Kwartsplaat met hoge precisie en gleuf in het midden

Op het gebied van halfgeleiderlithografie, optische precisiemetingen en microfluïdische chipverpakking bepalen de vlakheid, de nauwkeurigheid van de sleufpositie en de materiaalzuiverheid van het substraat rechtstreeks het succes of falen van het proces. A De zeer nauwkeurige kwartsplaat is in het midden gegleufd, waarbij zeer zuiver kwarts als basis wordt gebruikt. Door middel van CNC-bewerking en precisiegloeiprocessen worden rechthoekige, cirkelvormige of onregelmatige groeven/blinde groeven van micrometerformaat in het midden van de plaat gerealiseerd. Het combineert de hoge transparantie, lage uitzetting, hoge temperatuurbestendigheid en isolatie-eigenschappen van kwarts en biedt een ideaal platform voor nauwkeurige positionering van componenten, uitlijning van het optische pad en vloeistofafdichting met 'geen vervorming en geen vervuiling'.

FAQ: Veelgestelde vragen voor gebruikers

Vraag 1: Wat is de maatnauwkeurigheid van het insteken?

A: We gebruiken een vijfassig CNC-bewerkingscentrum en laserondersteunde snijtechnologie, met een groefbreedtetolerantie gecontroleerd binnen ± 0,02 mm, groefdieptetolerantie binnen ± 0,01 mm en een positionele afwijking van maximaal ± 0,03 mm, die voldoet aan de strenge eisen van precisieassemblage en optische uitlijning.

Vraag 2: Is de sleufplaat gevoelig voor interne spanning of vervorming?

A: Alle producten ondergaan een gradiënt-gloeibehandeling (tot 1200 ℃) na ruwe verwerking om mechanische spanning volledig te elimineren. De vlakheid van de plaat kan worden gestabiliseerd binnen 0,05 mm/m, en zelfs bij gebruik in warme omgevingen boven 200 ℃ is de mate van verandering in de sleufgrootte minder dan 0,01%.

Vraag 3: Kunnen asymmetrische groef of getrapte groef worden verwerkt?

A: Volledig ondersteund. We kunnen rechthoekige sleuven, U-vormige sleuven, zwaluwstaartsleuven, doorlopende/blinde sleuven, getrapte sleuven en gecombineerde onregelmatige sleuven aanpassen, en aanvullende bewerkingen uitvoeren, zoals afschuinen, polijsten van de onderkant of gaten met schroefdraad om aan speciale behoeften te voldoen, zoals chipverpakking en fixatie van glasvezelarrays.

Kernwaarde van het product: het aanpakken van de drie belangrijkste uitdagingen voor gebruikers

1. Los het probleem op van 'onnauwkeurige positionering van precisiecomponenten' - met een nauwkeurigheid van het insteken op micrometerniveau, zorg ervoor dat chips, optische componenten of sensoren zich altijd in de ontwerppositie bevinden tijdens thermische cycli, en voorkom offsetfouten.

2. Los het probleem op van 'materiaalvervorming die de optische/stroompaden beïnvloedt' - kwarts van hoge zuiverheid met extreem lage thermische uitzettingscoëfficiënt + nauwkeurig uitgloeien, waardoor stabiliteit op lange termijn van de groefgrootte en vlakheid wordt gegarandeerd onder temperatuurschommelingen of vacuümomgevingen.

3. Het risico van 'vervuiling en onvoldoende isolatie' aanpakken - Kwarts is een natuurlijke isolator zonder neerslag van metaalionen, geschikt voor scenario's met hoge zuiverheid, zoals front-end-processen met halfgeleiders en biomedische tests.

Productvoordelen en toepassingswaarde

1. Precisiebewerkingsmogelijkheden om te voldoen aan hoogwaardige productiebehoeften

-Sleufnauwkeurigheid op micronniveau: Uitgerust met een uiterst nauwkeurig optisch positioneringssysteem, worden de sleufpositie, -grootte en -verticaliteit volledig online gedetecteerd om de consistentie van batchproducten te garanderen.

-Complex groefgeïntegreerd gietwerk: meerdere onafhankelijke groefposities, stapgroeven of een combinatiestructuur van doorgaande groeven en positioneringsgaten kunnen op één enkele plaat worden gerealiseerd, waardoor het aantal montageonderdelen wordt verminderd en de systeemintegratie wordt verbeterd.

-Gediversifieerde oppervlaktebehandeling: de groef kan zorgen voor een mat oppervlak (verbetering van de hechting), spiegelpolijsten (vermindering van lichtverstrooiing) of coatingbehandeling om aan verschillende functionele eisen te voldoen.

2. Materiaalprestatievoordelen zorgen voor betrouwbaarheid op lange termijn

-Thermische stabiliteit: geschikt voor extreme processen zoals uitharden bij hoge temperaturen en testen bij lage temperaturen, met een temperatuurbereik van -200 ℃ tot 1100 ℃.

-Optische kenmerken: Hoge transparantie in het ultraviolette tot infrarode golflengtebereik, het gleufgedeelte kan direct worden gebruikt als optisch venster om fouten te voorkomen die door secundaire montage worden geïntroduceerd.

-Chemische inertie: bestand tegen sterke zuren en oplosmiddelen, herbruikbaar na reiniging, waardoor de bedrijfskosten op de lange termijn worden verlaagd.

3. Ultieme maatwerkservice, van onderzoek en ontwikkeling tot massaproductie

-Maatbereik: lengte 50 mm tot 1200 mm, breedte 50 mm tot 800 mm, dikte 2 mm tot 50 mm.

-Slotvormen: enkele gleuf, array-gleuf, kruisgleuf, ringvormige gleuf, verzonken gleuf, enz., ontworpen zoals nodig.

Typische toepassingsscenario's en klantcases

Toepassingsscenario's

-Halfgeleiderapparatuur: waferdrager, positioneringssubstraat voor fotolithografiemaskers

-Opto-elektronische verpakking: laser-array-koppelingsbasis, fiber-array-uitlijningsarmatuur

-Biochips: microfluïdische reactieplaten, observatieplatforms voor celcultuur

-Precisie-instrumenten: monstercel van de spectrometer, positioneringsplaat in de vacuümkamer

Case: Het project '400G Optical Engine Coupling Substrate' van een wereldwijd toonaangevende fabrikant van optische modules

Uitdaging: De klant moet 8 sets rechthoekige precisiesleuven verwerken met een onderlinge afstand van 5 mm op een kwartsplaat van 120 mm x 60 mm x 8 mm voor het bevestigen van laserchips en lensarrays. De groefbreedtetolerantie moet ± 0,01 mm zijn, de vlakheid van de groefbodem is 0,01 mm en de groefverplaatsing na reflow-solderen bij 260 ℃ mag niet groter zijn dan 2 micron. Voorheen resulteerde het gebruik van keramische substraten in een afname van de koppelingsefficiëntie als gevolg van niet-overeenkomende thermische uitzettingscoëfficiënten.

Oplossing: We gebruiken kwartsblanks met een laag hydroxylgehalte, voeren eerst dubbelzijdig slijpen uit tot een vlakheid van 0,01 mm, frezen vervolgens de sleuven één voor één met een vijfassig bewerkingscentrum en voeren ten slotte een gradiëntgloeien van 72 uur uit. Elke set slots wordt volledig geïnspecteerd door een beeldvormingssysteem en er wordt een coördinatenrapport uitgegeven.

Effect: Na levering van het product nam de koppelingsefficiëntie van de optische engine van de klant toe met 12%, en het slagingspercentage na reflow-solderen steeg van 89% naar 98,5%. Deze oplossing is aangenomen als het standaard substraatontwerp voor de nieuwe generatie 800G optische modules en heeft een cumulatief aanbod van meer dan 3000 stuks opgeleverd.

Wordt uw precisiemontage of optische uitlijning beperkt door onvoldoende substraatnauwkeurigheid? Wij bieden volledige procesaanpassingsdiensten, van tekeningen tot eindproducten, waarbij we ervoor zorgen dat elke sleuf tot op de micrometer nauwkeurig is. Neem onmiddellijk contact met ons op voor uw exclusieve technische oplossing en offerte voor 'hoge precisie kwartsplaat met middensleuf'.

Luverre Quartz produceert en verkoopt een breed assortiment gesmolten kwartsglas van hoge kwaliteit, waaronder gesmolten kwartsbuizen, gesmolten kwartsplaten, gesmolten kwartsstaven, gesmolten kwartsvensters, gesmolten kwartskroezen, gesmolten kwartsboten, gesmolten kwartsflenzen, gesmolten kwartsbekers, gesmolten kwartsglasinstrumenten en meer. We kunnen voldoen aan allerlei aangepaste eisen voor gesmolten kwartsglasproducten.

Voor meer informatie kunt u gerust contact met ons opnemen.