高純度半導体熱処理炉プロセスクォーツガラスチューブ

高純度半導体熱処理炉プロセスクォーツガラスチューブは、半導体製造プロセスにおいて非常に重要な材料です。このタイプのクォーツガラスチューブは、主に拡散炉、酸化炉などの半導体製造の熱処理プロセスで使用されます。

材料の特性： 高純度の半導体熱処理炉プロセスクォーツガラスチューブは、主に高純度の二酸化シリコンで作られており、優れた機械的、熱、光学的、電気的特性を備えています。そのユニークな微細構造のため、石英ガラスチューブは、優れたスペクトル透明性、非常に低い熱膨張係数と導電率、および極端な条件下での優れた放射線耐性と長寿命を持っています。

アプリケーションエリア： 半導体クォーツガラスは、半導体、太陽光発電、光ファイバ、電気光源、その他のフィールドで広く使用されており、その中で半導体フィールドのアプリケーションスケールは最大で、最大50％を占めています。特に、半導体業界で最も価値のある分野であるチップ製造プロセスでは、関連材料の要件は非常に厳しいものです。

製品の特徴： 半導体グレードの石英チューブは、純度が高く、ヒドロキシル基が低く、高温抵抗があり、半導体材料の処理と処理に理想的な選択肢となっています。たとえば、拡散炉の石英チューブは一般に、入口と出口に高い純度を必要とし、均一なガス混合を確保し、調製効率に影響を与えます。

製造プロセス： 半導体石英ガラスの生産プロセスは複雑で、複数の技術が含まれます。たとえば、製造プロセス中に、純度、熱衝撃耐性、および石英チューブの極端な温度条件に耐える能力を確保するために、特別な処理技術が必要になる場合があります。

製品の仕様： 外径の範囲、壁の厚さの偏差、壁の偏差、楕円率、および半導体グレードの石英チューブの曲率はすべて、パフォーマンスと用途の安定性を確保するために詳細に指定されています。

高純度の半導体熱処理炉プロセスは、半導体製造分野で重要な役割を果たし、そのユニークな材料特性とアプリケーションのパフォーマンスは、高温反応プロセスに理想的な選択となります。