Zeer zuivere, bubbelvrije kwartsbuis van halfgeleiderkwaliteit

Tegenwoordig, nu de productieprocessen van halfgeleiders zich ontwikkelen naar processen onder de 3 nanometer, kunnen onzuiverheden of belletjes op micrometerniveau kortsluiting in de chipcircuits of opbrengstdalingen veroorzaken. Hoge zuiverheid van halfgeleiderkwaliteit bubbelvrije kwartsbuizen zijn hoogwaardige kwartsglasbuizen vervaardigd met behulp van geavanceerde synthese- of elektrische smeltprocessen, met strikte controle over de zuivering van grondstoffen en de gietomgeving. Het belangrijkste kenmerk is dat het gehalte aan metaalonzuiverheden lager is dan 50 ppb (zelfs het ppb-niveau bereikt) en dat er geen zichtbare of microscopisch kleine belletjes in de buiswand zitten, waardoor een extreem schone draag- en reactieomgeving ontstaat voor diffusie-/oxidatieovens op hoge temperatuur en CVD-dampafzettingsapparatuur. Het is een belangrijk verbruiksartikel om de opbrengst van de productie van 12 inch wafers te garanderen.

Veelgestelde vragen van klanten

Vraag: Waarom ondervindt mijn wafer altijd storingen in de elektrische prestaties als gevolg van metaalverontreiniging tijdens diffusie bij hoge temperaturen?

Antwoord: Dit komt meestal door onzuiverheden die bij hoge temperaturen uit gewone kwartsbuizen neerslaan. Onze kwartsbuis met hoge zuiverheid handhaaft de structurele stabiliteit bij een hoge temperatuur van 1200 ℃ door de totale hoeveelheid van 19 metalen elementen zoals Al, Fe, Na op een extreem laag niveau te regelen, zonder onzuiverheidsdeeltjes in de ovenbuis vrij te geven, waardoor de reinheid van de wafel vanaf de bron wordt beschermd.

Vraag: Hebben kleine belletjes op de binnenwand van kwartsbuizen echt invloed op de productie van halfgeleiders?

Antwoord: Ja. Bellen zullen tijdens processen bij hoge temperaturen uitzetten, scheuren en fijn stof vrijgeven, wat een van de belangrijkste oorzaken van productdefecten is. We maken gebruik van zero bubble control-technologie om een ​​uniforme en dichte microstructuur van de buiswand te garanderen, waardoor het risico op deeltjesverontreiniging veroorzaakt door het scheuren van de bel effectief wordt geëlimineerd.

Vraag: Kan ik een speciale specificatie aanpassen met een buitendiameter van meer dan 300 mm en een onbepaalde lengte?

Antwoord: Absoluut mogelijk. Als maatwerkfabrikant beperken wij ons niet tot standaardproducten. We bieden diensten op maat voor verschillende specificaties, variërend van een buitendiameter van 20 mm tot meer dan 350 mm en een wanddikte van 1,5 mm tot 15 mm, en kunnen diepe bewerkingen uitvoeren zoals snijden, expanderen, schuren of flenslassen volgens de tekeningen.

Kernvoordelen en toepassingen van het product

Kernprobleem opgelost

1. Vervuiling door metaalonzuiverheden: het probleem opgelost van drempelspanningsdrift in wafers veroorzaakt door de precipitatie van alkalimetalen en zware metalen zoals Na, K, Li bij hoge temperatuurprocessen als gevolg van onvoldoende zuiverheid van gewone kwartsbuizen.

2. Deeltjesdefecten veroorzaakt door bellen: het probleem opgelost van het loslaten van de coating of het genereren van deeltjes als gevolg van het breken van de bellen op de buiswand, wat de uniformiteit van lithografie of etsen beïnvloedt.

3. Overmatig hydroxylgehalte (OH): Verlaagd het hydroxylgehalte, waardoor de problemen van de infraroodverwarmingsefficiëntie worden opgelost die wordt beïnvloed door hydroxylabsorptiepieken en de slechte vervormingsweerstand bij hoge temperaturen van kwartsbuizen.

4. Afwijking van de geometrische nauwkeurigheid: strikte controle van de concentriciteit en ellipticiteit zorgt voor de uniformiteit van de luchtstroom in de ovenbuis, waardoor lokale oververhitting en explosie veroorzaakt door ongelijkmatige wanddikte wordt vermeden.

Toepassingsgebieden van producten

- Voorbewerking van halfgeleiders: gebruikt voor binnen- en buitenbuizen van diffusieovens, bootrekken, reinigingstanks, CVD-reactiekamers voor 12 inch/8 inch wafers.

-Fotovoltaïsche zonne-energie: gebruikt voor draagbuizen en procesbuizen bij grootschalige PECVD-depositieprocessen.

-Speciale optische vezels en optica: als beschermhoezen voor het voorbereiden en uitgloeien van preforms voor optische vezels.

Toepassingsgevallen van klanten

Om de daadwerkelijke prestaties van ons product aan te tonen, willen we graag een typisch toepassingsvoorbeeld in de halfgeleiderindustrie als volgt delen:

Casusachtergrond:

Een bekende binnenlandse fabrikant van 8-inch vermogenshalfgeleiderchips wordt geconfronteerd met een ernstig knelpunt in de opbrengsten door de hevige concurrentie op de markt. In hun poortoxidatieproces bij hoge temperaturen ontdekten ze dat willekeurig verdeelde 'pinhole'-defecten en onvoorspelbare metaalverontreiniging vaak op het waferoppervlak verschenen, wat resulteerde in een grote lekstroom in het eindproduct, en dat de opbrengst van hoogwaardige stroomapparaten laag bleef, omdat ze niet konden voldoen aan de normen voor grootschalige productie.

Klantvereisten:

De klant heeft dringend behoefte aan een bron van microvervuiling die de kwaliteitsproblemen veroorzaakt door de ovenbuis zelf volledig kan elimineren, en vereist ook dat kwartsbuizen een uitstekende thermische stabiliteit hebben om zich aan te passen aan het productieritme van frequente temperatuurstijgingen en -dalingen, waardoor vervorming of barsten van de buisfittingen wordt vermeden.

Onze oplossing:

We hebben speciaal voor de horizontale ovens van onze klanten een partij zeer zuivere, bellenvrije kwartsbuizen van halfgeleiderkwaliteit (buitendiameter van φ 220 mm, wanddikte van 5 mm, lengte van 2500 mm) op maat gemaakt. De kenmerken van deze partij producten zijn als volgt:

1. Ultieme zuiverheid: we controleren strikt het gehalte aan metaalonzuiverheden (zoals Fe, Cu, Ni en andere langlevende moordenaars) onder de 0,01 ppm, waardoor de diepe vervuiling van zware metalen op siliciumwafels effectief wordt geblokkeerd.

2. Luchtbelvrije structuur: met behulp van zeer zuivere synthesetechnologie zorgt het ervoor dat er geen luchtbellen op de buiswand zitten onder sterke lichtflitslampen en krachtige microscopen, waardoor het risico op gaatjesdefecten wordt geëlimineerd die worden veroorzaakt door 'siliciumstof' gegenereerd door het breken van de luchtbel.

3. Geometrische afmetingen met hoge precisie: controleer strikt de kromming van de boog zodat deze minder dan 1,0 mm / m bedraagt ​​om temperatuuruniformiteit op de positie van de kristalcirkel in de lange buis te garanderen.

Eindeffect:

Na een kwart van de daadwerkelijke productieverificatie, is de feedback van de klant:

-Opbrengstverbetering: de defectdichtheid van belangrijke oxidelagen is met meer dan 30% verminderd, en de algehele opbrengst van geavanceerde vermogensapparaten is met 5-8 procentpunten gestegen.

-Verlengde levensduur: vanwege de uitstekende thermische stabiliteit van het materiaal vertoonde de ovenbuis geen significante verzakking of verlies van permeabiliteit tijdens processen bij hoge temperaturen, en de levensduur werd met ongeveer 20% verlengd in vergelijking met producten van eerdere leveranciers.

-Onderhoudscyclus: vanwege de vermindering van de deeltjesvervuiling is de reinigings- en onderhoudscyclus van ovenbuizen verlengd, waardoor indirect het gebruik van de apparatuur wordt verbeterd.

We zijn ons er terdege van bewust dat elk halfgeleiderproces en elk onderzoeksproject andere eisen stelt aan kwartsmaterialen. Als u op zoek bent naar een absoluut betrouwbare, aanpasbare kwartsbuisoplossing die kan voldoen aan geavanceerde procesuitdagingen, staan ​​wij altijd klaar om u ondersteuning te bieden.

Neem gerust contact met ons op voor een offerte of voor het verstrekken van tekeningen, zodat we u kunnen matchen met de meest geschikte oplossing op maat voor hoogzuivere kwartsbuizen van halfgeleiderkwaliteit!

Luverre Quartz is een fabrikant gespecialiseerd in kwartsbuizen en andere kwartsartikelen. Wij hebben ruim 18 jaar ervaring met de productie van kwartsbuizen, wij zijn uw betrouwbare partner op het gebied van kwartsbuizen en andere kwartsartikelen.

Luverre Quartz kan kwartsbuizen op maat vervaardigen in verschillende vormen, zoals spiraalvormig, vierkant, rond, met bewerkingen zoals snijden, buigen, lassen, enz., en verkrijgbaar in verschillende kleuren, zoals transparante kwartsbuizen, ondoorzichtige kwartsbuizen, melkachtig witte kwartsbuizen, rode kwartsbuizen, enzovoort.

Waarom voor ons kiezen?

1. Wij hebben meer ervaring.

We hebben meer dan 19 jaar productie-ervaring met kwartsartikelen.

2.We zijn efficiënter.

We beantwoorden de verzoeken van klanten binnen 24 uur en we hebben een hoog efficiënt productie-, ingenieurs- en verkoopteam.

3.Onze kwaliteit is meer gegarandeerd.

We controleren de kwaliteit van kwartsklonten tot kwartszand en vervolgens kwartsproducten, we hebben een betere en strengere kwaliteitscontrole dan andere fabrikanten.

4.We zijn in staat moeilijkere kwartsproducten te produceren.

We beschikken over grote slijpplatforms en precisie-etsmachines waarmee we een breed assortiment kwartsglas van hoge kwaliteit kunnen produceren en verkopen, waaronder kwartsbuizen, kwartsplaten, kwartsstaven, kwartsvensters, kwartskroezen, kwartsboten, kwartsflenzen, kwartsbekers, kwartsglasinstrumenten en meer.

5. Ongeveer 20 jaar professionele ervaring

-Een kwart eeuw lang focussen op de productie van kwartsproducten

-De gemiddelde werkervaring van het technische team bedraagt ​​meer dan 15 jaar

6. Wereldwijd servicenetwerk

-Onze producten worden geëxporteerd naar meer dan 40 landen en regio's, waaronder Europa, Amerika, Japan, Zuid-Korea en het Midden-Oosten

-Meertalige technische ondersteuning (Engels, Duits, Frans, Spaans, Russisch, Japans)

7. Flexibele samenwerkingsmodus

Ondersteun kleine proefbestellingen, samenwerking op middellange en lange termijn en dringende productie voor dringende bestellingen, door OEM / ODM-diensten te leveren.