Ozonvrije kwartsovenbuis met grote diameter

Bij diffusie-, oxidatie- en CVD-processen bij hoge temperaturen zijn gewone kwartsbuizen gevoelig voor het genereren van ozon onder ultraviolette straling, wat niet alleen de apparatuur aantast en de kamer vervuilt, maar ook de herhaalbaarheid van het proces beïnvloedt. Ons 'Ozonvrije kwartsovenbuis met grote diameter maakt gebruik van synthetische kwartsgrondstoffen en speciale dehydroxylatieprocessen om de vorming van ozon volledig te onderdrukken. Het ondersteunt ook niet-standaard aanpassingen van grote diameters van 200 mm - 450 mm en lengtes van 500 - 2000 mm, waardoor schone, stabiele kernverbruiksartikelen met een lange levensduur worden geleverd voor halfgeleider-, fotovoltaïsche en wetenschappelijk onderzoek ovenbuisprocessen.

Veelgestelde vragen (FAQ)

Vraag 1: Wat is 'ozonvrije kwartsovenbuis'? Wat is het verschil tussen deze buis en een gewone kwartsbuis?

A: Onder ultraviolet licht of hoge temperatuurstraling reageren de hydroxylgroepen in de wand van gewone kwartsbuizen met waterdamp om te ontleden en ozon te produceren. Ozonvrije kwartsbuizen ondergaan een dehydroxylatiebehandeling bij hoge temperatuur (hydroxylgehalte ≤ 5 ppm) en worden gesynthetiseerd met lage metaalonzuiverheden om de vorming van ozon vanaf de bron te onderdrukken, waardoor kamercorrosie en procesvervuiling worden vermeden.

Vraag 2: Hoe groot kan een grote diameter worden bereikt? Wat is de wanddikte?

A: Het buitendiameterbereik is 200 mm - 450 mm, de wanddikte is 3 mm - 8 mm en de lengte is 500 mm - 2000 mm. Grotere maten (zoals een buitendiameter van 500 mm) kunnen voor bestellingen worden geëvalueerd. De buisflens, treden, conus, openingen etc. kunnen volgens de tekeningen op maat worden gemaakt.

Vraag 3: Wat zijn de voordelen van ozonvrije eigenschappen voor daadwerkelijke processen?

A: ① Ozonvrije corrosie → Verlengde levensduur van ovenbuizen, roestvrijstalen flenzen en afdichtringen; ② Ozonvrije oxidatie - er zal zich geen onverwachte dunne oxidelaag vormen op het oppervlak van de wafer/siliciumwafel; ③ Verlaag de onderhoudsfrequentie → Verleng de reinigingscyclus van de caviteit van wekelijks naar maandelijks of zelfs driemaandelijks.

Vraag 4: Wat zijn de prestaties op het gebied van temperatuurbestendigheid? Kan het worden gebruikt voor processen boven 1200 ℃?

A: Werktemperatuur op lange termijn van 1100 ℃, temperatuurbestendigheid op korte termijn van 1200 ℃. Het verwekingspunt is ongeveer 1270 ℃. Als hogere temperaturen (>1200 ℃) vereist zijn, wordt aanbevolen om ondoorzichtige kwarts- of keramische ovenbuizen te gebruiken, die wij ook als accessoire kunnen leveren.

Welke kernproblemen kan het product voor u oplossen?

- Probleem met ozoncorrosie: de buiswand, verwarmingsdraad en flensafdichtingsoppervlak worden versneld door ozonoxidatie → ozonvrije structuur, de levensduur van de apparatuur wordt met meer dan 30% verlengd.

-Procesvervuilingsprobleem: Ozon en resterende waterdamp genereren salpeterzuur/salpeterigzuur, waardoor wafers worden verontreinigd → Handhaving van klasse 1 reinheid in de proceskamer.

- Moeilijkheden bij het matchen van de maten: hoogwaardige ovenbuizen hebben hoge prijzen en lange levertijden, terwijl gewone ovenbuizen weinig specificaties voor grote diameters hebben → 200-450 mm dekking op volledige grootte, met een minimale bestelling van 1 stuk.

-Vervormingsprobleem bij hoge temperaturen: kwartsbuizen met een grote diameter zijn gevoelig voor instorten of elliptisch worden bij hoge temperaturen → Speciaal gloei- en ondersteuningsontwerp, rondheid ≤ 0,5 mm.

Aanpasbaar specificatiebereik

Buitendiameter: 200 mm/220 mm/250 mm/280 mm/300 mm/350 mm/400 mm/450 mm (andere maten zijn bespreekbaar)

Wanddikte: 3 mm/4 mm/5 mm/6 mm/8 mm (± 0,3 mm)

Lengte: 500 mm -2000 mm (± 2 mm)

buismondstructuur: platte mond, flensmond, getrapte mond, taps toelopende mond, bodemafdichting met enkel uiteinde, dubbelzijdige opening

Hydroxylgehalte: ≤ 5 ppm (ozonvrije kwaliteit)/≤ 1 ppm (ultra-lage hydroxylkwaliteit, gebruikt voor diep-ultraviolette processen)

Uiterlijk: bubbels: ≤ 0,5 mm/10 × 10 cm; strepen: geen zichtbare strepen voor het blote oog; Oppervlak: fijn slijpen/polijsten/zuur wassen

Procesvoordeel

-Dehydroxylatie bij hoge temperatuur + synthese van kwartssubstraat: volledig blokkeren van de ozongeneratie → geen noodzaak om extra ozoneliminatieapparatuur te installeren, waardoor renovatiekosten voor apparatuur worden bespaard.

- Precisievorming met grote diameter: gebruik van roterende vorming + CNC-randslijpen, rondheidstolerantie ≤ 0,5 mm, rechtheid ≤ 1 mm / m → uniforme opening met verwarmingsdraad, betere consistentie van het temperatuurveld.

- Corrosiebestendige behandeling van het binnenoppervlak: optioneel beitsen of spiegelpolijsten, ruwheid Ra ≤ 0,4 μm → vermindert de hechting van deeltjes, verlengt de reinigingscyclus.

Verbetering van de thermische stabiliteit: elke ovenbuis ondergaat meerdere gloeifasen om interne spanning te elimineren, en de verwarmingssnelheid kan zonder explosie 15 ℃/min bereiken.

Typische toepassingsscenario's

-Halfgeleiderdiffusieoven/oxidatieoven (buitendiameter 250-350 mm): Ozonvrij om onverwachte oxidatie op het waferoppervlak te voorkomen, waardoor de consistentie van de kwaliteit van de poortoxidelaag wordt verbeterd.

-Fotovoltaïsche PECVD-ovenbuis (buitendiameter 300-400 mm): Grote diameter passend voor grootschalige belasting van siliciumwafels, ozonvrij om corrosie van kwartsboten te verminderen.

-Onderzoek CVD-systeem (buitendiameter 200-250 mm): geschikt voor kleine batches, zeer zuivere materiaalafzettingsexperimenten, zonder ozoninterferentie op het reactiepad.

-MEMS hoge temperatuur gloeioven (buitendiameter 150-200 mm) , we kunnen het ook): ultra-lage hydroxylversie gecombineerd met diepe ultraviolette technologie.

Klanttoepassingscasus (anoniem)

Geval 1: 8-inch waferfabric-diffusieoven

-Vereiste: buitendiameter 300 mm, lengte 1600 mm, wanddikte 5 mm, voor poortoxidatieproces. De originele high-end ovenbuis kost ongeveer 18.000 yuan per stuk en heeft een levertijd van 8 weken. Ik heb ooit een gewone kwartsbuis geprobeerd, maar na 2 weken verschenen er witte afzettingen (nitraat) op de binnenwand van de buis en overtroffen de deeltjes op het oppervlak van de wafel de norm.

-Onze oplossing: Zorg voor ozonvrije synthetische kwartsovenbuizen met een hydroxylgehalte van 3,2 ppm en spiegelgepolijste binnenwanden.

-Resultaat: Er werden geen ozoncorrosieproducten gevonden tijdens continu gebruik gedurende 6 weken, en de deeltjesmonitoringsgegevens kwamen overeen met die van hoogwaardige ovenbuizen. De kosten van een enkele eenheid zijn met 42% verlaagd en de levertijd is verkort tot 12 dagen.

Geval 2: Europese OEM-fabrikant van fotovoltaïsche apparatuur

-Vereiste: buitendiameter 380 mm, lengte 1850 mm, wanddikte 6 mm, voor buisvormige PECVD. Vereiste: Geen vervorming bij hoge temperaturen onder grote diameter, en volledig compatibel met het bestaande flensafdichtingssysteem van de klant.

- Moeilijkheidsgraad: Gewone kwartsbuizen met grote diameter hebben een ellipticiteit van meer dan 2 mm bij 1100 ℃, wat resulteert in lekkage van afdichtingen.

-Ons plan is om een ​​ontwerp met roterende vorming + versterkte ribwanddikte aan te nemen (lokaal verdikt tot 8 mm), en na uitgloeien is de gemeten ellipticiteit bij hoge temperaturen ≤ 0,8 mm.

-Resultaat: Na het doorstaan ​​van de thermische cyclustest van de klant (kamertemperatuur → 1100 ℃ → kamertemperatuur, 20 keer herhaald) waren er geen lekken of scheuren.

Case 3: CVD-systeem bij het Universitair Nanocentrum

-Vereiste: buitendiameter 200 mm, lengte 800 mm, één uiteinde afgedicht, gebruikt voor grafeengroei. Vereist een ultrahoge zuiverheid zonder enige ozon- of metaalvervuiling.

- Moeilijkheidsgraad: meerdere leveranciers zijn niet in staat een ozonvrij certificaat te leveren, en er is een groot risico op restspanning bij de bodemafdichting.

-Onze oplossing: kwarts met ultralaag hydroxylgehalte (hydroxyl ≤ 1 ppm) + boogvormig afdichtingsontwerp, volledig uitgegloeid na heet vormen. Voer vóór verzending een ozonteststriptest uit (254 nm UV-straling gedurende 30 minuten, geen verkleuring van de teststrip).

-Resultaat: Enkellaags grafeen werd met succes gekweekt met een Raman 2D/G-piekverhouding>2.

Of u nu de standaardafmetingen van oude apparatuur moet aanpassen of onconventionele diameters moet ontwikkelen voor nieuwe processen: u kunt er één op maat maken, met 3D-tekeningbevestiging, materiaalrapporten en ozontestrapporten. Neem onmiddellijk contact op met onze procesingenieurs voor exclusieve oplossingen en offertes die van toepassing zijn op uw ovenparameters.

Luverre Quartz is een fabrikant gespecialiseerd in kwartsbuizen en andere kwartsartikelen. Wij hebben ruim 20 jaar ervaring met de productie van kwartsbuizen, wij zijn uw betrouwbare partner op het gebied van kwartsbuizen en andere kwartsartikelen.

Luverre Quartz kan kwartsbuizen op maat vervaardigen in verschillende vormen, zoals spiraalvormig, vierkant, rond, met bewerkingen zoals snijden, buigen, lassen, enz., en verkrijgbaar in verschillende kleuren, zoals transparante kwartsbuizen, ondoorzichtige kwartsbuizen, melkachtig witte kwartsbuizen, rode kwartsbuizen, enzovoort.