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極厚石英基板
お客様の中心的なニーズ、当社のソリューション
Q: 従来の材料が高温または腐食環境で変形または損傷しやすい場合はどうすればよいですか?
A: 私たちの 超厚い石英基板は 優れた熱安定性と化学的不活性を提供し、1200℃の高温や強酸および強アルカリ環境でも寸法安定性を維持でき、機器の耐用年数を延長します。
Q: 精密機器は非常に高い寸法精度と表面の平坦度が要求されます。どうすればこれを達成できるでしょうか?
A: 高度な研削・研磨プロセスにより、表面粗さRa≦0.1μm、厚さ公差±0.01mm以内を実現し、半導体、光学などの分野の精度要求に応えます。
Q: 特別なプロジェクトでは、迅速なカスタマイズのために標準以外のサイズや形状が必要になりますか?
A: 直径10mm～2000mm、厚さ100mmまでのフルサイズのカスタマイズをサポートしております。穴あけ、溝加工、異形切削等の二次加工も承ります。
製品の定義と特徴
超厚い石英基板 (厚さ ≥ 10 mm) は、高純度の溶融シリカ材料 (SiO 2 含有量 ≥ 99.99%) で精密に制御された製造プロセスによって作られており、次の重要な特性を備えています。
・熱性能： 熱膨張係数が非常に低く（5.5×10⁻⁷/℃）、耐熱衝撃性の温度差は1000℃に達します。
・光学性能： 紫外～赤外の波長域（170nm～2500nm）において高い透過率
-機械的特性： 圧縮強度>1100MPa、硬度モース7
-化学的安定性: フッ化水素酸と熱リン酸を除くほとんどの化学試薬に対して耐性があります。
主な応用分野
1. 半導体製造
-ウェーハキャリアプレートと拡散炉バッフル
-エッチング工程中のマスク基板
-高温アニールプロセスのサポートプラットフォーム
2. 精密光学系
-高出力レーザーの窓と反射基板
・天体望遠鏡用校正板
-分光器のコア光学部品
3. 実験設備
-高温観察窓
-特殊反応容器ウィンドウ
-精密測定器プラットフォーム
4. 新エネルギー分野において
-太陽光発電パネルの製造工程におけるキャリア基板
-燃料電池試験装置
製品仕様とカスタマイズ機能
標準仕様範囲
-厚さ： 10mm、15mm、20mm、25mm、30mm、40mm、50mm、60mm、80mm、100mm
サイズ： 円形 直径50～1500mm、正方形・長方形 50×50mm～1500×2000mm
-表面処理： 片面/両面研磨、マット、フロスト
カスタマイズされたサービス
1. サイズのカスタマイズ: あらゆる厚さ、直径、形状の需要に応じて生産します。
2. 精度管理: アプリケーション要件に応じて厚さの公差と平坦度を調整します。
3.二次加工： CNC精密加工、穴あけ、溝加工、面取り
4. 表面処理： コーティング（反射防止膜、反射膜、ITO導電膜等）
5. 特殊処理: 高温アニーリング強化、UV 透過率の最適化
主な利点の詳細な説明
技術的優位性
-材料純度: 4 段階の精製プロセスを採用し、SiO ₂ 含有量が 99.99% 以上であることを保証します。
-プロセス制御： 垂直プルダウン法と精密焼鈍を組み合わせて内部応力を除去
-試験システム: レーザー干渉計、形状計、その他の試験装置を備え、完全なプロセス品質管理を備えています。
パフォーマンス上の利点
1. 寸法安定性： 1000℃の温度変化でも寸法変化率は0.01%未満
2. 変形防止能力: 100kgの荷重下で、直径1mの基板の変形は0.05mm未満です。
3.寿命： 半導体製造環境において、通常の材料と比較して寿命が3～5倍延長されます。
なぜ私たちを選ぶのですか?
1.私たちはより経験豊富です。
当社は19年以上のクォーツ製品の製造経験があります。
2.私たちはより効率的です。
私たちはお客様のご要望に24時間以内にお答えし、高効率の生産、エンジニア、販売チームを擁しています。
3.当社の品質はより保証されています。
石英塊から石英砂、そして石英製品に至るまでの品質管理を行っており、他メーカーと比べてより厳格な品質管理を行っております。
4.より困難な石英製品の生産が可能です。
当社では大型研削盤や精密エッチング機を保有し、石英管、石英板、石英ロッド、石英窓、石英るつぼ、石英ボート、石英フランジ、石英ビーカー、石英ガラス器具など、高品質な石英ガラスを幅広く製造・販売しております。
5. 約20年の専門的経験
～四半世紀にわたり石英製品の製造に注力
-技術チームの平均勤務経験は15年を超えています
6.グローバルなサービスネットワーク
-当社の製品はヨーロッパ、アメリカ、日本、韓国、中東など40以上の国と地域に輸出されています。
-多言語テクニカルサポート（英語、ドイツ語、フランス語、スペイン語、ロシア語、日本語）
7.柔軟な協力モード
小ロットの試作注文、中長期の協力、緊急注文に対する緊急生産をサポートし、OEM/ODMサービスを提供します。
お客様の応用事例
事例1：欧州の半導体製造装置メーカー
課題: 1200℃の高温に耐え、月次熱サイクル変形量が0.005mm未満のウェハキャリアディスクが必要
ソリューション: カスタマイズされた直径 300 mm、厚さ 25 mm の石英基板、表面は Ra 0.08 μ m まで研磨
結果: お客様の装置は基板を交換することなく 18 か月間連続稼働し、その結果、ウェーハ歩留まりが 2.3% 向上しました。
事例 2: 米国レーザー研究所
要件: 高出力レーザー システムにおける熱レンズ効果が低い窓材料
解決策: 厚さ 40 mm の石英窓と両面反射防止コーティングを提供します。
効果: 10kWの連続レーザー照射下で透過率は99.5%以上を維持し、熱変形は無視できます。
事例 3: 日本精機株式会社
問題: 腐食性ガス中での化学分析装置の窓の急速霧化
ソリューション: 厚さ 15 mm のカスタマイズされた化学強化石英ウィンドウ
結果： HClガス環境下での耐用年数が3ヶ月から3年以上に延長
標準仕様の極厚石英基板をお探しの場合でも、特殊なアプリケーション要件を伴うカスタマイズされたプロジェクトをお探しの場合でも、当社のエンジニアリング チームは喜んで専門的な技術アドバイスとソリューションを提供します。
個別の見積もりや技術ソリューションについては、すぐにお問い合わせください。または、製品の品質をテストするためのサンプルをリクエストしてください。公式ウェブサイトで具体的な連絡先情報を確認するか、営業メールに直接要件を送信してください。詳細な技術仕様とビジネス ソリューションを 24 時間以内に提供します。
ルベールクォーツは 、石英管、石英板、石英ロッド、石英窓、石英るつぼ、石英ボート、石英フランジ、石英ビーカー、石英ガラス器具など、幅広い高品質の石英ガラスを製造・販売しています。石英ガラス製品のあらゆるカスタマイズのご要望にお応えいたします。
