Erweichungspunkt 1730 ℃ JGS1 Quarzglas

 

JGS1-Quarzglas ist ein synthetisches Quarzglasmaterial mit der höchsten Durchlässigkeit im fernen Ultraviolettband und einem Erweichungspunkt von bis zu 1730 °C, was eine hervorragende Stabilität und Durchlässigkeit bei extrem hohen Temperaturen und optischen Anwendungen im tiefen Ultraviolett zeigt. Als professioneller Hersteller kundenspezifischer Quarzprodukte verwendet Luverre Quartz hochreines JGS1 als Substrat, um Präzisionsbearbeitung und maßgeschneiderte Lösungen für globale Kunden bereitzustellen und die strengen Anforderungen an die ultimative Materialleistung in Spitzenbereichen wie Halbleiterlithographie, Hochenergielasern, Luft- und Raumfahrt usw. zu erfüllen.

 

Häufig gestellte Fragen (FAQ)

F: Was bedeutet der „Erweichungspunkt 1730 ℃“ von JGS1-Quarzglas?   

Antwort: Der Erweichungspunkt bezeichnet die Temperatur, bei der ein Material beim Erhitzen beginnt, sich plastisch zu verformen. Der Erweichungspunkt von 1730 °C bedeutet, dass JGS1 in Umgebungen mit extrem hohen Temperaturen seine Form- und Größenstabilität beibehalten kann, die Temperaturbeständigkeitsgrenze von gewöhnlichem optischem Glas oder gewöhnlichen Quarzmaterialien weit übersteigt und sich besonders für optische Fenster, tragende Komponenten oder Hochtemperaturkammeranwendungen in Hochtemperaturprozessen eignet.

F: Was ist der Hauptunterschied zwischen JGS1 und gewöhnlichem Quarzglas?   

Antwort: JGS1 ist synthetisches Quarzglas mit einem sehr geringen Gehalt an Metallverunreinigungen (Gesamtmetallverunreinigung < 1 ppm), hoher Durchlässigkeit im tiefen Ultraviolettband (185 nm–250 nm) und keinem „Ultraviolettabsorptionspeak“. Gewöhnliches Quarzglas weist eine erhebliche Absorption im ultravioletten Bereich auf und kann die Anforderungen optischer Systeme im tiefen Ultraviolett nicht erfüllen.

F: In welche Formen kann JGS1 verarbeitet werden? Kann ich die Größe anpassen?   

Antwort: Sicher. Wir bieten vollständige Prozessanpassungen von Rohmaterialien bis hin zu präzisen Fertigprodukten, einschließlich runder/quadratischer optischer Fenster, Linsen, Prismen, Quarzringe, geformter Strukturkomponenten, optischer Elemente mit Stufen oder Löchern usw. Der Größenbereich ist breit und weist eine minimale Bearbeitungstoleranz von ± 0,01 mm auf, um den Anforderungen der wissenschaftlichen Forschung und der industriellen Massenproduktion gerecht zu werden.

F: Wird JGS1 bei hohen Temperaturen kristallisieren?   

Antwort: JGS1 verfügt aufgrund seiner hohen Reinheit und seines Syntheseverfahrens über ausgezeichnete Antikristallisationseigenschaften. Bei langfristiger Verwendung bei hohen Temperaturen (z. B. 1100 ℃ -1300 ℃) ist die Kristallisationstendenz im Vergleich zu gewöhnlichem Quarzglas äußerst gering, wodurch die langfristige Stabilität der optischen Eigenschaften und der mechanischen Festigkeit erhalten bleiben kann.

 

Welche Kernbedürfnisse kann das Produkt für Sie lösen?

-Anforderungen an die Optik für tiefes Ultraviolett: Stellen Sie bei DUV-Lithographie, Ultraviolettlaser, Spektralanalyse und anderen Szenarien eine Durchlässigkeit von über 90 % im 185-nm-250-nm-Band bereit, um die Effizienz und Genauigkeit des optischen Systems sicherzustellen.   

-Extrem hohe Temperaturstabilitätsanforderungen: Lösen Sie in Hochtemperaturprozessen wie Diffusionsöfen, CVD und Hochtemperaturtests die Probleme der Erweichungsverformung und der Lichtdurchlässigkeitsdämpfung gewöhnlicher Materialien.   

-Anforderung an ein äußerst geringes Verschmutzungsrisiko: Zur Vermeidung von Prozessverschmutzung und Ertragsverlusten, die durch die Ausfällung von Verunreinigungen in Anwendungen mit hoher Reinheit, wie z. B. in der Halbleiterindustrie und der Biomedizin, verursacht werden.   

-Präzise Größen- und komplexe Formanforderungen: Beseitigen Sie die Einschränkungen von Standardteilen und erhalten Sie unregelmäßige, dünnwandige, großformatige Quarzkomponenten, die perfekt zur Ausrüstung oder zum optischen Pfaddesign passen.

 

Kernmerkmale und Vorteile des Produkts

Materialleistung – Ultimativer Index von JGS1

Erweichungspunkt: 1730 ℃

Glühpunkt: 1210 ℃

Betriebstemperatur (langfristig): 1100 ℃

UV-Durchlässigkeit (185 nm): ≥ 85 % (10 mm Dicke)

Durchlässigkeit für sichtbares Licht: ≥ 92 %

Gleichmäßigkeit des Brechungsindex: ≤ 5 × 10 ⁻⁶

Gesamtmenge an Metallverunreinigungen: <1 ppm

JGS1 hat eine extrem niedrige Doppelbrechung und einen Wärmeausdehnungskoeffizienten von nur 5,5 × 10 ⁻⁷/℃. Es verfügt über eine ausgezeichnete Temperaturwechselbeständigkeit und kann die strukturelle Integrität bei schnellen Temperaturänderungen aufrechterhalten.

2. Präzisionsbearbeitungsfähigkeit

-Optische Kaltbearbeitung: Schleifen, Polieren, Beschichten, Oberflächenformgenauigkeit kann λ/10 (632,8 nm) erreichen, Oberflächenrauheit <0,5 nm.

-Mechanische Bearbeitung: CNC-Formen, Bohren, Anfasen, Schleifen, Schlitzen, um komplexe strukturelle Anforderungen zu erfüllen.   

-Reinheitsbehandlung: Reinraumreinigung und Verpackung der Klasse 100, direkt anwendbar auf Halbleiterproduktionslinien.

3. Maßgeschneiderte Dienstleistungen

Wir unterstützen:

-Größenanpassung: Durchmesser 5 mm - 600 mm, Dicke 0,5 mm - 100 mm.   

- Formanpassung: kreisförmig, rechteckig, trapezförmig, unregelmäßige Kontur, mit Stufen, Durchgangslöchern und Positionierungskanten.   

-Oberflächenzustand: doppelseitiges Polieren, einseitiges Polieren, mattierte Oberfläche, lokale optische Oberfläche, beschichtet mit Antireflexionsfilm/Spektralfilm/Reflexionsfilm.   

-Batch-Flexibilität: Von der Einzelstück-Probeproduktion bis zur Massenlieferung, um den Bedarf von Forschungseinrichtungen an kleinen Chargen und Hochfrequenziterationen zu unterstützen.

 

Anwendungsprobleme, die das Produkt lösen kann

In der Praxis stoßen Kunden häufig auf folgende Schwierigkeiten:

-Unzureichende Durchlässigkeit des Lichtwegs im tiefen Ultraviolett: Gewöhnlicher Quarz absorbiert stark im tiefen Ultraviolettband, was zu schwachen Signalen und einer geringen Belichtungseffizienz führt. JGS1 behält eine hohe Durchlässigkeit bei Schlüsselwellenlängen wie 193 nm und 248 nm bei, was es zur idealen Wahl für Lithografiemaschinen, Excimer-Laser und UV-Härtungsgeräte macht.

-Versagen optischer Komponenten bei hohen Temperaturen: Bei Hochtemperaturmessungen, Laserbearbeitung und Hochtemperaturreaktionsbeobachtungen können gewöhnliche Fenstermaterialien aufgrund thermischer Verformung oder verringerter Durchlässigkeit zu Datenverzerrungen führen. JGS1 behält aufgrund seines Erweichungspunkts von 1730 ℃ eine hervorragende optische Leistung und Dimensionsstabilität über 1000 ℃ bei.

-Verunreinigung durch Verunreinigungen führt zu Prozessfehlern: In Halbleiterdiffusionsöfen und Epitaxiegeräten kann die Ausfällung von Spurenmetallen aus Quarzkomponenten zu Geräteleckagen oder einer verkürzten Lebensdauer führen. Die ultrahohe Reinheit von JGS1 eliminiert effektiv Verschmutzungsquellen.

-Nicht standardmäßige Größen können nicht mit importierten Geräten mithalten: Importierte Geräte haben lange Lieferzeiten und hohe Preise für Originalersatzteile. Wir können das Design basierend auf Geräteschnittstellen und optischen Pfadparametern genau reproduzieren oder optimieren, um einen vollständigen Austausch zu erreichen.

 

Kundenanwendungsfall (anonym)

Fall 1: Ein Hersteller von Halbleiter-Lithographiegeräten – Quarzfenster für eine 193-nm-Stepper-Lithographiemaschine

Kundenanforderung: Das optische JGS1-Fenster mit einem Durchmesser von 320 mm, das für ein 193-nm-Tief-Ultraviolett-Lichtwegsystem verwendet wird, erfordert eine Durchlässigkeit ≥ 90 % (193 nm), eine Oberflächenformgenauigkeit λ/10, eine Oberflächenrauheit <0,5 nm und eine langfristige Einwirkung energiereicher ultravioletter Strahlung ohne Bildung von Farbzentren.   

Wir bieten vollständige Prozesskontrolle vom Rohmaterial-Screening bis zum Hochpräzisionspolieren mithilfe der ionenstrahlunterstützten Poliertechnologie mit einer endgültigen Durchlässigkeit von 91,5 % und einem Oberflächenformfehler RMS ≤ λ/12. Das Produkt hat einen 2000-Stunden-Alterungstest mit hochenergetischem UV-Licht bestanden, mit einer Transmissionsdämpfung von weniger als 0,5 %.

Fall 2: Ein Forschungsinstitut für Luft- und Raumfahrtnutzlasten – Hochtemperatur-Ultraviolett-Detektionsfenster

Kundenanforderung: Wird für ein bestimmtes Modell einer Satellitennutzlast verwendet und muss eine stabile Durchlässigkeit im tiefen Ultraviolettband (250 nm bis 300 nm) bei wechselnden Temperaturen von -60 °C bis +800 °C mit einer Fenstergröße von 150 mm × 80 mm × 15 mm und einem rechteckigen Installationsflansch aufrechterhalten werden.   

Wir verwenden JGS1-Material, das präzise CNC-geformt und beidseitig poliert ist und auf der Oberfläche mit einer hochtemperaturbeständigen Antireflexionsfolie beschichtet ist. Bei Umwelttests Dritter änderte sich die Lichtdurchlässigkeit des Produkts nach 100 Zyklen hoher und niedriger Temperatur um weniger als 1 %, ohne dass es zu Rissen oder Delaminierungen kam.

Fall 3: Ein Hersteller von Hochleistungs-Excimer-Lasern – Laserausgangsfenster

Kundenproblem: Das ursprüngliche JGS1-Importfenster hat eine Lieferzeit von bis zu 12 Wochen und der Preis steigt von Jahr zu Jahr. Die Ausgangsenergie des Lasers kann bis zu 500 mJ/Impuls erreichen, was einen sehr hohen Schwellenwert für die Widerstandsfähigkeit des Fensters gegen Laserschäden erfordert.   

Wir bieten eine alternative Lösung an, indem wir die Polier- und Reinigungsverfahren optimieren, um die Laserzerstörungsschwelle auf ≥ 25J/cm ⊃2 zu erhöhen; (248 nm, 10 ns), was den ursprünglichen Werksspezifikationen überlegen ist. Gleichzeitig wird die Lieferzeit auf 4-6 Wochen verkürzt, was zu einer Reduzierung der Einzelstückkosten um 35 % führt.

Fall 4: Beobachtungsfenster eines Hochtemperatur- und Hochdruckreaktors in einem Physiklabor einer bestimmten Universität

Kundenanforderung: Wird für Experimente mit überkritischen Flüssigkeiten mit einer Arbeitstemperatur von 900 °C und einem Druck von 30 MPa verwendet, die eine Echtzeit-Ultraviolettspektroskopieerfassung erfordern. Das ursprüngliche Saphirfenster hatte eine unzureichende UV-Durchlässigkeit und war teuer.   

Wir haben runde JGS1-Fenster mit einer Dicke von 25 mm individuell angefertigt, indem wir doppelseitiges Präzisionspolieren und druckbeständiges Strukturdesign verwenden. Im praktischen Einsatz hält das Fenster Arbeitsbedingungen von 900 °C/30 MPa mehr als 500 Stunden lang stand und die UV-Durchlässigkeit erfüllt die Anforderungen an die Spektralerfassung, wobei die Kosten nur ein Drittel der Saphirlösung betragen.

 

Ganz gleich, ob es sich um Halbleiterlithographie, Hochenergielaser, Luft- und Raumfahrt oder Hochtemperaturoptik und wissenschaftliche Forschungsexperimente handelt, wir können Ihnen JGS1-Quarzglas-Anpassungsdienste aus einer Hand anbieten, von der Materialauswahl über die Präzisionsbearbeitung bis hin zur Beschichtungsprüfung. Gerne stellen wir Ihnen Ihre Zeichnungen oder Nutzungsanforderungen zur Verfügung und wir finden für Sie die optimale Prozesslösung und Lieferzeit.

 

Luverre Quartz produziert und vertreibt eine breite Palette hochwertiger Quarzgläser, darunter Quarzrohre, Quarzplatten, Quarzstäbe, Quarzfenster, Quarztiegel, Quarzboote, Quarzflansche, Quarzbecher, Quarzglasinstrumente und mehr. Wir können alle Arten von individuellen Anforderungen an Quarzglasprodukte erfüllen.