Die 5–80 mm große quadratische UV-Quarzplatte JGS1-3 ist eine Quarzglasplatte in optischer Qualität, die aus hochreinem Siliziumdioxid als Kernrohstoff durch fortschrittliche Verfahren wie Wasserstoff-Sauerstoff-Flammenschmelzen, elektrisches Vakuumschmelzen oder plasmachemische Gasphasenabscheidung (PCVD) hergestellt wird. Das Produkt umfasst drei Hauptserien: JGS1 (optisches Quarzglas im fernen Ultraviolett), JGS2 (optisches Quarzglas im Ultraviolett) und JGS3 (optisches Quarzglas im Infrarotbereich) mit einem Dickenbereich von 5 bis 80 mm und unterstützt kundenspezifische unregelmäßige Strukturen wie quadratische und rechteckige Formen.

Kernfunktionen:

Ultrabreite spektrale Durchlässigkeit

JGS1: Die Durchlässigkeit im 180-2500-nm-Band beträgt ≥ 90 % und kann bei 185 nm über 90 % erreichen. Der Hydroxyl-Absorptionspeak bei 2730 nm ist signifikant und eignet sich daher für Bereiche wie Kurzwellen-Ultraviolettlaser und Tief-Ultraviolett-Lithographie.

JGS2: Transmission im Wellenlängenbereich von 200–2500 nm ≥ 85 %, mit einem leichten Absorptionspeak bei 240–250 nm, geeignet sowohl für UV- als auch für sichtbare Lichtanwendungen.

JGS3: Die Durchlässigkeit des 260-3500-nm-Bandes beträgt ≥ 85 %, ist nahezu frei von Hydroxylgruppen (OH) und verfügt über eine hervorragende Infrarot-Übertragungsleistung, geeignet für Wärmebildtechnik, Glasfaserübertragung und andere Szenarien.

Extreme Umwelttoleranz

Temperaturbeständigkeitsbereich: -196 ℃ bis 1200 ℃ (kurzfristige Verwendung kann 1300 ℃ erreichen), mit einem Wärmeausdehnungskoeffizienten von nur 5,5 × 10 ⁻⁷/℃, fähig, schnellem Abkühlen und Temperaturschocks standzuhalten (z. B. Abschrecken bei 1000 ℃, bis kaltes Wasser nicht platzt).

Chemische Stabilität: Mit Ausnahme von Flusssäure und heißer Phosphorsäure ist es gegenüber Säuren, Basen, Salzen und organischen Lösungsmitteln inert und eignet sich für stark korrosive Umgebungen wie Halbleiterätzung und chemische Reaktionsgefäße.

Hohe Reinheit und geringe Defekte

Der Metallverunreinigungsgehalt beträgt ≤ 10 ppm, und der Hydroxylgehalt kann präzise gesteuert werden (JGS1 beträgt etwa 2000 ppm, JGS2 beträgt etwa 100–200 ppm, JGS3 liegt nahe bei 0 ppm), wodurch Defekte wie Blasen, Streifen und Partikelstrukturen beseitigt werden, um eine optische Gleichmäßigkeit sicherzustellen.

Hervorragende mechanische Leistung

Mohs-Härte 6–7, Druckfestigkeit > 1100 MPa, Biegefestigkeit 67 MPa, Oberfläche kann auf Spiegelniveau poliert werden (Rauheit Ra ≤ 0,5 nm), was den Anforderungen hochpräziser optischer Systeme entspricht.

Anwendungsszenarien

Halbleiter und Mikroelektronik

Belichtungsfenster der Lithographiemaschine: Die JGS1-Quarzplatte wird für die 193-nm-ArF-Laserlithographie mit einem Transmissionsverlust von weniger als 2 % verwendet, was die Genauigkeit des Chip-Prozesses gewährleistet.

Wafer-Verarbeitungskammer: Die JGS3-Quarzplatte dient als Beobachtungsfenster für den Hochtemperatur-Glühofen, der einer kontinuierlichen Erwärmung auf 1100 °C standhält, um zu verhindern, dass Metallverunreinigungen den Siliziumwafer verunreinigen.

Plasmaätzgeräte: Maßgeschneiderte quadratische Quarzplatten werden zur Isolierung der Reaktionskammer verwendet, sind beständig gegen Ätzgase wie CF₄ und SF₆ und haben eine um mehr als das Dreifache erhöhte Lebensdauer.

Laser- und optische Kommunikation

UV-Laser: Die JGS1-Quarzplatte dient als Endspiegel des Resonanzhohlraums und hält der hohen Leistungsdichte eines 355-nm-Lasers (≥ 10 MW/cm ²) mit thermischer Verzerrung <λ/10 stand.

Faservorform: JGS3-Quarzplatte wird zum Abscheiden von Prozesssubstraten verwendet, und die Infrarotdurchlässigkeit sorgt für eine gleichmäßige Temperatur während des Ziehvorgangs und reduziert den Faserverlust auf 0,18 dB/km.

Spektralanalysator: Maßgeschneiderte Multiband-Verbundquarzplatte (JGS1+JGS2), die eine vollständige Spektrumsübertragung von 180–2500 nm erreicht und die Nachweisgrenze auf den ppb-Bereich erhöht.

Luft- und Raumfahrt und Verteidigung

Optisches Satellitensystem: Die JGS1-Quarzplatte wird für Fenster von UV-Fernerkundungskameras verwendet, die Weltraumstrahlung (Gesamtdosis ≥ 10 ⁷ rad) und atomarer Sauerstofferosion standhalten und eine Lebensdauer von über 15 Jahren haben.

Raketensucher: JGS3-Quarzplatte dient als Schutzhülle für Infrarotdetektoren, mit einer Durchlässigkeit von >85 % bei 3–5 μm und einer Schlagfestigkeit von >50 J/m ².

Hyperschallflugzeug: Maßgeschneiderte quadratische Quarzplatte für den Wärmeschutz des Nasenkegels, die einer aerodynamischen Erwärmung bei 2000 °C standhält, mit einer Wärmeleitfähigkeit von nur 1,38 W/(m · K) und einer um 40 % höheren Isolationseffizienz.

Forschung und medizinische Versorgung

Synchrotronstrahlungs-Lichtquelle: Für das vordere Fenster der Strahllinie wird eine JGS1-Quarzplatte mit einer Durchlässigkeit von >92 % im extremen Ultraviolettband von 0,1 nm verwendet, die Experimente mit röntgenfreien Elektronenlasern unterstützt.

Ausrüstung zur Tiefen-UV-Desinfektion: Maßgeschneiderte 254-nm-Quarzplatte als Einkapselungsfenster für die Quecksilberlampe mit einer Durchlässigkeit von über 85 %, die die Erzeugung von Ozon unter 220 nm blockiert, um die Betriebssicherheit zu gewährleisten.

Raman-Spektrometer: Als Probenzellensubstrat wird eine JGS2-Quarzplatte verwendet, mit einer Durchlässigkeit von mehr als 80 % bei 785 nm Anregungslicht und einer Verbesserung des Signal-Rausch-Verhältnisses von 20 dB.

Maßgeschneiderte Servicefähigkeit

Anpassung von Größe und Form

Unterstützt die Bearbeitung beliebiger Quadratgrößen in einem Dickenbereich von 5–80 mm (mindeste Seitenlänge ≥ 10 mm) mit Schlitz-, Stanz- und Anfasfunktionen. Die Aperturgenauigkeit beträgt ± 0,01 mm und die Positionsgenauigkeit beträgt ≤ 0,05 mm.

Beispiel: Passen Sie eine 40 mm × 40 mm × 10 mm große quadratische Quarzplatte für einen Halbleiterausrüstungslieferanten an, mit einer Mittelöffnung von 8 mm Durchgangsloch für das Beobachtungsfenster der Vakuumkammer.

Oberflächenbehandlungsprozess

Poliergrad: Doppelseitiges Präzisionspolieren auf Ra ≤ 0,5 nm, geeignet für hochpräzise Szenarien wie Interferometer und Laserkavitäten.

Mattgrad: einseitige Sandstrahlbehandlung (Rauheit Ra=1–5 μm), verwendet für diffuse Reflexionsbeleuchtung oder blendfreie Anzeige.

Beschichtungsservice: Wir bieten Beschichtungen wie Antireflexionsfolien (AR), Reflexionsfolien (HR) und Spektralfolien (BS) an, die einen Wellenlängenbereich von 180 nm bis 5 μm abdecken.

Optimierung der Materialformel

Anpassung mit niedrigem Hydroxylgehalt: Durch den Vakuumdehydroxylierungsprozess wird der Hydroxylgehalt von JGS1 auf unter 500 ppm reduziert und die Intensität des Absorptionspeaks bei 2730 nm wird um 60 % reduziert, was für Fenster von 193-nm-Lithographiemaschinen geeignet ist.

Dotierungsmodifikation: Hinzufügen von Elementen wie TiO₂ und Eu₂O3, um eine spezifische Wellenlängenbandfilterung (wie 220-nm-Grenzwert und 340-nm-Schmalbandübertragung) für den Einsatz in elektrischen Lichtquellen im Gesundheitswesen zu erreichen.

Behebung der Schwachstellen der Branche

Unzureichende Durchlässigkeit im ultravioletten Bereich: Herkömmliches Glas erfährt einen starken Abfall der Durchlässigkeit unter 200 nm, während die Quarzplatte JGS1 den technischen Engpass durchbricht und eine Durchlässigkeit von 90 % bei 185 nm erreicht und damit die Anforderungen von Anwendungen im tiefen Ultraviolett erfüllt.

Unkontrollierte Verformung in Umgebungen mit hohen Temperaturen: Gewöhnliches Quarzglas hat einen hohen Wärmeausdehnungskoeffizienten, und die JGS-Serie reduziert die thermische Verformung auf λ durch Design mit niedrigem Hydroxylgehalt/ 20@632.8nm Gewährleistet die Stabilität des Lasersystems.

Eindringen korrosiver Medien: Anlagen in der Chemie- und Halbleiterindustrie müssen über längere Zeit starken Säuren und Laugen ausgesetzt sein. Dieses Produkt weist eine bessere Korrosionsbeständigkeit als Edelstahl 316L auf und der Wartungszyklus verlängert sich auf mehr als 5 Jahre.

Schwierigkeiten bei der Bearbeitung unregelmäßiger Strukturen: Herkömmliche Schneidtechniken können leicht zum Bruch von Quarzplatten führen. Durch den Einsatz der Laserpräzisionsbearbeitungstechnologie kann die Ausbeute auf 98 % gesteigert werden, wodurch die Gesamtkosten für die Kunden gesenkt werden.

Häufig gestellte Fragen

Was sind die Unterschiede zwischen JGS1-, JGS2- und JGS3-Quarzglas?

JGS1 ist synthetischer Quarz mit der höchsten UV-Durchlässigkeit, geeignet für Optiken im tiefen Ultraviolett; JGS2 ist transparentes Quarzglas, das Spuren von Luftblasen enthält und für Anwendungen mit sichtbarem Licht und nahezu ultraviolettem Licht geeignet ist. JGS3 ist Infrarotquarz mit niedrigem Hydroxylgehalt und ausgezeichneter Infrarotdurchlässigkeit. Basierend auf Ihren spektralen Anforderungen empfehlen wir Ihnen das am besten geeignete Material.

Was sind die maximalen Abmessungen der von Ihnen angebotenen quadratischen Quarzplatten?

Wir unterstützen kundenspezifische Dicken von 5 mm bis 80 mm und können die Platten auf die in Ihren Zeichnungen angegebenen Abmessungen zuschneiden und kantenpolieren. Ob Kleinserien-Prototyping oder Großserienproduktion, wir können Ihre Spezifikationsanforderungen erfüllen.

Können die quadratischen Quarzplatten JGS1-3 hohen Temperaturen oder plötzlichen Temperaturschwankungen standhalten?

Ja. Die Erweichungspunkte von JGS1 und JGS3 liegen bei etwa 1730 °C, während der von JGS2 bei etwa 1630 °C liegt; Sie können kontinuierlich bei Temperaturen über 1100 °C betrieben werden. Ihr linearer Ausdehnungskoeffizient ist extrem niedrig (ungefähr 5,4×10⁻⁷/°C). Sie zersplittern nicht, wenn sie auf 1.100 °C erhitzt und dann schnell auf Raumtemperatur abgekühlt werden, wodurch sie sich für den Einsatz als Beobachtungsfenster in Hochtemperaturöfen, Ablenkflächen in Halbleiterdiffusionsöfen und optische Isolationskomponenten in Thermoschockumgebungen eignen. Wenn Ihre Ausrüstung schnelle Heiz- und Kühlzyklen aufweist, empfehlen wir, bei der Produktauswahl den Betriebstemperaturbereich anzugeben; Auf Basis dieser Informationen können wir dann die am besten geeignete Kombination aus Material und Stärke empfehlen.

Was ist die typische Vorlaufzeit für kundenspezifische Produkte?

Standardspezifikationen sind in der Regel auf Lager und sofort lieferbar. Kundenspezifische Produkte werden in der Regel innerhalb von 7–15 Werktagen geliefert, abhängig von der Komplexität der Bearbeitung. Für dringende Bestellungen bieten wir eine beschleunigte Bearbeitung an.

Bieten Sie kundenspezifische Anpassungen auf der Grundlage von Zeichnungen und Massenlieferungen an?

Wir unterstützen die individuelle Anpassung auf der Grundlage Ihrer Zeichnungen und können quadratische Platten gemäß den von Ihnen bereitgestellten CAD-Zeichnungen oder Mustern mit Ihren angegebenen Abmessungen, Dicken, Lochpositionen, Schlitzen und unregelmäßigen Konturen bearbeiten. Wir haben JGS1-, JGS2- und JGS3-Platten in Standardstärken von 5 bis 80 mm auf Lager. Musterbestellungen können innerhalb von 7–15 Tagen geliefert werden, während die Lieferzeiten für Großbestellungen durch Rücksprache auf der Grundlage der Menge und der Verarbeitungskomplexität festgelegt werden. Alle ausgelieferten Produkte werden mit Materialzertifikaten und Prüfberichten geliefert, um die Konsistenz und Rückverfolgbarkeit der Chargen sicherzustellen.

Wenn Sie an der hochreinen quadratischen UV-Quarzplatte JGS1-3 mit 5–80 mm Durchmesser interessiert sind oder Anpassungswünsche haben, können Sie sich jederzeit gerne an uns wenden.

Luverre Quartz ist ein Hersteller, der sich auf die Produktion konzentriert Verschiedene Quarzplatten : Wir können maßgeschneiderte Quarzplatten in verschiedenen Größen und Formen herstellen, z. B. quadratisch, rund, oval und andere Sonderformen entsprechend den Anforderungen des Kunden. Die Bearbeitung umfasst Schneiden, Biegen, Schweißen usw. und es stehen verschiedene Farben zur Verfügung, z. B. transparente Quarzplatten, undurchsichtige Quarzplatten, milchige Quarzplatten und so weiter.