오존이 없는 대구경 석영로 튜브

고온 확산, 산화 및 CVD 공정에서 일반 석영 튜브는 자외선 복사로 인해 오존을 생성하기 쉽습니다. 이는 장비를 부식시키고 챔버를 오염시킬 뿐만 아니라 공정 반복성에 영향을 미칩니다. 우리의 '오존 프리 대구경 석영로 튜브 '는 합성 석영 원료와 특수 탈수산 공정을 사용하여 오존 생성을 완전히 억제합니다. 또한 200mm-450mm 대구경 및 500-2000mm 길이의 비표준 맞춤화를 지원하여 반도체, 광전지 및 과학 연구 용광로 튜브 프로세스에 깨끗하고 안정적이며 수명이 긴 핵심 소모품을 제공합니다.

자주 묻는 질문(FAQ)

Q1: '오존 프리 석영로 튜브'란 무엇입니까? 일반 석영관과 차이점이 무엇인가요?

A: 자외선이나 고온 방사선 하에서 일반 석영 튜브 벽 내부의 수산기 그룹은 수증기와 반응하여 분해되어 오존을 생성합니다. 오존이 없는 석영 튜브는 고온 탈수산 처리(수산기 함량 ≤ 5ppm)를 거치고 낮은 금속 불순물로 합성되어 소스에서 오존 생성을 억제하고 챔버 부식 및 공정 오염을 방지합니다.

Q2: 큰 직경은 얼마나 커질 수 있습니까? 벽 두께는 얼마입니까?

A: 외경 범위는 200mm-450mm, 벽 두께는 3mm-8mm, 길이는 500mm-2000mm입니다. 더 큰 크기(외경 500mm 등)도 주문 시 평가할 수 있습니다. 튜브 플랜지, 계단, 테이퍼, 개구부 등은 도면에 따라 맞춤화할 수 있습니다.

Q3: 실제 공정에서 오존 프리 특성의 이점은 무엇입니까?

A: ① 오존이 없는 부식 → 용광로 튜브, 스테인레스 스틸 플랜지 및 밀봉 링의 수명 연장; ② 오존이 없는 산화 - 웨이퍼/실리콘 웨이퍼 표면에 예상치 못한 얇은 산화물 층이 형성되지 않습니다. ③ 유지보수 빈도 감소 → 캐비티 청소 주기를 주 단위에서 월 단위 또는 분기 단위로 연장합니다.

Q4: 내열 성능은 무엇입니까? 1200℃ 이상의 공정에도 사용할 수 있나요?

A: 장기 작동 온도는 1100℃, 단기 온도 저항은 1200℃입니다. 연화점은 약 1270℃이다. 더 높은 온도(>1200 ℃)가 필요한 경우 불투명 석영 또는 세라믹 퍼니스 튜브를 사용하는 것이 좋습니다. 당사는 이를 액세서리로도 제공할 수 있습니다.

제품이 어떤 핵심 문제를 해결할 수 있습니까?

-오존 부식 문제 : 오존 산화 → 오존 프리 구조로 인해 튜브 벽, 전열선, 플랜지 실링 표면이 가속화되어 장비 수명이 30% 이상 증가합니다.

-공정 오염 문제 : 오존 및 잔류 수증기로 인해 질산/아질산이 생성되어 웨이퍼를 오염시킵니다. → 공정 챔버 청정도 1등급을 유지합니다.

-사이즈 매칭의 어려움: 고급 퍼니스 튜브는 가격이 비싸고 배송 시간이 긴 반면, 일반 퍼니스 튜브는 대구경 사양이 거의 없습니다 → 200-450mm 전체 크기 적용, 최소 주문 1개.

-고온 변형 문제: 대구경 석영 튜브는 고온에서 붕괴되거나 타원형이 되기 쉽습니다. → 특수 어닐링 및 지지 설계, 진원도 ≤ 0.5mm.

맞춤형 사양 범위

외경: 200mm/220mm/250mm/280mm/300mm/350mm/400mm/450mm (다른 크기는 협상 가능)

벽 두께: 3mm/4mm/5mm/6mm/8mm(± 0.3mm)

길이: 500mm -2000mm(± 2mm)

튜브 입 구조: 편평한 입, 플랜지 입, 계단식 입, 테이퍼 입, 단일 끝 바닥 씰링, 양면 개방

수산기 함량: 5ppm 이하(오존 프리 등급)/1ppm 이하(초저 수산기 등급, 심자외선 공정에 사용)

외관 등급: 거품: ≤ 0.5mm/10 × 10cm; 줄무늬: 육안으로 보이는 줄무늬가 없습니다. 표면: 미세 연삭/연마/산 세척

공정상의 이점

-고온탈수산기+석영기질 합성 : 오존 발생 경로를 완전 차단 → 별도의 오존 제거 장치 설치가 필요 없어 장비 개조 비용이 절감됩니다.

- 대구경 정밀 성형: 회전 성형 + CNC 모서리 연삭 사용, 진원도 공차 ≤ 0.5mm, 직진도 ≤ 1mm/m → 열선과의 균일한 간격, 더 나은 온도 장 일관성.

-부식 방지 내부 표면 처리: 선택적 산 세척 또는 경면 연마, 거칠기 Ra ≤ 0.4 μm → 입자 접착을 줄이고 청소 주기를 연장합니다.

-열 안정성 향상: 각 노 튜브는 내부 응력을 제거하기 위해 여러 어닐링 단계를 거치며 폭발 없이 가열 속도가 15℃/min에 도달할 수 있습니다.

일반적인 애플리케이션 시나리오

-반도체 확산로/산화로(외경 250-350mm): 오존이 없어 웨이퍼 표면의 예상치 못한 산화를 방지하여 게이트 산화막 품질의 일관성을 향상시킵니다.

-태양광 PECVD 노 튜브(외경 300-400mm): 대규모 실리콘 웨이퍼 로딩에 적합한 대구경, 석영 보트 부식을 줄이기 위해 오존이 없음.

-연구용 CVD 시스템(외경 200-250mm): 반응 경로에 오존 간섭이 없이 소규모 배치, 고순도 재료 증착 실험에 적합합니다.

- MEMS 고온 어닐링로(외경 150-200mm) , 우리도 가능합니다): 심자외선 기술과 결합된 초저 수산기 버전입니다.

고객 신청사례(익명)

사례 1: 8인치 웨이퍼 팹 확산로

-요구 사항: 게이트 산화 공정을 위한 외경 300mm, 길이 1600mm, 벽 두께 5mm. 원래 고급 퍼니스 튜브의 가격은 개당 약 18000위안이며 배송 시간은 8주입니다. 한번 일반 석영관을 사용해 보았으나 2주가 지나자 관 내벽에 흰색 침전물(질산염)이 나타났고, 웨이퍼 표면의 입자도 기준치를 초과했습니다.

-우리의 솔루션: 수산기 함량이 3.2ppm이고 내부 벽이 거울 광택 처리된 오존이 없는 합성 석영로 튜브를 제공합니다.

-결과: 6주 동안 연속 작동하는 동안 오존 부식 생성물은 발견되지 않았으며, 입자 모니터링 데이터는 고급 퍼니스 튜브의 데이터와 일치했습니다. 단품 가격은 42% 절감되었으며, 배송 기간은 12일로 단축되었습니다.

사례 2: 유럽 태양광 장비 OEM 제조업체

-요구 사항: 관형 PECVD의 경우 외경 380mm, 길이 1850mm, 벽 두께 6mm. 요구 사항: 대구경 하에서 고온에서 변형이 없으며 고객의 기존 플랜지 씰링 시스템과 완벽하게 호환됩니다.

-난이도: 일반 대구경 석영관은 1100℃에서 타원율이 2mm를 초과하여 씰 누출이 발생합니다.

-우리의 계획은 회전 성형 + 강화 리브 벽 두께 설계(국소적으로 8mm로 두꺼워짐)를 채택하는 것이며, 어닐링 후 측정된 고온 타원율은 ≤ 0.8mm입니다.

- 결과 : 고객사 열사이클 테스트(상온 → 1100℃ → 상온, 20회 반복)를 통과한 결과 누수나 크랙은 발생하지 않았습니다.

사례 3: 대학 나노센터의 CVD 시스템

-요구사항: 외경 200mm, 길이 800mm, 한쪽 끝 밀봉, 그래핀 성장에 사용됩니다. 오존이나 금속 오염이 없는 초고청정도가 요구됩니다.

-난이도: 여러 공급업체가 오존 프리 인증을 제공할 수 없으며, 하단 씰에 잔류 응력이 발생할 위험이 높습니다.

-우리의 솔루션: 초저 수산기 석영(수산기 ≤ 1ppm) + 호형 밀봉 설계, 열간 성형 후 완전히 어닐링됨. 배송 전 오존 테스트스트립 테스트(254nm UV 조사 30분간, 테스트스트립 변색 없음)를 실시합니다.

-결과: Raman 2D/G 피크 비율>2로 단일층 그래핀이 성공적으로 성장했습니다.

기존 장비의 표준 크기와 일치해야 하거나 새로운 공정을 위한 새로운 직경을 개발해야 하는 경우 3D 도면 확인, 재료 보고서 및 오존 테스트 보고서를 제공하여 맞춤화할 수 있습니다. 귀하의 퍼니스 매개변수에 적용할 수 있는 독점적인 솔루션과 견적을 얻으려면 즉시 당사의 프로세스 엔지니어에게 문의하십시오.

Luverre Quartz 는 석영 튜브 및 기타 석영 제품을 전문으로 하는 제조업체입니다. 우리는 석영 튜브 생산에 20년 이상의 경험을 갖고 있으며 석영 튜브 및 기타 석영 제품에 대한 신뢰할 수 있는 파트너가 될 것입니다.

루버르 쿼츠는 절단, 굽힘, 용접 등의 가공을 통해 나선형, 사각형, 원형 ​​등 다양한 형상의 맞춤형 석영관을 제작할 수 있으며, 투명 석영관, 불투명 석영관, 유백색 석영관, 적색 석영관 등 다양한 색상도 가능합니다.