研究室用溶融石英ガラス観察窓
実験室用溶融石英ガラス観察窓は、主に高温高圧実験室、半導体加工、オプトエレクトロニクス産業などの分野で使用される高精度の光学素子です。これらの観察窓は、アモルファス二酸化ケイ素からなる溶融石英ガラスでできています。通常のガラスとは異なり、溶融石英ガラスには融点を下げるための他の材料が含まれていません。したがって、溶融シリカは使用温度と融点が高く、半導体分野や実験装置で広く使用されています。

溶融石英ガラスの主な特徴は次のとおりです。
非複屈折: 溶融石英ガラスの原子構造には長距離秩序がなく、高度に架橋された三次元構造を持っています。
紫外線透過率:溶融石英ガラスは他のガラスよりも優れた紫外線透過率を持っています。
低い熱膨張係数 (CTE): 溶融石英ガラスは熱膨張係数が低いため、精密ミラー基板に有用な材料です。

実験室用途では、溶融シリカ観察窓は、高い光透過率、高強度、高い耐熱性、耐食性の特性を備えています。高温高圧環境下での物質の状態観察や実験研究が可能です。半導体プロセスの分野では、石英観察窓を半導体ウエハの洗浄、乾燥、熱処理などの工程の観察窓として使用することができ、半導体プロセスの精密な制御を実現します。オプトエレクトロニクス産業では、石英観察窓は、レーザーのケーシング、レーザー干渉計の観察窓、太陽電池製造の観察窓の製造に使用されます。

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