を果たしています。
