연화점 1730 ℃ JGS1 석영 유리

 

JGS1 석영 유리 는 원자외선 대역에서 투과율이 가장 높은 합성 용융 실리카 소재로, 연화점은 최대 1730℃로 극고온 및 심자외선 광학 응용 분야에서 탁월한 안정성과 투과율을 나타냅니다. 전문 맞춤형 석영 제품 제조업체인 Luverre Quartz는 고순도 JGS1을 기판으로 사용하여 글로벌 고객에게 정밀 가공 및 맞춤형 솔루션을 제공하고 반도체 리소그래피, 고에너지 레이저, 항공우주 등과 같은 최첨단 분야에서 재료의 궁극적인 성능에 대한 엄격한 요구 사항을 충족합니다.

 

자주 묻는 질문(FAQ)

Q: JGS1 석영 유리의 '연화점 1730 ℃'는 무엇을 의미합니까?   

답: 연화점이란 재료가 가열될 때 소성 변형이 시작되는 온도를 나타냅니다. 1730℃의 연화점은 JGS1이 일반 광학 유리 또는 일반 석영 재료의 온도 저항 한계를 훨씬 초과하는 매우 높은 온도 환경에서 모양 및 크기 안정성을 유지할 수 있음을 의미하며 특히 광학 창, 내하중 부품 또는 고온 공정의 고온 챔버 응용 분야에 적합합니다.

Q: JGS1과 일반 석영 유리의 주요 차이점은 무엇입니까?   

답변: JGS1은 합성 용융 실리카이며 금속 불순물 함량이 매우 낮고(총 금속 불순물 <1ppm) 심자외선 대역(185nm-250nm)에서 투과율이 높으며 '자외선 흡수 피크'가 없습니다. 일반 석영 유리는 자외선 영역에서 상당한 흡수를 나타내며 심자외선 광학 시스템의 요구 사항을 충족할 수 없습니다.

Q: JGS1은 어떤 형태로 가공할 수 있나요? 크기를 맞춤 설정할 수 있나요?   

대답: 물론이죠. 우리는 원형/사각형 광학 창, 렌즈, 프리즘, 석영 링, 형상 구조 부품, 계단 또는 구멍이 있는 광학 요소 등을 포함하여 원재료부터 정밀 완제품까지 전체 프로세스 맞춤화를 제공합니다. 크기 범위는 ± 0.01mm의 최소 가공 공차로 넓어 과학 연구 및 산업 대량 생산의 요구를 충족합니다.

Q: JGS1은 고온에서 결정화됩니까?   

답변: JGS1은 고순도 및 합성 공정으로 인해 결정화 방지 특성이 뛰어납니다. 장기간의 고온 사용(예: 1100℃ -1300℃)에서는 일반 용융 실리카에 비해 결정화 경향이 극히 낮아 광학적 특성과 기계적 강도의 장기적인 안정성을 유지할 수 있습니다.

 

제품이 귀사의 어떤 핵심 요구 사항을 해결할 수 있습니까?

-심자외선 광학 요구 사항: DUV 리소그래피, 자외선 레이저, 스펙트럼 분석 및 기타 시나리오에서 185nm-250nm 대역에서 90% 이상의 투과율을 제공하여 광학 시스템의 효율성과 정확성을 보장합니다.   

-극한 고온 안정성 요구 사항: 확산로, CVD 및 고온 테스트와 같은 고온 공정에서 일반 재료의 연화 변형 및 광 투과율 감쇠 문제를 해결합니다.   

-초저 오염 위험 요구 사항: 반도체 및 바이오의약품과 같은 고청정 응용 분야에서 불순물 침전으로 인한 공정 오염 및 수율 손실을 방지합니다.   

-정밀한 크기 및 복잡한 형상 요구 사항: 표준 부품의 한계를 없애고 장비 또는 광 경로 설계에 완벽하게 일치하는 불규칙하고 얇은 벽의 대형 석영 부품을 얻습니다.

 

제품의 핵심특징 및 장점

재료 성능 - JGS1의 궁극적인 지수

연화점: 1730℃

어닐링점: 1210℃

작동 온도(장기): 1100℃

UV 투과율(185nm): ≥ 85%(10mm 두께)

가시 광선 투과율: ≥ 92%

굴절률 균일성: ≤ 5 × 10 ⁻⁶

금속 불순물의 총량: <1ppm

JGS1은 복굴절이 매우 낮고 열팽창 계수가 5.5 × 10 ⁻⁷/℃에 불과합니다. 열충격 저항성이 뛰어나며 급격한 온도 변화에도 구조적 무결성을 유지할 수 있습니다.

2. 정밀가공능력

-광학적 냉간 가공: 연삭, 연마, 코팅, 표면 형상 정확도는 λ/10(632.8nm), 표면 거칠기<0.5nm에 도달할 수 있습니다.

-기계적 처리: 복잡한 구조적 요구 사항을 충족하기 위해 CNC 성형, 드릴링, 모따기, 샌딩, 슬로팅.   

-청정 처리: 클래스 100 클린룸 세척 및 포장, 반도체 생산 라인에 직접 적용 가능.

3. 맞춤형 서비스

우리는 다음을 지원합니다:

-크기 사용자 정의: 직경 5mm -600mm, 두께 0.5mm -100mm.   

- 모양 사용자 정의: 원형, 직사각형, 사다리꼴, 불규칙한 윤곽선, 계단, 관통 구멍 및 위치 지정 가장자리가 있습니다.   

- 표면 상태 : 양면 연마, 단면 연마, 불투명 표면, 국부 광학 표면, 반사 방지 필름 / 스펙트럼 필름 / 반사 필름 코팅.   

- 배치 유연성: 단일 제품 시험 생산부터 대량 공급까지, 연구 기관의 소규모 배치 및 고주파수 반복 요구를 지원합니다.

 

제품이 해결할 수 있는 응용 문제

실제 적용에서 고객은 종종 다음과 같은 어려움에 직면합니다.

-심자외선 경로의 투과율 부족: 일반 석영은 심자외선 대역을 많이 흡수하여 신호가 약하고 노출 효율이 낮습니다. JGS1은 193nm 및 248nm와 같은 주요 파장에서 높은 투과율을 유지하므로 리소그래피 기계, 엑시머 레이저 및 UV 경화 장비에 이상적인 선택입니다.

-고온 하에서의 광학 부품 고장: 고온 측정, 레이저 가공, 고온 반응 관찰에서 일반 창 재료는 열 변형이나 투과율 감소로 인해 데이터 왜곡이 발생할 수 있습니다. JGS1은 연화점 1730℃로 인해 1000℃ 이상에서도 우수한 광학 성능과 치수 안정성을 유지합니다.

-불순물 오염으로 공정 불량 발생: 반도체 확산로 및 에피텍셜 장비에서는 석영 부품의 미량 금속 석출로 인해 장치 누출이 발생하거나 수명이 단축될 수 있습니다. JGS1 초고순도는 오염원을 효과적으로 제거합니다.

- 비표준 크기는 수입 장비와 일치할 수 없습니다. 수입 장비는 리드 타임이 길고 원래 예비 부품의 가격이 높습니다. 장치 인터페이스 및 광학 경로 매개변수를 기반으로 설계를 정확하게 복제하거나 최적화하여 완전한 교체를 달성할 수 있습니다.

 

고객 신청사례(익명)

사례 1: 반도체 노광 장비 제조업체 - 193nm 스테퍼 노광 기계용 석영 창

고객 요구 사항: 193nm 심자외선 경로 시스템에 사용되는 직경 320mm의 JGS1 광학 창은 투과율 ≥ 90%(193nm), 표면 형태 정확도 λ/10, 표면 거칠기<0.5nm, 컬러 센터를 생성하지 않고 고에너지 자외선에 장기간 노출이 필요합니다.   

이온빔 보조 연마 기술을 사용하여 원자재 스크리닝부터 초정밀 연마까지 전체 프로세스 제어를 제공하며, 최종 투과율은 91.5%이고 표면 형상 오차 RMS ≤ λ/12입니다. 이 제품은 2000시간 고에너지 자외선 노화 테스트를 통과했으며 투과율 감쇠율은 0.5% 미만입니다.

사례 2: 항공우주 탑재체 연구소 - 고온 자외선 탐지 창

고객 요구 사항: 특정 모델의 위성 페이로드에 사용되는 이 제품은 -60℃ ~ +800℃의 온도 변화 환경에서 심자외선 대역(250nm-300nm)에서 안정적인 투과율을 유지해야 하며 창 크기는 150mm × 80mm × 15mm이고 직사각형 모양의 설치 플랜지가 필요합니다.   

우리는 정밀 CNC 성형 및 양면 광택 처리된 JGS1 소재를 사용하며 표면에 고온 내성 반사 필름이 코팅되어 있습니다. 제3자 환경 테스트에서 고온과 저온을 100회 반복한 후 제품의 투과율은 균열이나 박리 없이 1% 미만으로 변화했습니다.

사례 3: 고출력 엑시머 레이저 제조업체 - 레이저 출력 창

고객 문제: 원래 JGS1 수입 기간은 배송 시간이 최대 12주이며 가격은 해마다 증가하고 있습니다. 레이저의 출력 에너지는 최대 500mJ/펄스에 도달할 수 있으며, 이는 레이저 손상에 대한 창의 저항을 위해 매우 높은 임계값을 요구합니다.   

우리는 레이저 손상 임계값을 ≥ 25J/cm ⊃2로 높이기 위해 연마 및 세척 공정을 최적화함으로써 대체 솔루션을 제공합니다. (248nm, 10ns), 이는 원래 공장 사양보다 우수합니다. 동시에 배송 시간이 4~6주로 단축되어 개별 단위 비용이 35% 절감됩니다.

사례 4: 모 대학 물리학 연구실의 고온 고압 반응기 관찰창

고객 요구 사항: 실시간 자외선 분광법 획득이 필요한 작동 온도 900℃, 압력 30MPa의 초임계 유체 실험에 ​​사용됩니다. 원래 사파이어 창은 자외선 투과율이 부족하고 가격도 높았습니다.   

양면 정밀 연마 및 내압 구조 설계를 사용하여 두께 25mm의 JGS1 원형 창을 사용자 정의했습니다. 실제 사용 시 이 창은 500시간 이상 900℃/30MPa 작업 조건을 견딜 수 있으며 UV 투과율은 사파이어 솔루션의 1/3에 불과한 비용으로 스펙트럼 획득 요구 사항을 충족합니다.

 

반도체 리소그래피, 고에너지 레이저, 항공우주, 고온 광학 및 과학 연구 실험 등 재료 선택, 정밀 가공부터 코팅 테스트까지 원스톱 JGS1 석영 유리 맞춤화 서비스를 제공할 수 있습니다. 귀하의 도면이나 사용 요구 사항을 제공해 주시면 최적의 프로세스 솔루션과 배송 시간을 제공해 드리겠습니다.

 

Luverre Quartz는 석영 튜브, 석영 판, 석영 막대, 석영 창, 석영 도가니, 석영 보트, 석영 플랜지, 석영 비커, 석영 유리 기기 등을 포함한 다양한 고품질 석영 유리를 제조 및 판매합니다. 우리는 석영 유리 제품에 대한 모든 종류의 맞춤형 요구 사항을 충족할 수 있습니다.