Tubo de quartzo sem bolhas de alta pureza de grau semicondutor

Hoje, à medida que os processos de fabricação de semicondutores avançam para processos abaixo de 3 nanômetros, quaisquer impurezas ou bolhas de nível micrométrico podem causar curtos-circuitos no chip ou quedas de rendimento. Grau semicondutor de alta pureza Os tubos de quartzo sem bolhas são tubos de vidro de quartzo de alta qualidade fabricados usando síntese avançada ou processos de fusão elétrica, com controle rigoroso sobre a purificação da matéria-prima e ambientes de moldagem. Sua principal característica é que o teor de impurezas metálicas está abaixo de 50ppb (até mesmo atingindo o nível de ppb) e não há bolhas visíveis ou microscópicas na parede do tubo, proporcionando um ambiente de transporte e reação extremamente limpo para fornos de difusão/oxidação de alta temperatura e equipamentos de deposição de vapor CVD. É um consumível essencial para garantir o rendimento da fabricação de wafers de 12 polegadas.

Perguntas frequentes dos clientes

P: Por que meu wafer sempre apresenta falha no desempenho elétrico devido à contaminação metálica durante a difusão em alta temperatura?

Resposta: Isso geralmente ocorre devido a impurezas que precipitam dos tubos de quartzo comuns em altas temperaturas. Nosso tubo de quartzo de alta pureza mantém a estabilidade estrutural em uma alta temperatura de 1200 ℃ controlando a quantidade total de 19 elementos metálicos como Al, Fe, Na em um nível extremamente baixo, sem liberar partículas de impureza no tubo do forno, protegendo assim a limpeza do wafer desde a fonte.

P: Pequenas bolhas na parede interna dos tubos de quartzo realmente afetam a produção de semicondutores?

Resposta: Sim. As bolhas se expandirão, romperão e liberarão poeira fina durante processos de alta temperatura, o que é uma das principais causas de defeitos do produto. Adotamos tecnologia de controle de bolha zero para garantir uma microestrutura uniforme e densa da parede do tubo, eliminando efetivamente o risco de contaminação por partículas causada pela ruptura da bolha.

P: Posso personalizar uma especificação especial com diâmetro externo superior a 300 mm e comprimento indefinido?

Resposta: Absolutamente possível. Como fabricante personalizado, não estamos limitados a produtos padrão. Fornecemos serviços personalizados para diversas especificações, variando de diâmetro externo de 20 mm a mais de 350 mm e espessura de parede de 1,5 mm a 15 mm, e podemos realizar processamento profundo, como corte, expansão, lixamento ou soldagem de flange de acordo com os desenhos.

Principais vantagens e aplicações do produto

Problema central resolvido

1. Poluição por impurezas metálicas: Resolveu o problema de desvio de tensão limite em wafers causado pela precipitação de metais alcalinos e metais pesados ​​como Na, K, Li em processos de alta temperatura devido à pureza insuficiente dos tubos de quartzo comuns.

2. Defeitos de partículas causados ​​por bolhas: Resolvido o problema de desprendimento do revestimento ou geração de partículas devido à ruptura de bolhas na parede do tubo, o que afeta a uniformidade da litografia ou gravação.

3. Teor excessivo de hidroxila (OH): Redução do teor de hidroxila, resolvendo os problemas de eficiência de aquecimento infravermelho afetados por picos de absorção de hidroxila e baixa resistência à deformação em alta temperatura dos tubos de quartzo.

4. Desvio de precisão geométrica: O controle rigoroso da concentricidade e elipticidade garante a uniformidade do fluxo de ar dentro do tubo do forno, evitando superaquecimento local e explosão causada por espessura irregular da parede.

Áreas de aplicação do produto

-Pré-processamento de semicondutores: Usado para tubos internos/externos de fornos de difusão, racks de barcos, tanques de limpeza, câmaras de reação CVD para wafers de 12/8 polegadas.

-Energia solar fotovoltaica: utilizada para tubos transportadores e tubos de processo em processos de deposição de PECVD em larga escala.

-Fibras ópticas e ópticas especiais: como mangas protetoras para preparação e recozimento de pré-formas de fibra óptica.

Casos de aplicação de clientes

Para demonstrar o desempenho real do nosso produto, gostaríamos de compartilhar um caso típico de aplicação na indústria de semicondutores, como segue:

Histórico do caso:

Um conhecido fabricante nacional de chips semicondutores de potência de 8 polegadas está enfrentando um grave gargalo de rendimento na acirrada competição do mercado. Em seu processo central de oxidação de porta de alta temperatura, eles descobriram que defeitos 'pinhole' distribuídos aleatoriamente e contaminação imprevisível de metal frequentemente apareciam na superfície do wafer, resultando em grande corrente de fuga no produto final, e o rendimento de dispositivos de energia de alta qualidade permaneceu baixo, incapaz de atender aos padrões para produção em larga escala.

Requisitos do cliente:

O cliente precisa urgentemente de uma fonte de micropoluição que possa eliminar completamente os problemas de qualidade causados ​​​​pelo próprio tubo do forno, e também exige que os tubos de quartzo tenham excelente estabilidade térmica para se adaptarem ao ritmo de produção de aumentos e quedas frequentes de temperatura, evitando deformações ou rachaduras dos acessórios do tubo.

Nossa solução:

Personalizamos um lote de tubos de quartzo sem bolhas de alta pureza e grau semicondutor (diâmetro externo de φ 220 mm, espessura de parede de 5 mm, comprimento de 2.500 mm) especificamente para os fornos horizontais de nossos clientes. As características deste lote de produtos são as seguintes:

1. Pureza final: Controlamos estritamente o conteúdo de impurezas metálicas (como Fe, Cu, Ni e outros assassinos de longa vida) abaixo de 0,01 ppm, bloqueando efetivamente a poluição profunda de metais pesados ​​em pastilhas de silício.

2. Estrutura livre de bolhas: Usando tecnologia de síntese de alta pureza, garante que não haja bolhas na parede do tubo sob lanternas de luz forte e microscópios de alta potência, eliminando o risco de defeitos pinhole causados ​​por 'pó de silício' gerado pela ruptura da bolha.

3. Dimensões geométricas de alta precisão: Controle rigorosamente a curvatura do arco para ser inferior a 1,0 mm/m para garantir uniformidade de temperatura na posição do círculo de cristal no tubo longo.

Efeito final:

Após um quarto da verificação real da produção, o feedback do cliente:

-Melhoria de rendimento: A densidade de defeitos das principais camadas de óxido foi reduzida em mais de 30% e o rendimento geral de dispositivos de energia de última geração aumentou de 5 a 8 pontos percentuais.

-Vida útil estendida: Devido à excelente estabilidade térmica do material, o tubo do forno não apresentou flacidez significativa ou perda de permeabilidade durante processos de alta temperatura, e a vida útil foi estendida em cerca de 20% em comparação com produtos de fornecedores anteriores.

-Ciclo de manutenção: Devido à redução da poluição por partículas, o ciclo de limpeza e manutenção dos tubos dos fornos foi ampliado, melhorando indiretamente a utilização dos equipamentos.

Estamos bem cientes de que cada processo de semicondutores e projeto de pesquisa tem requisitos diferentes para materiais de quartzo. Se você está procurando uma solução de tubo de quartzo absolutamente confiável e personalizável que possa atender aos desafios de processos avançados, estamos sempre prontos para fornecer suporte para você.

Bem-vindo a entrar em contato conosco para obter um orçamento ou fornecer desenhos, para que possamos combiná-lo com a solução personalizada mais adequada para tubos de quartzo de alta pureza de grau semicondutor!

Luverre Quartz é um fabricante especializado em tubos de quartzo e outros itens de quartzo. Temos mais de 18 anos de experiência na produção de tubos de quartzo, seremos seu parceiro confiável em tubos de quartzo e outros itens de quartzo.

Luverre Quartz pode fabricar tubos de quartzo personalizados em vários formatos, como espiral, quadrado, redondo, com processamento incluindo corte, dobra, soldagem, etc., e disponíveis em diversas cores, como tubos de quartzo transparentes, tubos de quartzo opacos, tubos de quartzo branco leitoso, tubos de quartzo vermelho e assim por diante.

Por que nos escolher?

1.Somos mais experientes.

Temos mais de 19 anos de experiência na produção de itens de quartzo.

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