Точка размягчения 1730 ℃ Кварцевое стекло JGS1.

 

Кварцевое стекло JGS1 представляет собой синтетический материал из плавленого кварца с самой высокой пропускаемостью в дальнем ультрафиолетовом диапазоне, а его температура размягчения достигает 1730 ℃, демонстрируя превосходную стабильность и пропускание в оптических приложениях при экстремально высоких температурах и глубоком ультрафиолете. Как профессиональный производитель изделий из кварца по индивидуальному заказу, Luverre Quartz использует JGS1 высокой чистоты в качестве подложки для обеспечения точной обработки и индивидуальных решений для клиентов по всему миру, отвечающих строгим требованиям к предельным характеристикам материала в передовых областях, таких как полупроводниковая литография, высокоэнергетические лазеры, аэрокосмическая промышленность и т. д.

 

Часто задаваемые вопросы (FAQ)

Вопрос: Что означает «точка размягчения 1730 ℃» кварцевого стекла JGS1?   

Ответ: Точкой размягчения называют температуру, при которой материал начинает подвергаться пластической деформации при нагревании. Температура размягчения 1730 ℃ означает, что JGS1 может сохранять стабильность формы и размера в условиях чрезвычайно высоких температур, значительно превышающих предел термостойкости обычного оптического стекла или обычных кварцевых материалов, и особенно подходит для оптических окон, несущих компонентов или высокотемпературных камер в высокотемпературных процессах.

Вопрос: В чем основное отличие JGS1 от обычного кварцевого стекла?   

Ответ: JGS1 — это синтетический плавленый кварц с очень низким содержанием примесей металлов (общая примесь металлов <1 ppm), высоким коэффициентом пропускания в глубоком ультрафиолетовом диапазоне (185–250 нм) и отсутствием «пика поглощения ультрафиолета». Обычное кварцевое стекло обладает значительным поглощением в ультрафиолетовой области и не может соответствовать требованиям оптических систем глубокого ультрафиолета.

Вопрос: Какие формы можно превратить в JGS1? Могу ли я настроить размер?   

Ответ: Конечно. Мы обеспечиваем полную настройку процесса, от сырья до прецизионной готовой продукции, включая круглые/квадратные оптические окна, линзы, призмы, кварцевые кольца, структурные компоненты фасонной формы, оптические элементы со ступенями или отверстиями и т. д. Диапазон размеров широк, с минимальным допуском обработки ± 0,01 мм, что отвечает потребностям научных исследований и промышленного массового производства.

Вопрос: Будет ли JGS1 кристаллизоваться при высоких температурах?   

Ответ: JGS1 обладает превосходными антикристаллизационными свойствами благодаря высокой чистоте и процессу синтеза. При длительном использовании при высоких температурах (например, 1100 ℃ -1300 ℃) по сравнению с обычным плавленым кварцем склонность к кристаллизации чрезвычайно низка, что позволяет поддерживать долгосрочную стабильность оптических свойств и механической прочности.

 

Какие основные потребности может решить ваш продукт?

-Требования к оптике глубокого ультрафиолета: при литографии DUV, ультрафиолетовом лазере, спектральном анализе и других сценариях обеспечивается коэффициент пропускания более 90% в диапазоне 185–250 нм, чтобы обеспечить эффективность и точность оптической системы.   

-Требования к экстремально высокой температурной стабильности: в высокотемпературных процессах, таких как диффузионные печи, CVD и высокотемпературные испытания, решаются проблемы смягчения деформации и ослабления светопропускания обычных материалов.   

-Требование к сверхнизкому риску загрязнения: избегать технологического загрязнения и потери производительности, вызванных осаждением примесей в приложениях с высокой чистотой, таких как полупроводники и биомедицина.   

-Требования к точному размеру и сложной форме: избавьтесь от ограничений стандартных деталей и получите нестандартные, тонкостенные, крупногабаритные кварцевые компоненты, которые идеально соответствуют конструкции оборудования или оптического пути.

 

Основные характеристики и преимущества продукта

Характеристики материала — окончательный индекс JGS1

Точка размягчения: 1730 ℃

Точка отжига: 1210 ℃

Рабочая температура (долгосрочная): 1100 ℃

Пропускание УФ-излучения (185 нм): ≥ 85% (толщина 10 мм)

Пропускание видимого света: ≥ 92%

Равномерность показателя преломления: ≤ 5 × 10 ⁻⁶

Общее количество металлических примесей: <1 ppm

JGS1 имеет чрезвычайно низкое двойное лучепреломление и коэффициент теплового расширения всего 5,5 × 10 ⁻⁷/℃. Он обладает превосходной термостойкостью и может сохранять структурную целостность при резких изменениях температуры.

2. Возможность точной обработки.

-Оптическая холодная обработка: шлифовка, полировка, нанесение покрытия, точность формы поверхности может достигать λ/10 (632,8 нм), шероховатость поверхности <0,5 нм.

-Механическая обработка: формование с ЧПУ, сверление, снятие фасок, шлифование, прорезь для удовлетворения сложных структурных требований.   

-Обработка чистоты: очистка и упаковка чистых помещений класса 100, применимая непосредственно к линиям по производству полупроводников.

3. Индивидуальные услуги

Мы поддерживаем:

-Индивидуальный размер: диаметр 5–600 мм, толщина 0,5–100 мм.   

-Настройка формы: круглая, прямоугольная, трапециевидная, неровная, со ступенями, сквозными отверстиями и позиционирующими краями.   

-Состояние поверхности: двухсторонняя полировка, односторонняя полировка, матовая поверхность, локальная оптическая поверхность, покрытая антибликовой пленкой/спектральной пленкой/светоотражающей пленкой.   

-Гибкость серийной продукции: от пробного производства единичных изделий до оптовых поставок, что позволяет научно-исследовательским учреждениям удовлетворять потребности небольших партий и высокочастотных итераций.

 

Проблемы применения, которые может решить продукт

В практическом применении заказчики часто сталкиваются со следующими трудностями:

-Недостаточный коэффициент пропускания глубокого ультрафиолетового света: обычный кварц сильно поглощает глубокий ультрафиолетовый диапазон, что приводит к слабым сигналам и низкой эффективности воздействия. JGS1 поддерживает высокий коэффициент пропускания на ключевых длинах волн, таких как 193 нм и 248 нм, что делает его идеальным выбором для литографических машин, эксимерных лазеров и оборудования для УФ-отверждения.

-Отказ оптического компонента при высокой температуре: при высокотемпературных измерениях, лазерной обработке и наблюдении за высокотемпературными реакциями обычные материалы окон могут вызвать искажение данных из-за тепловой деформации или снижения коэффициента пропускания. JGS1 сохраняет отличные оптические характеристики и стабильность размеров при температуре выше 1000 ℃ благодаря температуре размягчения 1730 ℃.

-Загрязнение примесями приводит к сбою процесса: в диффузионных полупроводниковых печах и эпитаксиальном оборудовании осаждение следов металлов из кварцевых компонентов может привести к утечке устройства или сокращению срока службы. Сверхвысокая чистота JGS1 эффективно устраняет источники загрязнения.

-Нестандартные размеры не могут соответствовать импортному оборудованию: импортное оборудование имеет длительные сроки поставки и высокие цены на оригинальные запасные части. Мы можем точно воспроизвести или оптимизировать конструкцию на основе интерфейсов устройства и параметров оптического пути для достижения полной замены.

 

Заявление клиента (анонимно)

Пример 1. Производитель оборудования для полупроводниковой литографии — кварцевое окно для шаговой литографической машины с длиной волны 193 нм.

Требование заказчика: оптическое окно JGS1 диаметром 320 мм, используемое для системы пути ультрафиолетового света длиной 193 нм, требует коэффициента пропускания ≥ 90% (193 нм), точности формы поверхности λ/10, шероховатости поверхности <0,5 нм и длительного воздействия высокоэнергетического ультрафиолетового излучения без образования центров окраски.   

Мы обеспечиваем полный контроль процесса, от сортировки сырья до сверхточной полировки с использованием технологии полировки ионным лучом с конечным коэффициентом пропускания 91,5% и среднеквадратичной погрешностью формы поверхности ≤ λ/12. Изделие прошло 2000-часовое испытание на старение под действием высокоэнергетического ультрафиолета с ослаблением пропускания менее 0,5%.

Случай 2: Научно-исследовательский институт аэрокосмической полезной нагрузки – Окно обнаружения высокотемпературного ультрафиолета

Требование заказчика: используется для определенной модели полезной нагрузки спутника, он должен поддерживать стабильный коэффициент пропускания в глубоком ультрафиолетовом диапазоне (250–300 нм) в условиях переменной температуры окружающей среды от -60 ℃ до +800 ℃, с размером окна 150 мм × 80 мм × 15 мм и установочным фланцем прямоугольной формы.   

Мы используем материал JGS1, который отформован на станке с ЧПУ и отполирован с двух сторон, а поверхность покрыта устойчивой к высоким температурам антибликовой пленкой. В ходе сторонних экологических испытаний после 100 циклов воздействия высокой и низкой температуры коэффициент пропускания продукта изменился менее чем на 1% без растрескивания или расслоения.

Случай 3: Производитель эксимерного лазера высокой мощности — окно выходного сигнала лазера

Проблема клиента: срок поставки оригинального окна импорта JGS1 составляет до 12 недель, а цена растет с каждым годом. Выходная энергия лазера может достигать 500 мДж/импульс, что требует очень высокого порога устойчивости окна к лазерному повреждению.   

Мы предлагаем альтернативное решение, оптимизируя процессы полировки и очистки, чтобы повысить порог лазерного повреждения до ≥ 25 Дж/см ⊃2; (248 нм, 10 нс), что превосходит оригинальные заводские характеристики. При этом срок поставки сократится до 4-6 недель, что приведет к снижению стоимости отдельных единиц продукции на 35%.

Случай 4. Смотровое окно реактора высокой температуры и высокого давления в физической лаборатории определенного университета.

Требование заказчика: используется для экспериментов со сверхкритическими жидкостями с рабочей температурой 900 ℃ и давлением 30 МПа, требующими сбора данных ультрафиолетовой спектроскопии в реальном времени. Оригинальное сапфировое окно имело недостаточную прозрачность УФ-излучения и высокую стоимость.   

Мы изготовили круглые окна JGS1 толщиной 25 мм по индивидуальному заказу, используя двухстороннюю прецизионную полировку и устойчивую к давлению конструкцию. При практическом использовании окно может выдерживать рабочие условия при температуре 900 ℃/30 МПа в течение более 500 часов, а коэффициент пропускания УФ-излучения соответствует требованиям спектральной регистрации, а стоимость составляет всего одну треть от стоимости сапфирового раствора.

 

Будь то полупроводниковая литография, высокоэнергетические лазеры, аэрокосмическая промышленность или высокотемпературная оптика и научно-исследовательские эксперименты, мы можем предоставить вам комплексные услуги по индивидуальной настройке кварцевого стекла JGS1: от выбора материала, прецизионной механической обработки до испытаний покрытия. Добро пожаловать, чтобы предоставить ваши чертежи или требования к использованию, и мы подберем вам оптимальное технологическое решение и время доставки.

 

Luverre Quartz производит и продает широкий ассортимент высококачественного кварцевого стекла, включая кварцевые трубки, кварцевые пластины, кварцевые стержни, кварцевые окна, кварцевые тигли, кварцевые лодочки, кварцевые фланцы, кварцевые стаканы, инструменты из кварцевого стекла и многое другое. Мы можем удовлетворить все индивидуальные требования к изделиям из кварцевого стекла.