Кварцевое стекло JGS1 с высокой оптической однородностью

Кварцевое стекло JGS1 с высокой оптической однородностью представляет собой прозрачный материал высшего уровня, специально разработанный для высококачественных оптических систем, с чрезвычайно низкой неоднородностью показателя преломления (Δ n ≤ 1 × 10 ⁻⁶) и превосходным спектральным коэффициентом пропускания. Являясь ведущим мировым производителем кварцевых изделий по индивидуальному заказу, наша продукция класса JGS1 строго соответствует международным стандартам и идеально устраняет искажения волнового фронта. Они являются важными основными подложками в области литографии глубокого ультрафиолета, высокоэнергетических лазеров и прецизионной интерферометрии.

Часто задаваемые вопросы (FAQ)

Вопрос 1: Каковы существенные различия в оптических свойствах кварцевого стекла JGS1 и обычного кварцевого стекла?

Ответ: JGS1 относится к синтетическому плавленому кварцу, и его основное преимущество заключается в чрезвычайно высокой химической чистоте и оптической однородности. По сравнению с природным кварцем или низкосортным кварцем, JGS1 имеет более высокий коэффициент пропускания в диапазоне от 185 до 2500 нм и имеет очень мало внутренних пузырьков и примесей. Самое главное, что неоднородность показателя преломления контролируется на уровне одной миллионной, что позволяет эффективно избежать искажений волнового фронта, вызванных прохождением световых лучей, что несравнимо с обычным кварцем.

В2: Может ли ваша компания обеспечить индивидуальную обработку кварца JGS1 нестандартных размеров или специальной формы поверхности?

О: Абсолютно возможно. Как профессиональный производитель кварцевых изделий по индивидуальному заказу, мы предоставляем комплексные услуги по индивидуальному заказу клиентам по всему миру. Будь то оптические окна со сверхбольшой апертурой, призмы неправильной формы или подложки линз с чрезвычайно высокими требованиями к точности поверхности, мы можем разрезать, шлифовать, полировать и наносить покрытие в соответствии с чертежами заказчика с контролем допусков до нанометрового уровня.

Вопрос 3: Каков порог устойчивости материала JGS1 к повреждениям в среде глубокого ультрафиолета (DUV)?

Ответ: Кварцевое стекло JGS1 демонстрирует превосходную устойчивость к лазерному повреждению благодаря низкому содержанию гидроксилов и плотной структуре. При длинах волн 193 нм (эксимерный лазер ArF) и 248 нм (эксимерный лазер KrF) его порог повреждения тела и порог повреждения поверхности находятся на ведущем уровне в отрасли, что делает его очень подходящим для сред применения мощных лазеров с высокой частотой повторения.

В4: Как обеспечить оптическую однородность и однородность продукции, приобретаемой оптом?

О: Мы применяем передовые процессы тестирования, и каждая партия продуктов JGS1, покидающая завод, проходит высокоточные испытания с помощью интерферометра (например, интерферометра Zygo) и предоставляет подробные отчеты об испытаниях (включая карту распределения показателя преломления, данные о двойном лучепреломлении при напряжении и т. д.). Наша система управления качеством гарантирует, что каждый шаг от плавления сырья до окончательной полировки контролируется, что обеспечивает стабильность поставок продукции по всему миру.

Для пользователей, занимающихся прецизионными оптическими исследованиями и производством, «искажение волнового фронта» и «потери энергии» являются двумя основными болевыми точками. Небольшие флуктуации плотности внутри обычных оптических материалов могут вызвать расхождение лазерного луча или размытие изображения, что напрямую снижает разрешение системы; Поглощение примесей может привести к эффекту термического линзирования и даже к взрыву материала под действием мощного лазера.

Наше кварцевое стекло JGS1 с высокой оптической однородностью предназначено для решения следующих проблем:

Решение проблемы искажения изображения: максимальная однородность показателя преломления гарантирует отсутствие фазовой ошибки при прохождении луча, обеспечивая максимальное разрешение литографических машин, телескопов и других систем.

Решение проблемы мощных тепловых эффектов: сверхнизкий коэффициент поглощения сводит к минимуму повышение температуры материала под воздействием высокоэнергетического лазерного излучения, сохраняя стабильность оптической системы.

Решение проблем настройки: преодоление ограничений стандартных деталей, предоставление пользователям универсальной настройки от сырья до готовых компонентов, сокращение цикла исследований и разработок.

Предельные оптические показатели производительности

Спектральный коэффициент пропускания: средний коэффициент пропускания составляет> 90% в диапазоне 185-2500 нм, особенно в области глубокого ультрафиолета.

Оптическая однородность: Δ n ≤ 1 × 10 ⁻⁶, что обеспечивает минимальное искажение волнового фронта и соответствует требованиям литографии в крайнем ультрафиолете (EUV) и глубоком ультрафиолете (DUV).

Двулучепреломление при низком напряжении: <5 нм/см, подходит для оптических систем, чувствительных к поляризации.

Широко применимые сценарии

Оборудование для полупроводниковой литографии: используется в качестве группы проекционных объективов, подложки маски и линзы системы освещения.

Лазерная система высокой энергии: используется для расширителя лазерного луча, фокусирующего зеркала, зеркала выходной связи и термоядерного устройства с инерционным ограничением.

Прецизионные измерения и испытания: опорное зеркало интерферометра, высокоточная оптическая платформа, заготовка главного зеркала астрономического телескопа.

Аэрокосмическая оптика : линзы полезной нагрузки спутников, иллюминаторы приборов космического дистанционного зондирования, устойчивые к экстремальным перепадам температур и радиации.

Возможность глобального обслуживания настройки

Мы хорошо осведомлены о строгих требованиях к спецификациям и размерам в различных сценариях применения. Опираясь на передовое оборудование для холодной обработки и горячей штамповки, мы обеспечиваем:

Настройка размера: различные диски, блоки и детали неправильной формы диаметром от 10 мм до 600 мм и более.

Точность поверхности: он может обеспечить плоскостность и сферичность с точностью λ/20 при 632,8 нм или даже более высокой точностью.

Обработка поверхности: включая сверхгладкую полировку, антибликовую пленку (AR), пленку с высокой отражающей способностью (HR), а также услуги по индивидуальному нанесению покрытия для спектральных пленок.

Анализ типичного случая применения

Случай 1: известная обсерватория (используется для калибровки больших телескопов).

При создании астрономического телескопа с большой апертурой исследовательской группе потребовалось оптическое окно высокой однородности диаметром 450 мм и толщиной 40 мм в качестве зеркала для коррекции поля изображения для главного фокуса телескопа. Материал должен иметь чрезвычайно высокий коэффициент пропускания в диапазоне длин волн от видимого до ближнего инфракрасного, а искажение волнового фронта при полной апертуре должно быть менее λ/6. Заготовка JGS1 с высокой однородностью, приготовленная методом CVD, была подвергнута прецизионному шлифованию и нанесению покрытия, а полученный конечный продукт имел искажение волнового фронта при полной апертуре лучше, чем λ/8 при приемочных испытаниях, что помогло телескопу получить более четкие изображения глубокого космоса.

Случай 2: Научно-исследовательский институт физики высоких энергий в Европе – Окно передачи лазера на термоядерном синтезе с инерционным удержанием

История клиента

Научно-исследовательский институт создает крупномасштабное экспериментальное устройство для лазерного синтеза, для которого требуется материал вакуумного окна большого диаметра (Φ 300 мм), чтобы выдерживать синхронную бомбардировку несколькими высокоэнергетическими лазерными лучами.

сталкиваться с проблемами

Традиционные кварцевые окна склонны к эффекту термического линзирования при высоких плотностях энергии, что приводит к дрейфу фокуса; Кроме того, в материалах большого размера трудно обеспечить общую оптическую однородность, и они склонны к образованию локальных горячих точек, которые могут вызвать взрывы.

решение

Мы использовали нашу уникальную технологию плавления синтетического кварца больших размеров, чтобы подготовить для наших клиентов пластины большого диаметра JGS1 без полос и пузырьков.

Контроль однородности: благодаря специальному процессу отжига остаточные напряжения внутри листов большого размера устраняются, что обеспечивает Δ n ≤ 1 × 10 ⁻⁶.

Оптимизация порога повреждения: поверхность подверглась суперочистке и специальной обработке покрытием, что увеличило порог повреждения лазером до 15 Дж/см ⊃2; (10 нс, 1064 нм).

Эффективность применения

Это окно показало стабильную работу в нескольких экспериментах со стрельбой на полной мощности без каких-либо термических деформаций или повреждений, эффективно обеспечивая точность экспериментальных данных и безопасную работу устройства. Заказчик оценил наш продукт как соответствующий стандартам допуска ведущих международных лабораторий.

Если вам нужна высокоточная проверка прототипа единичного изделия или крупномасштабные оптовые закупки, мы готовы предоставить вам самое профессиональное решение для индивидуальной настройки кварцевого стекла JGS1. Пожалуйста, свяжитесь с нашим международным отделом продаж для получения бесплатной технической консультации и ценообразования.

Luverre Quartz производит и продает широкий ассортимент высококачественного кварцевого стекла, включая кварцевые трубки, кварцевые пластины, кварцевые стержни, кварцевые окна, кварцевые тигли, кварцевые лодочки, кварцевые фланцы, кварцевые стаканы, инструменты из кварцевого стекла и многое другое. Мы можем удовлетворить все индивидуальные требования к изделиям из кварцевого стекла.