Квадратная кварцевая пластина JGS1-3 UV размером 5–80 мм представляет собой пластину из кварцевого стекла оптического качества, изготовленную из диоксида кремния высокой чистоты в качестве основного сырья с помощью передовых процессов, таких как плавление водородно-кислородным пламенем, вакуумная электрическая плавка или плазмохимическое осаждение из паровой фазы (PCVD). Продукт охватывает три основные серии: JGS1 (кварцевое стекло с дальним ультрафиолетовым оптическим излучением), JGS2 (кварцевое стекло с ультрафиолетовым оптическим излучением) и JGS3 (кварцевое стекло с инфракрасным оптическим излучением) с диапазоном толщины 5–80 мм и поддерживает индивидуальные нестандартные структуры, такие как квадратные и прямоугольные формы.

Основные функции:

Сверхширокий спектр пропускания

JGS1: Коэффициент пропускания в диапазоне 180–2500 нм составляет ≥ 90 % и может достигать более 90 % на длине волны 185 нм. Пик поглощения гидроксила при 2730 нм является значительным, что делает его пригодным для таких областей, как коротковолновый ультрафиолетовый лазер и литография в глубоком ультрафиолете.

JGS2: Пропускание в диапазоне длин волн 200–2500 нм ≥ 85 %, с небольшим пиком поглощения при 240–250 нм, подходит как для УФ, так и для видимого света.

JGS3: коэффициент пропускания в диапазоне 260–3500 нм составляет ≥ 85%, почти не содержит гидроксильных групп (OH) и имеет отличные характеристики передачи инфракрасного излучения, подходит для тепловидения, оптоволоконной передачи и других сценариев.

Чрезвычайная экологическая толерантность

Диапазон температурной устойчивости: от -196 ℃ до 1200 ℃ (при кратковременном использовании может достигать 1300 ℃), коэффициент теплового расширения всего 5,5 × 10 ⁻⁷/℃, способность выдерживать быстрое охлаждение и термический удар (например, закалку при 1000 ℃ до тех пор, пока холодная вода не разорвется).

Химическая стабильность: за исключением плавиковой кислоты и горячей фосфорной кислоты, он инертен по отношению к кислотам, основаниям, солям и органическим растворителям и подходит для сильных коррозийных сред, таких как травление полупроводников и сосуды для химических реакций.

Высокая чистота и низкий уровень дефектов

Содержание металлических примесей составляет ≤ 10 частей на миллион, а содержание гидроксила можно точно контролировать (JGS1 составляет около 2000 частей на миллион, JGS2 составляет около 100-200 частей на миллион, JGS3 составляет около 0 частей на миллион), устраняя такие дефекты, как пузырьки, полосы и структуры частиц, чтобы обеспечить оптическую однородность.

Отличные механические характеристики

Твердость по шкале Мооса 6-7, прочность на сжатие >1100МПа, прочность на изгиб 67МПа, поверхность полируется до зеркального уровня (шероховатость Ra ≤ 0,5нм), что соответствует требованиям высокоточных оптических систем.

Сценарии применения

Полупроводники и микроэлектроника

Окно экспонирования литографической машины: кварцевая пластина JGS1 используется для лазерной литографии ArF с длиной волны 193 нм, с потерей пропускания менее 2%, что обеспечивает точность процесса обработки чипа.

Камера обработки пластин: кварцевая пластина JGS3 служит смотровым окном для печи высокотемпературного отжига, которая выдерживает непрерывный нагрев при температуре 1100 ℃, чтобы предотвратить загрязнение кремниевой пластины металлическими примесями.

Оборудование для плазменного травления: Для изоляции реакционной камеры используются изготовленные по индивидуальному заказу квадратные кварцевые пластины, устойчивые к травильным газам, таким как CF ₄ и SF ₆, и срок службы которых увеличен более чем в три раза.

Лазерная и оптическая связь

УФ-лазер: кварцевая пластина JGS1 служит торцевым зеркалом резонансной полости, способным выдерживать высокую плотность мощности лазера с длиной волны 355 нм (≥ 10 МВт/см ²) с тепловым искажением <λ/10.

Преформа волокна: кварцевая пластина JGS3 используется для нанесения технологических подложек, а коэффициент пропускания инфракрасного излучения обеспечивает однородность температуры в процессе волочения, снижая потери волокна до 0,18 дБ/км.

Спектральный анализатор: изготовленная по индивидуальному заказу многополосная композитная кварцевая пластина (JGS1+JGS2), обеспечивающая передачу полного спектра в диапазоне 180–2500 нм и повышающая предел обнаружения до уровня ppb.

Аэрокосмическая и оборонная промышленность

Спутниковая оптическая система: кварцевая пластина JGS1 используется для окон камер дистанционного зондирования УФ-излучения, которые могут противостоять космическому излучению (общая доза ≥ 10 ⁷ рад) и атомарной кислородной эрозии со сроком службы более 15 лет.

ГСН ракеты: кварцевая пластина JGS3 служит защитной крышкой для инфракрасных детекторов, с коэффициентом пропускания >85% при 3-5 мкм и ударопрочностью >50 Дж/м ².

Гиперзвуковой самолет: изготовленная по индивидуальному заказу квадратная кварцевая пластина для тепловой защиты носового обтекателя, способная выдерживать аэродинамический нагрев при 2000 ℃, с теплопроводностью всего 1,38 Вт/(м · К) и увеличением эффективности изоляции на 40%.

Исследования и медицинская помощь

Источник света синхротронного излучения: кварцевая пластина JGS1 используется в качестве переднего окна луча с коэффициентом пропускания> 92% в крайнем ультрафиолетовом диапазоне 0,1 нм, что позволяет проводить эксперименты с рентгеновским лазером на свободных электронах.

Оборудование для глубокой УФ-дезинфекции: изготовленная по индивидуальному заказу кварцевая пластина длиной 254 нм в качестве герметизирующего окна ртутной лампы с коэффициентом пропускания более 85%, блокирующая образование озона при длине волны ниже 220 нм для обеспечения эксплуатационной безопасности.

Рамановский спектрометр: в качестве подложки ячейки для образца используется кварцевая пластина JGS2 с коэффициентом пропускания более 80% при длине волны возбуждения 785 нм и улучшением отношения сигнал/шум на 20 дБ.

Возможности индивидуального обслуживания

Настройка размера и формы

Поддерживает обработку квадратов любого размера в диапазоне толщины 5–80 мм (минимальная длина стороны ≥ 10 мм), с возможностью прорезания пазов, штамповки и снятия фасок. Точность апертуры составляет ± 0,01 мм, а точность позиционирования — ≤ 0,05 мм.

Пример: Изготовьте квадратную кварцевую пластину размером 40 × 40 × 10 мм для поставщика полупроводникового оборудования со сквозным отверстием в центре диаметром 8 мм для смотрового окна вакуумной камеры.

Процесс обработки поверхности

Степень полировки: двусторонняя прецизионная полировка до Ra ≤ 0,5 нм, подходит для высокоточных сценариев, таких как интерферометры и лазерные резонаторы.

Матовый уровень: односторонняя пескоструйная обработка (шероховатость Ra=1-5 мкм), используется для освещения с диффузным отражением или антибликового дисплея.

Услуги по нанесению покрытий: мы предоставляем такие покрытия, как антиотражающая пленка (AR), отражающая пленка (HR) и спектральная пленка (BS), охватывающая диапазон длин волн от 180 нм до 5 мкм.

Оптимизация формулы материала

Настройка низкого уровня гидроксила: в процессе вакуумного дегидроксилирования содержание гидроксила JGS1 снижается до уровня ниже 500 ppm, а интенсивность пика поглощения при 2730 нм снижается на 60%, что подходит для окон литографической машины с длиной волны 193 нм.

Модификация легирования: добавление таких элементов, как TiO ₂ и Eu ₂ O3, для достижения фильтрации определенного диапазона длин волн (например, отсечки 220 нм и узкополосного пропускания 340 нм) для использования в медицинских источниках электрического света.

Решение болевых точек отрасли

Недостаточный коэффициент пропускания в ультрафиолетовом диапазоне: традиционное стекло испытывает резкое падение коэффициента пропускания ниже 200 нм, в то время как кварцевая пластина JGS1 преодолевает техническое узкое место, достигая коэффициента пропускания 90% при 185 нм, что соответствует требованиям применения в глубоком ультрафиолете.

Неконтролируемая деформация в условиях высокой температуры: обычное кварцевое стекло имеет высокий коэффициент теплового расширения, а серия JGS снижает тепловые искажения до λ благодаря конструкции с низким содержанием гидроксила/ 20@632.8nm Обеспечьте стабильность лазерной системы.

Проникновение агрессивной среды. Оборудование в химической и полупроводниковой промышленности должно подвергаться длительному воздействию сильных кислот и щелочей. Этот продукт обладает лучшей коррозионной стойкостью, чем нержавеющая сталь 316L, а цикл технического обслуживания увеличен до более чем 5 лет.

Трудности в обработке нестандартных структур: традиционные методы резки могут легко привести к поломке кварцевых пластин. Благодаря использованию технологии прецизионной лазерной обработки процент выхода продукции можно увеличить до 98%, что снижает общие затраты для клиентов.

Часто задаваемые вопросы

В чем разница между кварцевым стеклом JGS1, JGS2 и JGS3?

JGS1 — синтетический кварц с самым высоким коэффициентом пропускания ультрафиолета, подходящий для оптики глубокого ультрафиолета; JGS2 — прозрачный плавленый кварц, содержащий незначительное количество пузырьков воздуха, подходящий для применения в видимом свете и ближнем ультрафиолете; JGS3 – это инфракрасный кварц с низким содержанием гидроксила и отличным коэффициентом пропускания инфракрасного излучения. Мы порекомендуем наиболее подходящий материал, исходя из ваших спектральных требований.

Каковы максимальные размеры квадратных кварцевых пластин, которые вы предлагаете?

Мы поддерживаем нестандартную толщину от 5 мм до 80 мм, а также можем разрезать и отполировать кромки пластин до размеров, указанных в ваших чертежах. Будь то мелкосерийное прототипирование или крупномасштабное производство, мы можем удовлетворить ваши технические требования.

Могут ли квадратные кварцевые пластины JGS1-3 выдерживать высокие температуры или резкие перепады температур?

Да. Температура размягчения JGS1 и JGS3 составляет примерно 1730°C, а JGS2 — примерно 1630°C; они могут работать непрерывно при температуре выше 1100°C. Их коэффициент линейного расширения чрезвычайно низок (приблизительно 5,4×10⁻⁷/°C). Они не разрушаются при нагревании до 1100°C и последующем быстром охлаждении до комнатной температуры, что делает их пригодными для использования в качестве смотровых окон в высокотемпературных печах, перегородок в диффузионных печах для полупроводников и компонентов оптической изоляции в условиях термического удара. Если ваше оборудование предполагает быстрые циклы нагрева и охлаждения, мы рекомендуем при выборе продукта указывать диапазон рабочих температур; На основе этой информации мы сможем порекомендовать наиболее подходящую комбинацию материала и толщины.

Каково типичное время выполнения заказных продуктов?

Стандартные характеристики обычно имеются на складе и доступны для немедленной отгрузки. Изготовленные на заказ изделия обычно доставляются в течение 7–15 рабочих дней, в зависимости от сложности обработки. Для срочных заказов мы предлагаем услуги ускоренной обработки.

Предлагаете ли вы изготовление на заказ на основе чертежей и оптовые поставки?

Мы поддерживаем настройку на основе ваших чертежей и можем обрабатывать квадратные пластины по указанным вами размерам, толщине, положениям отверстий, прорезям и неправильным контурам в соответствии с предоставленными вами чертежами САПР или образцами. Мы поддерживаем склад пластин JGS1, JGS2 и JGS3 стандартной толщины от 5 до 80 мм. Образцы заказов могут быть доставлены в течение 7–15 дней, а сроки доставки оптовых заказов определяются путем консультации в зависимости от количества и сложности обработки. Все поставляемые продукты сопровождаются сертификатами на материалы и отчетами об испытаниях, что обеспечивает согласованность партий и отслеживаемость.

Если вы заинтересованы в квадратной кварцевой пластине высокой чистоты UV JGS1-3 диаметром 5–80 мм или у вас есть какие-либо индивидуальные потребности, пожалуйста, свяжитесь с нами в любое время.

Luverre Quartz — производитель, специализирующийся на производстве Различные кварцевые пластины , мы можем производить кварцевые пластины по индивидуальному заказу различных размеров и форм, таких как квадратные, круглые, овальные и другие конструкции специальной формы в соответствии с требованиями заказчика. Обработка включает резку, гибку, сварку и т. д. Доступны различные цвета, такие как прозрачные кварцевые пластины, непрозрачные кварцевые пластины, молочные кварцевые пластины и так далее.