أنبوب فرن الكوارتز ذو القطر الكبير الخالي من الأوزون

في عمليات الانتشار والأكسدة والأمراض القلبية الوعائية ذات درجات الحرارة العالية، تكون أنابيب الكوارتز العادية عرضة لتوليد الأوزون تحت الأشعة فوق البنفسجية، والتي لا تؤدي إلى تآكل المعدات وتلويث الغرفة فحسب، بل تؤثر أيضًا على إمكانية تكرار العملية. ملكنا 'يستخدم أنبوب فرن الكوارتز ذو القطر الكبير الخالي من الأوزون مواد خام كوارتز صناعية وعمليات إزالة الهيدروكسيل الخاصة لقمع توليد الأوزون تمامًا. كما أنه يدعم التخصيص غير القياسي للأقطار الكبيرة 200 مم - 450 مم وأطوال 500 - 2000 مم، مما يوفر مستهلكات أساسية نظيفة ومستقرة وطويلة العمر لعمليات أنابيب أفران أشباه الموصلات والخلايا الكهروضوئية والبحث العلمي.

الأسئلة المتداولة (الأسئلة الشائعة)

Q1: ما هو 'أنبوب فرن الكوارتز الخالي من الأوزون'؟ ما الفرق بينه وبين أنبوب الكوارتز العادي؟

ج: تحت الضوء فوق البنفسجي أو إشعاع درجة الحرارة المرتفعة، تتفاعل مجموعات الهيدروكسيل الموجودة داخل جدار أنابيب الكوارتز العادية مع بخار الماء لتتحلل وتنتج الأوزون. تخضع أنابيب الكوارتز الخالية من الأوزون إلى معالجة نزع الهيدروكسيل بدرجة حرارة عالية (محتوى الهيدروكسيل ≥ 5 جزء في المليون) ويتم تصنيعها بشوائب معدنية منخفضة لقمع توليد الأوزون من المصدر، وتجنب تآكل الغرفة وتلوث العملية.

س2: ما هو الحجم الذي يمكن تحقيقه بقطر كبير؟ ما هو سمك الجدار؟

ج: نطاق القطر الخارجي 200 مم - 450 مم، وسمك الجدار 3 مم - 8 مم، والطول 500 مم - 2000 مم. يمكن تقييم الأحجام الأكبر (مثل القطر الخارجي 500 مم) للطلبات. يمكن تخصيص شفة الأنبوب، والخطوات، والمستدق، والفتحات، وما إلى ذلك وفقًا للرسومات.

س3: ما هي فوائد الخصائص الخالية من الأوزون للعمليات الفعلية؟

ج: ① التآكل الخالي من الأوزون ← عمر الخدمة الممتد لأنابيب الفرن، فلنجات الفولاذ المقاوم للصدأ، وحلقات الختم؛ ② الأكسدة الخالية من الأوزون - لن تتشكل طبقة أكسيد رقيقة غير متوقعة على سطح الرقاقة/رقاقة السيليكون؛ ③ تقليل تكرار الصيانة ← تمديد دورة تنظيف التجويف من أسبوعية إلى شهرية أو حتى ربع سنوية.

س 4: ما هو أداء مقاومة درجات الحرارة؟ هل يمكن استخدامه للعمليات التي تزيد حرارتها عن 1200 درجة مئوية؟

ج: درجة حرارة العمل على المدى الطويل تبلغ 1100 درجة مئوية، ومقاومة درجة الحرارة على المدى القصير تبلغ 1200 درجة مئوية. نقطة التليين حوالي 1270 درجة مئوية. إذا كانت هناك حاجة إلى درجات حرارة أعلى (> 1200 درجة مئوية)، فمن المستحسن استخدام أنابيب فرن الكوارتز أو السيراميك غير الشفافة، والتي يمكننا توفيرها أيضًا كملحقات.

ما هي المشاكل الأساسية التي يمكن للمنتج أن يحلها لك؟

-مشكلة تآكل الأوزون: يتم تسريع جدار الأنبوب وسلك التسخين وسطح إغلاق الحافة عن طريق أكسدة الأوزون ← الهيكل الخالي من الأوزون، مما يزيد من عمر المعدات بأكثر من 30%.

- مشكلة تلوث العمليات: يولد الأوزون وبخار الماء المتبقي حمض النيتريك/حمض النيتروز، مما يؤدي إلى تلويث الرقائق ← الحفاظ على نظافة الفئة 1 في غرفة المعالجة.

- صعوبة في مطابقة الحجم: تتميز أنابيب الفرن عالية الجودة بأسعار مرتفعة وأوقات تسليم طويلة، في حين أن أنابيب الفرن العادية لها مواصفات قليلة ذات قطر كبير → تغطية بالحجم الكامل 200-450 مم، مع حد أدنى للطلب قطعة واحدة.

- مشكلة تشوه درجة الحرارة العالية: أنابيب الكوارتز ذات القطر الكبير عرضة للانهيار أو أن تصبح بيضاوية الشكل عند درجات حرارة عالية ← تصميم خاص للتليين والدعم، الاستدارة ≥ 0.5 مم.

نطاق المواصفات القابلة للتخصيص

القطر الخارجي: 200 مم / 220 مم / 250 مم / 280 مم / 300 مم / 350 مم / 400 مم / 450 مم (يمكن التفاوض على أحجام أخرى)

سمك الجدار: 3 مم / 4 مم / 5 مم / 6 مم / 8 مم (± 0.3 مم)

الطول: 500 مم -2000 مم (± 2 مم)

هيكل فم الأنبوب: فم مسطح، فم شفة، فم متدرج، فم مدبب، ختم سفلي من طرف واحد، فتحة على الوجهين

محتوى الهيدروكسيل: ≥ 5 جزء في المليون (درجة خالية من الأوزون)/ ≥ 1 جزء في المليون (درجة هيدروكسيل منخفضة للغاية، تستخدم في عمليات الأشعة فوق البنفسجية العميقة)

درجة المظهر: الفقاعات: ≥ 0.5 مم/10 × 10 سم؛ الخطوط: لا توجد خطوط مرئية للعين المجردة؛ السطح: طحن ناعم/تلميع/غسيل حمض

ميزة العملية

- إزالة الهيدروكسيل في درجة حرارة عالية + تخليق ركيزة الكوارتز: حجب مسار توليد الأوزون تمامًا ← لا حاجة لتركيب أجهزة إضافية لإزالة الأوزون، مما يوفر تكاليف تجديد المعدات.

- تشكيل دقيق بقطر كبير: باستخدام التشكيل الدوار + طحن الحواف باستخدام الحاسب الآلي، تحمل الاستدارة ≥ 0.5 مم، الاستقامة ≥ 1 مم / م ← فجوة موحدة مع سلك التسخين، تناسق أفضل في مجال درجة الحرارة.

- معالجة السطح الداخلي المقاوم للتآكل: التخليل الاختياري أو تلميع المرآة، والخشونة Ra ≥ 0.4 ميكرومتر → تقلل من التصاق الجسيمات، وتطيل دورة التنظيف.

- تعزيز الاستقرار الحراري: يخضع كل أنبوب فرن لمراحل التلدين المتعددة للتخلص من الضغط الداخلي، ويمكن أن يصل معدل التسخين إلى 15 درجة مئوية/دقيقة بدون انفجار.

سيناريوهات التطبيق النموذجية

-فرن نشر أشباه الموصلات/فرن الأكسدة (القطر الخارجي 250-350 مم): خالٍ من الأوزون لمنع الأكسدة غير المتوقعة على سطح الرقاقة، مما يحسن اتساق جودة طبقة أكسيد البوابة.

- أنبوب فرن PECVD الكهروضوئي (القطر الخارجي 300-400 مم): قطر كبير مطابق لتحميل رقائق السيليكون على نطاق واسع، خالي من الأوزون لتقليل تآكل قارب الكوارتز.

- نظام CVD البحثي (القطر الخارجي 200-250 مم): مناسب للدفعات الصغيرة، وتجارب ترسيب المواد عالية النقاء، دون تدخل الأوزون في مسار التفاعل.

- فرن التلدين ذو درجة الحرارة العالية MEMS (القطر الخارجي 150-200 مم) ، يمكننا أيضًا القيام بذلك): إصدار هيدروكسيل منخفض للغاية مدمج مع تقنية الأشعة فوق البنفسجية العميقة.

حالة طلب العميل (مجهول)

الحالة 1: فرن نشر بسكويت الويفر مقاس 8 بوصة

-المتطلبات: القطر الخارجي 300 مم، الطول 1600 مم، سمك الجدار 5 مم، لعملية أكسدة البوابة. تبلغ تكلفة أنبوب الفرن الأصلي المتطور حوالي 18000 يوان للقطعة الواحدة ويبلغ وقت التسليم 8 أسابيع. لقد جربت ذات مرة أنبوب كوارتز عادي، ولكن بعد أسبوعين، ظهرت رواسب بيضاء (نيترات) على الجدار الداخلي للأنبوب، وتجاوزت الجزيئات الموجودة على سطح الرقاقة المعيار.

-الحل الذي نقدمه: توفير أنابيب فرن كوارتز صناعية خالية من الأوزون مع محتوى هيدروكسيل يبلغ 3.2 جزء في المليون وجدران داخلية مصقولة كالمرآة.

-النتيجة: لم يتم العثور على أي منتجات تآكل للأوزون أثناء التشغيل المستمر لمدة 6 أسابيع، وكانت بيانات مراقبة الجسيمات متوافقة مع تلك الخاصة بأنابيب الفرن المتطورة. تم تخفيض تكلفة الوحدة الواحدة بنسبة 42%، وتم اختصار وقت التسليم إلى 12 يومًا.

الحالة 2: الشركة المصنعة للمعدات الكهروضوئية الأوروبية

- المتطلبات: القطر الخارجي 380 مم، الطول 1850 مم، سمك الجدار 6 مم، للـ PECVD الأنبوبي. المتطلبات: لا يوجد تشوه عند درجة الحرارة العالية تحت القطر الكبير، ومتوافق تمامًا مع نظام ختم الحافة الموجود لدى العميل.

- الصعوبة: أنابيب الكوارتز العادية ذات القطر الكبير لها إهليلجية تتجاوز 2 مم عند 1100 درجة مئوية، مما يؤدي إلى تسرب الختم.

- خطتنا هي اعتماد تشكيل دوار + تصميم سمك جدار الضلع المقوى (سميك محليًا إلى 8 مم)، وبعد التلدين، تكون الإهليلجية المقاسة لدرجة الحرارة العالية ≥ 0.8 مم.

-النتيجة: بعد اجتياز اختبار الدورة الحرارية للعميل (درجة حرارة الغرفة → 1100 درجة مئوية → درجة حرارة الغرفة، كرر 20 مرة)، لم يكن هناك أي تسرب أو شقوق.

الحالة 3: نظام الأمراض القلبية الوعائية في مركز النانو الجامعي

-المتطلبات: القطر الخارجي 200 مم، الطول 800 مم، طرف واحد مغلق، يستخدم لنمو الجرافين. تتطلب نظافة عالية للغاية دون أي تلوث بالأوزون أو المعدن.

- الصعوبة: العديد من الموردين غير قادرين على تقديم شهادة خالية من الأوزون، وهناك خطر كبير من الإجهاد المتبقي في الختم السفلي.

-الحل الذي نقدمه: كوارتز هيدروكسيل منخفض للغاية (هيدروكسيل ≥ 1 جزء في المليون) + تصميم مانع للتسرب على شكل قوس، مُصلب بالكامل بعد التشكيل الساخن. قبل الشحن، قم بإجراء اختبار شريط اختبار الأوزون (الأشعة فوق البنفسجية 254 نانومتر لمدة 30 دقيقة، دون تغيير لون شريط الاختبار).

-النتيجة: تمت زراعة طبقة واحدة من الجرافين بنجاح بنسبة ذروة رامان 2D/G> 2.

سواء كنت بحاجة إلى مطابقة الحجم القياسي للمعدات القديمة أو تطوير أقطار غير تقليدية للعمليات الجديدة - يمكن تخصيص أحدها، مما يوفر تأكيدًا للرسم ثلاثي الأبعاد وتقارير المواد وتقارير اختبار الأوزون. اتصل بمهندسي العمليات لدينا على الفور للحصول على الحلول الحصرية وعروض الأسعار المطبقة على معلمات الفرن الخاص بك.

Luverre Quartz هي شركة مصنعة متخصصة في أنابيب الكوارتز وعناصر الكوارتز الأخرى. لدينا أكثر من 20 عامًا من الخبرة في إنتاج أنابيب الكوارتز، وسنكون شريكك الموثوق به في أنابيب الكوارتز وعناصر الكوارتز الأخرى.

يمكن لـ Luverre Quartz تصنيع أنابيب كوارتز مخصصة بأشكال مختلفة، مثل اللولبية والمربعة والدائرية، مع المعالجة بما في ذلك القطع والثني واللحام وما إلى ذلك، ومتوفرة بألوان مختلفة، مثل أنابيب الكوارتز الشفافة، وأنابيب الكوارتز غير الشفافة، وأنابيب الكوارتز البيضاء الحليبية، وأنابيب الكوارتز الحمراء، وما إلى ذلك.