La placa de cuarzo cuadrada UV JGS1-3 de 5-80 mm es una placa de vidrio de cuarzo de grado óptico hecha de dióxido de silicio de alta pureza como materia prima central a través de procesos avanzados como fusión por llama de hidrógeno y oxígeno, fusión eléctrica al vacío o deposición química de vapor por plasma (PCVD). El producto cubre tres series principales: JGS1 (vidrio de cuarzo óptico ultravioleta lejano), JGS2 (vidrio de cuarzo óptico ultravioleta) y JGS3 (vidrio de cuarzo óptico infrarrojo), con un rango de espesor de 5 a 80 mm y admite estructuras irregulares personalizadas, como formas cuadradas y rectangulares.

Características principales:

Transmitancia espectral ultra amplia

JGS1: La transmitancia en la banda de 180-2500 nm es ≥ 90 % y puede alcanzar más del 90 % a 185 nm. El pico de absorción de hidroxilo a 2730 nm es significativo, lo que lo hace adecuado para campos como el láser ultravioleta de onda corta y la litografía ultravioleta profunda.

JGS2: Transmitancia en el rango de longitud de onda de 200-2500 nm ≥ 85%, con un ligero pico de absorción a 240-250 nm, adecuado tanto para aplicaciones de luz visible como UV.

JGS3: La transmitancia de la banda de 260-3500 nm es ≥ 85 %, casi libre de grupos hidroxilo (OH) y tiene un excelente rendimiento de transmisión de infrarrojos, adecuado para imágenes térmicas, transmisión de fibra óptica y otros escenarios.

Tolerancia ambiental extrema

Rango de resistencia a la temperatura: -196 ℃ a 1200 ℃ (el uso a corto plazo puede alcanzar los 1300 ℃), con un coeficiente de expansión térmica de solo 5,5 × 10 ⁻⁷/℃, capaz de soportar un enfriamiento rápido y un choque térmico (como el enfriamiento a 1000 ℃ hasta que el agua fría no se rompa).

Estabilidad química: a excepción del ácido fluorhídrico y el ácido fosfórico caliente, es inerte a ácidos, bases, sales y disolventes orgánicos, y es adecuado para entornos fuertemente corrosivos, como grabado de semiconductores y recipientes de reacción química.

Alta pureza y bajos defectos.

El contenido de impurezas metálicas es ≤ 10 ppm y el contenido de hidroxilo se puede controlar con precisión (JGS1 es de aproximadamente 2000 ppm, JGS2 es de aproximadamente 100-200 ppm, JGS3 está cerca de 0 ppm), eliminando defectos como burbujas, rayas y estructuras de partículas para garantizar la uniformidad óptica.

Excelente rendimiento mecánico

Dureza Mohs 6-7, resistencia a la compresión>1100MPa, resistencia a la flexión 67MPa, la superficie se puede pulir al nivel de un espejo (rugosidad Ra ≤ 0,5 nm), cumpliendo con los requisitos de los sistemas ópticos de alta precisión.

Escenarios de aplicación

Semiconductores y Microelectrónica

Ventana de exposición de la máquina de litografía: la placa de cuarzo JGS1 se utiliza para la litografía láser ArF de 193 nm, con una pérdida de transmitancia de menos del 2 %, lo que garantiza la precisión del proceso del chip.

Cámara de procesamiento de obleas: la placa de cuarzo JGS3 sirve como ventana de observación para el horno de recocido de alta temperatura, que puede soportar un calentamiento continuo a 1100 ℃ para evitar que las impurezas metálicas contaminen la oblea de silicio.

Equipo de grabado por plasma: se utilizan placas de cuarzo cuadradas personalizadas para el aislamiento de la cámara de reacción, resistentes a gases de grabado como CF ₄ y SF ₆, y tienen una vida útil aumentada en más de tres veces.

Comunicación láser y óptica

Láser UV: la placa de cuarzo JGS1 sirve como espejo final de la cavidad resonante, capaz de soportar una alta densidad de potencia del láser de 355 nm (≥ 10 MW/cm ²) con distorsión térmica <λ/10.

Preforma de fibra: la placa de cuarzo JGS3 se utiliza para depositar sustratos del proceso y la transmitancia de infrarrojos garantiza la uniformidad de la temperatura durante el proceso de trefilado, lo que reduce la pérdida de fibra a 0,18 dB/km.

Analizador espectral: placa de cuarzo compuesto multibanda personalizada (JGS1+JGS2), que logra una transmisión de espectro completo de 180-2500 nm y aumenta el límite de detección al nivel de ppb.

Aeroespacial y Defensa

Sistema óptico satelital: la placa de cuarzo JGS1 se utiliza para las ventanas de las cámaras de detección remota UV, que pueden resistir la radiación espacial (dosis total ≥ 10 ⁷ rad) y la erosión del oxígeno atómico, con una vida útil de más de 15 años.

Buscador de misiles: la placa de cuarzo JGS3 sirve como cubierta protectora para detectores de infrarrojos, con una transmitancia de>85% a 3-5 μm y una resistencia al impacto de>50J/m ².

Avión hipersónico: placa de cuarzo cuadrada personalizada para protección térmica del cono de nariz, capaz de soportar el calentamiento aerodinámico a 2000 ℃, con una conductividad térmica de solo 1,38 W/(m · K) y un aumento del 40 % en la eficiencia de aislamiento.

Investigación y atención médica

Fuente de luz de radiación sincrotrón: la placa de cuarzo JGS1 se utiliza para la ventana frontal de la línea de luz, con una transmitancia de> 92 % a 0,1 nm de banda ultravioleta extrema, lo que admite experimentos con láser de electrones libres de rayos X.

Equipo de desinfección UV profunda: placa de cuarzo personalizada de 254 nm como ventana de encapsulación de la lámpara de mercurio, con una transmitancia superior al 85 %, que bloquea la generación de ozono por debajo de 220 nm para garantizar la seguridad operativa.

Espectrómetro Raman: se utiliza una placa de cuarzo JGS2 como sustrato de la celda de muestra, con una transmitancia superior al 80% a la luz de excitación de 785 nm y una mejora de la relación señal-ruido de 20 dB.

Capacidad de servicio personalizado

Personalización de tamaño y forma.

Admite el procesamiento de cualquier tamaño cuadrado dentro de un rango de espesor de 5 a 80 mm (longitud lateral mínima ≥ 10 mm), con capacidades de ranurado, punzonado y biselado. La precisión de apertura es ± 0,01 mm y la precisión posicional es ≤ 0,05 mm.

Ejemplo: Personalice una placa de cuarzo cuadrada de 40 mm × 40 mm × 10 mm para un proveedor de equipos semiconductores, con una abertura central de 8 mm a través del orificio para la ventana de observación de la cámara de vacío.

Proceso de tratamiento de superficies

Grado de pulido: Pulido de precisión de doble cara a Ra ≤ 0,5 nm, adecuado para escenarios de alta precisión como interferómetros y cavidades láser.

Grado mate: tratamiento de chorro de arena de una sola cara (rugosidad Ra=1-5 μ m), utilizado para iluminación de reflexión difusa o pantalla antideslumbrante.

Servicio de recubrimiento: Ofrecemos recubrimientos como película antirreflectante (AR), película reflectante (HR) y película espectral (BS), que cubren un rango de longitud de onda de 180 nm a 5 μ m.

Optimización de la fórmula del material

Personalización con bajo contenido de hidroxilo: mediante el proceso de deshidroxilación al vacío, el contenido de hidroxilo de JGS1 se reduce a menos de 500 ppm y la intensidad máxima de absorción a 2730 nm se reduce en un 60 %, lo cual es adecuado para ventanas de máquinas de litografía de 193 nm.

Modificación antidopaje: agregar elementos como TiO ₂ y Eu ₂ O3 para lograr un filtrado de banda de longitud de onda específica (como un corte de 220 nm y una transmisión de banda estrecha de 340 nm) para su uso en fuentes de luz eléctrica para el cuidado de la salud.

Abordar los puntos débiles de la industria

Transmitancia insuficiente en la banda ultravioleta: el vidrio tradicional experimenta una fuerte caída en la transmitancia por debajo de 200 nm, mientras que la placa de cuarzo JGS1 supera el cuello de botella técnico y logra una transmitancia del 90 % a 185 nm, cumpliendo con los requisitos de las aplicaciones ultravioleta profunda.

Deformación incontrolada en ambientes de alta temperatura: el vidrio de cuarzo común tiene un alto coeficiente de expansión térmica y la serie JGS reduce la distorsión térmica a λ mediante un diseño con bajo contenido de hidroxilo/ 20@632.8nm Garantiza la estabilidad del sistema láser.

Penetración de medios corrosivos: los equipos de las industrias química y de semiconductores deben estar expuestos a ácidos y álcalis fuertes durante mucho tiempo. Este producto tiene mejor resistencia a la corrosión que el acero inoxidable 316L y el ciclo de mantenimiento se extiende a más de 5 años.

Dificultades en el procesamiento de estructuras irregulares: las técnicas de corte tradicionales pueden provocar que las placas de cuarzo se rompan fácilmente. Al utilizar tecnología de procesamiento de precisión láser, la tasa de rendimiento se puede aumentar al 98%, lo que reduce el costo total para los clientes.

Preguntas frecuentes

¿Cuáles son las diferencias entre el vidrio de cuarzo JGS1, JGS2 y JGS3?

JGS1 es cuarzo sintético con la más alta transmitancia UV, adecuado para óptica ultravioleta profunda; JGS2 es cuarzo fundido transparente que contiene trazas de burbujas de aire, adecuado para aplicaciones de luz visible y ultravioleta cercano; JGS3 es cuarzo infrarrojo con bajo contenido de hidroxilo y excelente transmitancia infrarroja. Le recomendaremos el material más adecuado en función de sus requisitos espectrales.

¿Cuáles son las dimensiones máximas de las placas cuadradas de cuarzo que ofrecéis?

Admitimos espesores personalizados que van desde 5 mm a 80 mm, y podemos cortar y pulir los bordes de las placas según las dimensiones especificadas en sus dibujos. Ya sea para la creación de prototipos en lotes pequeños o para la producción a gran escala, podemos cumplir con sus requisitos de especificación.

¿Pueden las placas de cuarzo cuadradas JGS1-3 soportar altas temperaturas o cambios bruscos de temperatura?

Sí. Los puntos de reblandecimiento de JGS1 y JGS3 son aproximadamente 1730°C, mientras que el de JGS2 es aproximadamente 1630°C; Pueden funcionar de forma continua a temperaturas superiores a 1100°C. Su coeficiente de expansión lineal es extremadamente bajo (aproximadamente 5,4×10⁻⁷/°C). No se romperán cuando se calientan a 1100 °C y luego se enfrían rápidamente a temperatura ambiente, lo que los hace adecuados para su uso como ventanas de observación en hornos de alta temperatura, deflectores en hornos de difusión de semiconductores y componentes de aislamiento óptico en entornos de choque térmico. Si su equipo involucra ciclos rápidos de calentamiento y enfriamiento, le recomendamos especificar el rango de temperatura de funcionamiento al seleccionar un producto; Luego podemos recomendar la combinación más adecuada de material y espesor basándonos en esta información.

¿Cuál es el plazo de entrega típico para productos personalizados?

Las especificaciones estándar suelen estar en stock y disponibles para envío inmediato. Los productos personalizados suelen entregarse en un plazo de 7 a 15 días hábiles, según la complejidad del mecanizado. Para pedidos urgentes, ofrecemos servicios de procesamiento acelerado.

¿Ofrecen personalización basada en dibujos y suministro al por mayor?

Admitimos la personalización basada en sus dibujos y podemos mecanizar placas cuadradas con sus dimensiones, espesores, posiciones de orificios, ranuras y contornos irregulares especificados de acuerdo con los dibujos o muestras CAD que usted proporcione. Mantenemos stock de placas JGS1, JGS2 y JGS3 en espesores estándar que van desde 5 a 80 mm. Los pedidos de muestra se pueden entregar en un plazo de 7 a 15 días, mientras que los tiempos de entrega para pedidos al por mayor se determinan mediante consultas en función de la cantidad y la complejidad del procesamiento. Todos los productos enviados vienen con certificados de materiales e informes de pruebas para garantizar la coherencia y la trazabilidad de los lotes.

Si está interesado en una placa de cuarzo cuadrada UV de alta pureza JGS1-3 de 5-80 mm o tiene alguna necesidad de personalización, no dude en contactarnos en cualquier momento.

Luverre Quartz es un fabricante que se centra en producir Varias placas de cuarzo , podemos producir placas de cuarzo personalizadas en diferentes tamaños y formas, como diseños cuadrados, redondos, ovalados y otros diseños con formas especiales, según los requisitos del cliente. El procesamiento incluye corte, doblado, soldadura, etc., y hay diferentes colores disponibles, como placas de cuarzo transparente, placas de cuarzo opacas, placas de cuarzo lechoso, etc.