Quarzglasplatten sind für ihren extrem niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten bekannt, der etwa 5,5 × 10 ⁻⁷/℃ beträgt, also fast 1/20 des normalen Glases. Diese Eigenschaft ermöglicht es, auch bei starken Temperaturschwankungen eine Dimensionsstabilität im Mikrometerbereich aufrechtzuerhalten, was es zu einem unverzichtbaren Kernmaterial für Präzisionsanwendungen wie Halbleiter-Lithographiemaschinen, Hochtemperatur-Beobachtungsfenster und Substrate für astronomische Teleskope macht.

Was ist Ihre größte Sorge bezüglich des Wärmeausdehnungskoeffizienten?

F: Mein Gerät muss wiederholt zwischen hoher Temperatur und Raumtemperatur wechseln, und die Verformung gewöhnlicher Materialien führt zu einer Abweichung des optischen Pfades. Wie kann ich dieses Problem lösen?

Antwort: Der extrem niedrige Wärmeausdehnungskoeffizient der Quarzglasplatte kann sicherstellen, dass es bei Temperaturschocks nahezu zu keiner Verformung kommt, das Problem von Systemkalibrierungsfehlern, die durch Wärmeausdehnung und Kältekontraktion verursacht werden, grundsätzlich lösen und den langfristig stabilen Betrieb Ihrer Geräte gewährleisten.

F: Wir müssen Quarzplatten als Beobachtungsfenster für Hochtemperatur-Reaktionsgefäße verwenden, die sowohl hitzebeständig als auch verschließbar sein sollten. Können wir das erreichen?

Antwort: Absolut möglich. Unsere Quarzglasplatte hält nicht nur Temperaturen von bis zu 1100 °C stand, sondern ermöglicht auch einen präzisen Planschliff, um eine Oberflächenebenheit von bis zu λ/10 sicherzustellen. Mit speziellen Dichtringen kann eine zuverlässige Abdichtung in Vakuum- oder Hochdruckumgebungen erreicht werden.

F: Das Projekt erfordert ein Quarzsubstrat mit extrem großen Abmessungen und gleichmäßiger Dicke für den Dünnfilm-Abscheidungsträger. Kann die Anpassung unterstützt werden?

Antwort: Natürlich. Wir sind in der Lage, supergroße Quarzglasplatten herzustellen (die maximale Größe kann 1000 mm x 800 mm erreichen) und kontrollieren die Dickentoleranz streng auf ± 0,02 mm, um Ihre strengen Anforderungen an die Ebenheit der Lager zu erfüllen.

Einzigartiger Wert durch extrem niedrigen Ausdehnungskoeffizienten

1. Nahezu keine thermische Verformung

Der lineare Wärmeausdehnungskoeffizient von Quarzglas ist extrem niedrig, was bedeutet, dass sich seine Atomstruktur bei Temperaturänderungen nahezu nicht verschiebt. Der direkte Vorteil dieser Funktion ist:

-Präzise Ausrichtung: Bei Geräten wie Lithografiemaschinen führt eine längere Belichtung nicht zu Musterverzerrungen aufgrund von Wärmespeicherung.

-Thermische Stabilität: Als ideales Material für Referenzlineale und Messgeräte gewährleistet es die Ewigkeit der Messgenauigkeit.

2. Hervorragende Temperaturwechselbeständigkeit

Aufgrund des niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten ist die im Inneren erzeugte thermische Spannung beim lokalen Erhitzen des Materials sehr gering, sodass die Quarzglasplatte eine extrem hohe Temperaturwechselbeständigkeit aufweist. Selbst wenn die glühende Quarzplatte direkt in kaltes Wasser gegossen wird, explodiert sie nicht. Aufgrund dieser Eigenschaft wird es häufig verwendet in:

-Laserschutzlinsen: Widerstehen sofortigen hochenergetischen Lasereinwirkungen.

-Metallurgisches Beobachtungsfenster: Blick auf die Hochtemperaturstrahlung des Ofens, ohne zu zerbrechen.

3. Umfassende Möglichkeiten zur individuellen Anpassung der Spezifikationen

Wir verstehen, dass verschiedene Anwendungen sehr unterschiedliche Anforderungen an Größe, Dicke und Toleranzen haben. Wir bieten maßgeschneiderte Dienstleistungen für den gesamten Prozess vom Grobschneiden, Schleifen, Polieren bis hin zum Anfasen und Bohren und stellen sicher, dass jede Quarzplatte perfekt an Ihre Geräteschnittstelle angepasst ist.

Wie wirkt sich der Wärmeausdehnungskoeffizient auf praktische Anwendungen aus?

Die physikalische Bedeutung des Wärmeausdehnungskoeffizienten

Der Wärmeausdehnungskoeffizient spiegelt die Dimensionsstabilität eines Materials wider, wenn es sich mit der Temperatur ändert. Für die Herstellung von Präzisionsoptiken und Halbleitern bedeutet eine Verformung im Nanomaßstab eine Verringerung der Produktausbeute. Unsere Quarzglasplatte eliminiert interne Spannungen durch die Auswahl von Rohstoffen mit niedrigem Hydroxylgehalt (OH) und ein spezielles Glühverfahren, sodass ihre Wärmeausdehnungskurve im gesamten Temperaturbereich flach und gerade bleibt.

Typische Anwendungsszenarien

1. Ausrüstung zur Halbleiterherstellung: Als Polierplatte für CMP-Geräte (chemisch-mechanisches Polieren) und als Substrat für Lithographiemaschinen erfordert sie eine extrem geringe makroskopische Verformung, um eine konsistente Waferverarbeitung sicherzustellen.

2. Luft- und Raumfahrt und Astronomie : Als Spiegelsubstrat großer astronomischer Teleskope kann es die Form der Spiegeloberfläche auch bei großen Temperaturunterschieden zwischen Tag und Nacht unverändert beibehalten und so eine klare Abbildung gewährleisten.

3. Neue Energie- und Chemieindustrie: Als Heißpressform für Brennstoffzellen und als Spiegel für Hochtemperaturreaktoren ist es notwendig, bei hoher Temperatur und hohem Druck Dimensionsstabilität und Transparenz aufrechtzuerhalten.

Kundenanwendungsfall: Unterstützung bei der Lokalisierung und Substitution von Halbleitergeräten

Fallhintergrund:

Ein Hersteller von Halbleiterausrüstung entwickelt eine Hochtemperatur-Ionenimplantationsmaschine für Halbleiter der dritten Generation (Siliziumkarbid SiC). Die Ausrüstung muss den Wafer durch ein Quarzfenster in einer Hochtemperaturumgebung über 600 °C optisch ausrichten. Im ursprünglichen Entwurfsplan wurde eine Quarzplatte einer bestimmten importierten Marke verwendet, die jedoch nicht nur eine lange Lieferzeit hatte, sondern auch wiederholt auf das Problem der Drift der Ausrichtungsmarkierungen bei hohen Temperaturen stieß, was dazu führte, dass das Debuggen der Geräte drei Monate lang ins Stocken geriet.

Anforderungsanalyse:

Kunden benötigen dringend eine Quarzglasplatte mit einer Dicke von 10 mm und einer Größe von 300 mm × 400 mm. Anforderungen:

-Im Wärmezyklus von Raumtemperatur bis 650 °C beträgt die Ebenheitsänderung weniger als 5 Mikrometer.

-Das Material weist keine Blasen oder Streifen auf und sorgt so für eine gleichmäßige Lichtdurchlässigkeit.

-Für eine einfache Installation in der Vakuumkammer müssen die vier Seiten fein geschliffen und im 45°-Winkel abgeschrägt sein.

Unsere Lösung:

1. Materialabstimmung: Wir empfehlen die Verwendung von gasraffiniertem Quarz der Güteklasse JGS2 mit niedrigem Ausdehnungskoeffizienten, der einem speziellen Wärmebehandlungsprozess unterzogen wurde, um Restspannungen weiter abzubauen.

2. Präzisionsbearbeitung: Durch die doppelseitige Schleif- und Poliertechnologie erreicht die ursprüngliche Ebenheit 1 Mikrometer/10 mm ⊃2;. Anschließend wurden mehrere Hochtemperatur-Glühzyklen durchgeführt, um die Nutzungsumgebung des Kunden zu simulieren und sicherzustellen, dass die „Vorschrumpfung“ des Materials abgeschlossen war und die tatsächliche Ebenheitsänderung auf der Hochtemperaturstufe bei 650 °C innerhalb von 3 Mikrometern kontrolliert wurde.

3. Verpackungsschutz: Als Reaktion auf die Zerbrechlichkeit großer, dünner Platten haben wir spezielle stoßdämpfende Holzkisten und elektrostatische Adsorptionsfolien entwickelt, um einen kinderleichten Versand beim Seetransport zu gewährleisten.

Endeffekt:

Nachdem der Kunde unsere Quarzplatte in die Ionenimplantationsmaschine integriert hatte, funktionierte das Hochtemperatur-Ausrichtungssystem stabil und die Bilder waren klar und verzerrungsfrei. Der Prozessleiter des Kunden gab Feedback: „Diese Quarzplatte hat unser größtes Problem der thermischen Drift gelöst und eine reibungslose Integration der gesamten Maschine ermöglicht.“ 

Wenn Sie auf der Suche nach einer Quarzglasplatte sind, die in einer Umgebung mit extremen Temperaturunterschieden so stabil wie ein Stein ist, oder wenn Sie eine nicht standardmäßige Größe und eine Verarbeitung mit höchster Präzision benötigen, können Sie sich gerne für technische Beratung oder Mustertests an uns wenden.

Luverre Quartz ist ein Hersteller, der sich auf die Herstellung verschiedener Quarzplatten konzentriert. Wir können maßgeschneiderte Quarzplatten in verschiedenen Größen und Formen herstellen, z. B. quadratisch, rund, oval und andere speziell geformte Designs entsprechend den Anforderungen des Kunden. Die Bearbeitung umfasst Schneiden, Biegen, Schweißen usw. und es stehen verschiedene Farben zur Verfügung, z. B. transparente Quarzplatten, undurchsichtige Quarzplatten, milchige Quarzplatten und so weiter.

Warum uns wählen?

1.Wir sind erfahrener.

Wir verfügen über mehr als 19 Jahre Erfahrung in der Herstellung von Quarzartikeln.

2.Wir sind effizienter.

Wir beantworten Kundenanfragen innerhalb von 24 Stunden und verfügen über ein hocheffizientes Produktions-, Ingenieur- und Vertriebsteam.

3. Unsere Qualität ist garantierter.

Wir kontrollieren die Qualität von Quarzklumpen über Quarzsand bis hin zu Quarzprodukten. Wir haben eine bessere und strengere Qualitätskontrolle als andere Hersteller.

4.Wir sind in der Lage, schwierigere Quarzprodukte herzustellen.

Wir verfügen über große Schleifplattformen und Präzisionsätzmaschinen, die es uns ermöglichen, eine breite Palette hochwertiger Quarzgläser herzustellen und zu verkaufen, darunter Quarzrohre, Quarzplatten, Quarzstäbe, Quarzfenster, Quarztiegel, Quarzboote, Quarzflansche, Quarzbecher, Quarzglasinstrumente und mehr.

5. Etwa 20 Jahre Berufserfahrung

-Konzentriert sich seit einem Vierteljahrhundert auf die Herstellung von Quarzprodukten

-Die durchschnittliche Berufserfahrung des technischen Teams beträgt mehr als 15 Jahre

6.Globales Servicenetzwerk

-Unsere Produkte werden in über 40 Länder und Regionen exportiert, darunter Europa, Amerika, Japan, Südkorea und den Nahen Osten

-Mehrsprachiger technischer Support (Englisch, Deutsch, Französisch, Spanisch, Russisch, Japanisch)

7. Flexibler Kooperationsmodus

Unterstützen Sie Kleinserien-Testaufträge, mittel- und langfristige Zusammenarbeit sowie die dringende Produktion dringender Aufträge und bieten Sie OEM/ODM-Dienstleistungen an.