Пластина из плавленого кварцевого стекла славится чрезвычайно низким коэффициентом теплового расширения, около 5,5 × 10 ⁻⁷/℃, что почти 1/20 от обычного стекла. Эта характеристика позволяет ему сохранять стабильность размеров на микрометровом уровне даже при резких изменениях температуры, что делает его незаменимым основным материалом для прецизионных приложений, таких как машины полупроводниковой литографии, высокотемпературные окна наблюдения и подложки астрономических телескопов.

Что вас больше всего беспокоит по поводу коэффициента теплового расширения?

Вопрос: Моему устройству приходится неоднократно переключаться между высокой температурой и комнатной температурой, а деформация обычных материалов вызывает отклонение оптического пути. Как я могу решить эту проблему?

Ответ: Сверхнизкий коэффициент теплового расширения пластины из плавленого кварцевого стекла может гарантировать отсутствие деформации при температурном шоке, фундаментально решить проблему сбоя калибровки системы, вызванную тепловым расширением и холодным сжатием, и обеспечить долгосрочную стабильную работу вашего оборудования.

Вопрос: В качестве смотровых окон для высокотемпературных реакционных сосудов нам необходимо использовать кварцевые пластины, которые должны быть термостойкими и герметичными. Можем ли мы достичь этого?

Ответ: Абсолютно возможно. Наша пластина из плавленого кварца не только выдерживает температуру до 1100 ℃, но также обеспечивает точное плоское шлифование, обеспечивая плоскостность поверхности до λ/10. Он может обеспечить надежную герметизацию в вакууме или среде высокого давления с помощью специальных уплотнительных колец.

Вопрос: Для проекта требуется кварцевая подложка сверхбольшого размера и одинаковой толщины для тонкопленочного носителя для осаждения. Может ли поддерживаться настройка?

Ответ: Конечно. У нас есть возможность производить сверхбольшие пластины из плавленого кварца (максимальный размер может достигать 1000 x 800 мм) и строго контролировать допуск по толщине в пределах ± 0,02 мм, чтобы удовлетворить ваши строгие требования к плоскостности подшипников.

Уникальная ценность, обусловленная чрезвычайно низким коэффициентом расширения.

1. Практически нулевая термическая деформация.

Коэффициент линейного термического расширения плавленого кварцевого стекла чрезвычайно низок, а это значит, что при изменении температуры его атомная структура практически не смещается. Прямым преимуществом этой функции является:

-Точное выравнивание: в таком оборудовании, как литографические машины, длительное воздействие не приведет к искажению рисунка из-за накопления тепла.

-Термическая стабильность: идеальный материал для эталонных линеек и измерительных инструментов, обеспечивающий вечную точность измерений.

2. Отличная стойкость к термическому удару.

Из-за низкого коэффициента теплового расширения, когда материал нагревается локально, тепловое напряжение, создаваемое внутри, очень мало, поэтому пластина из плавленого кварца обладает чрезвычайно высокой стойкостью к тепловому удару. Даже если раскаленную кварцевую пластину вылить прямо в холодную воду, она не взорвется. Эта особенность делает его широко используемым в:

-Лазерные защитные линзы: выдерживают мгновенное воздействие лазера высокой энергии.

-Металлургическое смотровое окно: обращено к высокотемпературному излучению печи, не разбиваясь.

3. Широкие возможности настройки спецификаций.

Мы понимаем, что разные приложения предъявляют совершенно разные требования к размеру, толщине и допускам. Мы предоставляем индивидуальные услуги для всего процесса: от черновой резки, шлифовки, полировки до снятия фасок и сверления, гарантируя, что каждая кварцевая пластина идеально адаптирована к интерфейсу вашего оборудования.

Как коэффициент теплового расширения влияет на практическое применение?

Физический смысл коэффициента теплового расширения

Коэффициент теплового расширения отражает стабильность размеров материала при изменении температуры. Для прецизионной оптики и производства полупроводников наноразмерная деформация означает снижение выхода продукта. Наша пластина из плавленого кварца устраняет внутреннее напряжение за счет выбора сырья с низким содержанием гидроксила (OH) и специального процесса отжига, так что ее кривая теплового расширения остается плоской и прямой во всем диапазоне температур.

Типичные сценарии применения

1. Оборудование для производства полупроводников: в качестве полировальной пластины для оборудования CMP (химико-механической полировки) и подложки для литографических машин требуется чрезвычайно низкая макроскопическая деформация для обеспечения единообразия при обработке пластин.

2. Аэрокосмическая промышленность и астрономия . В качестве зеркальной подложки больших астрономических телескопов она может сохранять форму поверхности зеркала неизменной, даже если существует огромная разница температур между днем ​​и ночью, обеспечивая четкое изображение.

3. Новая энергетика и химическая промышленность. В качестве формы для горячего прессования топливных элементов и зеркала для высокотемпературных реакторов необходимо сохранять стабильность размеров и прозрачность при высоких температурах и давлениях.

Кейс обращения клиента: Помощь в локализации и замене полупроводникового оборудования

Предыстория дела:

Производитель полупроводникового оборудования разрабатывает машину для высокотемпературной ионной имплантации полупроводников третьего поколения (карбид кремния SiC). Оборудование должно оптически выравнивать пластину через кварцевое окно в высокотемпературной среде выше 600 ℃. В первоначальном плане проектирования использовалась кварцевая плита определенной импортной марки, но она не только имела длительный срок поставки, но и неоднократно сталкивалась с проблемой смещения метки выравнивания при высоких температурах, что приводило к остановке отладки оборудования на три месяца.

Анализ требований:

Заказчикам срочно необходима пластина из плавленого кварца толщиной 10 мм и размером 300×400 мм. Требования:

-В термическом цикле от комнатной температуры до 650 ℃ изменение плоскостности составляет менее 5 микрон.

-Материал не имеет пузырьков и полос, что обеспечивает равномерное пропускание света.

-Четыре стороны должны быть тщательно отшлифованы и скошены под углом 45° для облегчения установки в вакуумную камеру.

Наше решение:

1. Соответствие материалов: мы рекомендуем использовать газорафинированный кварц марки JGS2 с низким коэффициентом расширения, прошедший специальную термообработку для дальнейшего снятия остаточных напряжений.

2. Точная обработка: благодаря технологии двустороннего шлифования и полировки исходная плоскостность достигает 1 микрона/10 мм ⊃2;. Впоследствии было проведено несколько циклов высокотемпературного отжига для имитации условий использования клиента, гарантируя, что «предварительная усадка» материала была завершена, а фактическое изменение плоскостности на высокотемпературной стадии 650 ℃ контролировалось в пределах 3 микрон.

3. Защита упаковки. Учитывая хрупкость тонких пластин большого размера, мы разработали специальные амортизирующие деревянные ящики и электростатические адсорбционные пленки, чтобы обеспечить надежную доставку во время морской перевозки.

Конечный эффект:

После того, как заказчик интегрировал нашу кварцевую пластину в машину для ионной имплантации, система высокотемпературного выравнивания работала стабильно, а изображения были четкими и без искажений. Руководитель процесса заказчика предоставил отзыв: «Эта кварцевая пластина решила нашу самую неприятную проблему теплового дрейфа, обеспечивая плавную интеграцию всей машины». 

Если вы ищете пластину из плавленого кварцевого стекла, которая может быть такой же стабильной, как камень, в условиях экстремальной разницы температур или иметь нестандартный размер и потребности в сверхвысокой точности обработки, пожалуйста, свяжитесь с нами для получения технической консультации или тестирования образцов.

Luverre Quartz является производителем, специализирующимся на производстве различных кварцевых пластин. Мы можем производить кварцевые пластины по индивидуальному заказу различных размеров и форм, таких как квадратные, круглые, овальные и другие конструкции специальной формы в соответствии с требованиями заказчика. Обработка включает резку, гибку, сварку и т. д. Доступны различные цвета, такие как прозрачные кварцевые пластины, непрозрачные кварцевые пластины, молочные кварцевые пластины и так далее.

Почему выбирают нас?

1. Мы более опытны.

У нас более 19 лет опыта производства кварцевых изделий.

2. Мы более эффективны.

Мы отвечаем на запросы клиентов в течение 24 часов и имеем высокоэффективное производство, инженеров и команду продаж.

3. Наше качество более гарантировано.

Мы контролируем качество от кварцевых кусков до кварцевого песка и затем кварцевых изделий, у нас лучший и более строгий контроль качества, чем у других производителей.

4. Мы можем производить более сложные кварцевые изделия.

У нас есть большие шлифовальные платформы и прецизионные травильные машины, которые позволяют нам производить и продавать широкий ассортимент высококачественного кварцевого стекла, включая кварцевые трубки, кварцевые пластины, кварцевые стержни, кварцевые окна, кварцевые тигли, кварцевые лодочки, кварцевые фланцы, кварцевые стаканы, инструменты из кварцевого стекла и многое другое.

5. Около 20 лет профессионального опыта.

-Фокус на производстве кварцевых изделий уже четверть века.

-Средний опыт работы технической команды превышает 15 лет.

6.Глобальная сеть обслуживания

-Наша продукция экспортируется в более чем 40 стран и регионов, включая Европу, Америку, Японию, Южную Корею и Ближний Восток.

-Многоязычная техническая поддержка (английский, немецкий, французский, испанский, русский, японский)

7. Гибкий режим сотрудничества.

Поддержка небольших пробных заказов, среднесрочное и долгосрочное сотрудничество, а также срочное производство для срочных заказов, предоставление услуг OEM/ODM.