半導体製造2-100mm精度の石英ロッド

半導体製造で使用される2〜100mm精度の石英ロッドは、半導体ウェーハ製造プロセスで広く使用されている高純度の石英材料です。これらのクォーツロッドは、高純度、低ヒドロキシル含有量、高温抵抗を持ち、半導体製造において重要な役割を果たします。

クォーツロッドの主な用途には、高温での化学反応に耐えることができる半導体製造における反応チャンバーのサポート構造として機能することが含まれます。さらに、クォーツロッドは光ファイバー通信の分野でも使用され、それらから描かれたクォーツ光ファイバーは、情報送信のための重要なコンポーネントです。ソーラーパネルの生産では、石英ロッドを使用して、高温炉やその他の高温機器のコンポーネントを製造することもできます。

クォーツ製品は、半導体製造プロセスでかけがえのない役割を果たします。これらの製品は、さまざまな作業環境温度に応じて、高温ゾーンデバイスと低温ゾーンデバイスに分けることができます。高温デバイスは主に拡散や酸化などの高温プロセスで使用されますが、低温デバイスは主にエッチング、パッケージング、フォトリソグラフィ、クリーニングなどの低温プロセスで使用されます。

クォーツ製品の製造プロセスには、ガス精製および融解石英砂などの石英インゴットの生産が含まれ、それに続いて熱の修飾とコールド処理が続きます。摂氏1000度を超える高温環境における石英デバイスの数時間の連続動作により、高温抵抗、熱安定性、および石英デバイスの変形に対する耐性には非常に高い要件があります。

半導体製造における2-100mm精度の石英ロッドは重要な材料であり、その高純度と高温抵抗は、半導体製造、光ファイバー通信、ソーラーパネルの生産などのさまざまな分野で重要な役割を果たすためです。

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