5-80 mm JGS1-3 UV vierkante kwartsplaat is een kwartsglasplaat van optische kwaliteit gemaakt van zeer zuiver siliciumdioxide als de belangrijkste grondstof door middel van geavanceerde processen zoals waterstofzuurstofvlamsmelten, vacuüm elektrisch smelten of plasma chemische dampafzetting (PCVD). Het product omvat drie grote series: JGS1 (ver ultraviolet optisch kwartsglas), JGS2 (ultraviolet optisch kwartsglas) en JGS3 (infrarood optisch kwartsglas), met een diktebereik van 5-80 mm, en ondersteunt aangepaste onregelmatige structuren zoals vierkante en rechthoekige vormen.

Kernfuncties:

Ultrabrede spectrale transmissie

JGS1: De transmissie in de 180-2500 nm-band is ≥ 90% en kan bij 185 nm meer dan 90% bereiken. De hydroxylabsorptiepiek bij 2730 nm is aanzienlijk, waardoor het geschikt is voor velden zoals kortegolf ultraviolette laser en diepe ultraviolette lithografie.

JGS2: Transmissie in het golflengtebereik van 200-2500 nm ≥ 85%, met een lichte absorptiepiek bij 240-250 nm, geschikt voor zowel UV- als zichtbaar lichttoepassingen.

JGS3: De transmissie van de 260-3500 nm-band is ≥ 85%, vrijwel vrij van hydroxylgroepen (OH) en heeft uitstekende infraroodtransmissieprestaties, geschikt voor thermische beeldvorming, glasvezeltransmissie en andere scenario's.

Extreme milieutolerantie

Temperatuurbestendigheidsbereik: -196 ℃ tot 1200 ℃ (kortstondig gebruik kan 1300 ℃ bereiken), met een thermische uitzettingscoëfficiënt van slechts 5,5 × 10 ⁻⁷/℃, bestand tegen snelle afkoeling en thermische schokken (zoals blussen bij 1000 ℃ totdat koud water niet barst).

Chemische stabiliteit: Behalve fluorwaterstofzuur en heet fosforzuur is het inert voor zuren, basen, zouten en organische oplosmiddelen en is het geschikt voor sterk corrosieve omgevingen zoals het etsen van halfgeleiders en chemische reactievaten.

Hoge zuiverheid en lage defecten

Het gehalte aan metaalonzuiverheden is ≤ 10 ppm en het hydroxylgehalte kan nauwkeurig worden geregeld (JGS1 is ongeveer 2000 ppm, JGS2 is ongeveer 100-200 ppm, JGS3 is bijna 0 ppm), waardoor defecten zoals bellen, strepen en deeltjesstructuren worden geëlimineerd om optische uniformiteit te garanderen.

Uitstekende mechanische prestaties

Mohs-hardheid 6-7, druksterkte> 1100 MPa, buigsterkte 67 MPa, oppervlak kan worden gepolijst tot spiegelniveau (ruwheid Ra ≤ 0,5 nm), wat voldoet aan de eisen van uiterst nauwkeurige optische systemen.

Toepassingsscenario's

Halfgeleiders en micro-elektronica

Blootstellingsvenster van lithografiemachine: JGS1-kwartsplaat wordt gebruikt voor 193 nm ArF-laserlithografie, met een transmissieverlies van minder dan 2%, waardoor de nauwkeurigheid van het chipproces wordt gegarandeerd.

Wafelverwerkingskamer: JGS3-kwartsplaat dient als observatievenster voor een gloeioven op hoge temperatuur, die bestand is tegen continue verwarming bij 1100 ℃ om te voorkomen dat metaalverontreinigingen de siliciumwafel vervuilen.

Plasma-etsapparatuur: op maat gemaakte vierkante kwartsplaten worden gebruikt voor isolatie van de reactiekamer, zijn bestand tegen etsgassen zoals CF ₄ en SF ₆ en hebben een levensduur die meer dan drie keer is verlengd.

Laser- en optische communicatie

UV-laser: JGS1-kwartsplaat dient als de eindspiegel van de resonante holte, die bestand is tegen de hoge vermogensdichtheid van een 355 nm-laser (≥ 10 MW/cm ²) met thermische vervorming <λ/10.

Vezelvoorvorm: JGS3-kwartsplaat wordt gebruikt voor het afzetten van processubstraten, en de infrarooddoorlaatbaarheid zorgt voor temperatuuruniformiteit tijdens het trekproces, waardoor het vezelverlies wordt verminderd tot 0,18 dB/km.

Spectrale analysator: Aangepaste multi-band composiet kwartsplaat (JGS1+JGS2), waardoor volledige spectrumtransmissie van 180-2500 nm wordt bereikt en de detectielimiet wordt verhoogd tot ppb-niveau.

Lucht- en ruimtevaart en defensie

Optisch satellietsysteem: JGS1-kwartsplaat wordt gebruikt voor UV-cameravensters voor teledetectie, die bestand zijn tegen ruimtestraling (totale dosis ≥ 10 ⁷ rad) en atomaire zuurstoferosie, met een levensduur van meer dan 15 jaar.

Raketzoeker: JGS3-kwartsplaat dient als beschermhoes voor infrarooddetectoren, met een transmissie van> 85% bij 3-5 μm en een slagvastheid van> 50 J/m ².

Hypersonisch vliegtuig: op maat gemaakte vierkante kwartsplaat voor thermische bescherming van de neuskegel, bestand tegen aerodynamische verwarming bij 2000 ℃, met een thermische geleidbaarheid van slechts 1,38 W/(m · K) en een toename van 40% in isolatie-efficiëntie.

Onderzoek en medische zorg

Synchrotronstralingslichtbron: JGS1 kwartsplaat wordt gebruikt voor het voorste venster van de bundellijn, met een doorlaatbaarheid van> 92% @ 0,1 nm extreme ultraviolette band, ter ondersteuning van röntgenvrije elektronenlaserexperimenten.

Diepe UV-desinfectieapparatuur: Aangepaste 254 nm kwartsplaat als inkapselingsvenster voor de kwiklamp, met een doorlaatbaarheid van meer dan 85%, waardoor de vorming van ozon onder 220 nm wordt geblokkeerd om de operationele veiligheid te garanderen.

Raman-spectrometer: JGS2-kwartsplaat wordt gebruikt als monstercelsubstraat, met een transmissie van meer dan 80% bij 785 nm excitatielicht en een verbetering van de signaal-ruisverhouding van 20 dB.

Servicemogelijkheden op maat

Aanpassing van maat en vorm

Ondersteunt de verwerking van elk vierkant formaat binnen een diktebereik van 5-80 mm (minimale zijdelengte ≥ 10 mm), met mogelijkheden voor gleuf-, pons- en afschuining. De diafragmanauwkeurigheid is ± 0,01 mm en de positionele nauwkeurigheid is ≤ 0,05 mm.

Voorbeeld: Pas een vierkante kwartsplaat van 40 mm x 40 mm x 10 mm aan voor een leverancier van halfgeleiderapparatuur, met een centrale opening van 8 mm door een gat voor observatievenster in de vacuümkamer.

Oppervlaktebehandelingsproces

Polijstgraad: dubbelzijdig precisiepolijsten tot Ra ≤ 0,5 nm, geschikt voor uiterst nauwkeurige scenario's zoals interferometers en lasercaviteiten.

Matte kwaliteit: enkelzijdige zandstraalbehandeling (ruwheid Ra=1-5 μm), gebruikt voor diffuse reflectieverlichting of antireflectiedisplay.

Coatingservice: Wij bieden coatings zoals antireflecterende film (AR), reflecterende film (HR) en spectrale film (BS), die een golflengtebereik van 180 nm-5 μm bestrijken.

Optimalisatie van materiaalformules

Lage hydroxylaanpassing: door een vacuümdehydroxyleringsproces wordt het hydroxylgehalte van JGS1 teruggebracht tot minder dan 500 ppm en wordt de absorptiepiekintensiteit bij 2730 nm met 60% verminderd, wat geschikt is voor 193 nm lithografiemachinevensters.

Dopingmodificatie: het toevoegen van elementen zoals TiO₂ en Eu₂ O3 om specifieke golflengtebandfiltering te bereiken (zoals 220 nm cutoff en 340 nm smalbandtransmissie) voor gebruik in elektrische lichtbronnen in de gezondheidszorg.

Pijnpunten in de sector aanpakken

Onvoldoende doorlaatbaarheid in de ultraviolette band: Traditioneel glas ondervindt een scherpe daling van de doorlaatbaarheid onder 200 nm, terwijl de JGS1-kwartsplaat het technische knelpunt doorbreekt en een doorlaatbaarheid van 90% bereikt bij 185 nm, wat voldoet aan de eisen van diep-ultraviolette toepassingen.

Ongecontroleerde vervorming in een omgeving met hoge temperaturen: gewoon kwartsglas heeft een hoge thermische uitzettingscoëfficiënt en de JGS-serie vermindert de thermische vervorming tot λ door een laag hydroxylontwerp / 20@632.8nm Zorg voor de stabiliteit van het lasersysteem.

Corrosieve mediumpenetratie: Apparatuur in de chemische en halfgeleiderindustrie moet gedurende lange tijd worden blootgesteld aan sterke zuren en logen. Dit product heeft een betere corrosieweerstand dan 316L roestvrij staal en de onderhoudscyclus wordt verlengd tot meer dan 5 jaar.

Moeilijkheden bij het verwerken van onregelmatige structuren: Traditionele snijtechnieken kunnen er gemakkelijk voor zorgen dat kwartsplaten breken. Door gebruik te maken van laserprecisieverwerkingstechnologie kan het rendement worden verhoogd tot 98%, waardoor de totale kosten voor klanten worden verlaagd.

Veelgestelde vragen

Wat zijn de verschillen tussen JGS1-, JGS2- en JGS3-kwartsglas?

JGS1 is synthetisch kwarts met de hoogste UV-doorlaatbaarheid, geschikt voor diep-ultraviolette optica; JGS2 is transparant gesmolten kwarts dat sporen van luchtbellen bevat, geschikt voor zichtbaar licht en bijna-ultraviolette toepassingen; JGS3 is infraroodkwarts met een laag hydroxylgehalte en uitstekende infrarooddoorlaatbaarheid. We zullen het meest geschikte materiaal aanbevelen op basis van uw spectrale vereisten.

Wat zijn de maximale afmetingen van de vierkante kwartsplaten die u aanbiedt?

We ondersteunen aangepaste diktes variërend van 5 mm tot 80 mm, en we kunnen de platen snijden en polijsten tot de afmetingen die in uw tekeningen zijn gespecificeerd. Of het nu gaat om prototyping in kleine batches of productie op grote schaal, wij kunnen aan uw specificatie-eisen voldoen.

Kunnen JGS1-3 vierkante kwartsplaten bestand zijn tegen hoge temperaturen of plotselinge temperatuurveranderingen?

Ja. De verwekingspunten van JGS1 en JGS3 bedragen ongeveer 1730°C, terwijl dat van JGS2 ongeveer 1630°C bedraagt; ze kunnen continu werken bij temperaturen boven 1100°C. Hun lineaire uitzettingscoëfficiënt is extreem laag (ongeveer 5,4×10⁻⁷/°C). Ze zullen niet versplinteren wanneer ze worden verwarmd tot 1.100 °C en vervolgens snel worden afgekoeld tot kamertemperatuur, waardoor ze geschikt zijn voor gebruik als observatievensters in hogetemperatuurovens, schotten in halfgeleiderdiffusieovens en optische isolatiecomponenten in omgevingen met thermische schokken. Als uw apparatuur snelle verwarmings- en koelcycli omvat, raden wij u aan het bedrijfstemperatuurbereik te specificeren bij het selecteren van een product; Op basis van deze informatie kunnen wij vervolgens de meest geschikte combinatie van materiaal en dikte adviseren.

Wat is de typische doorlooptijd voor op maat gemaakte producten?

Standaardspecificaties zijn doorgaans op voorraad en beschikbaar voor onmiddellijke verzending. Op maat gemaakte producten worden doorgaans binnen 7 tot 15 werkdagen geleverd, afhankelijk van de complexiteit van de bewerking. Voor dringende bestellingen bieden wij versnelde verwerkingsdiensten aan.

Bieden jullie maatwerk op basis van tekeningen en bulklevering?

Wij ondersteunen maatwerk op basis van uw tekeningen en kunnen vierkante platen bewerken volgens de door u opgegeven afmetingen, diktes, gatposities, sleuven en onregelmatige contouren volgens de CAD-tekeningen of monsters die u aanlevert. Wij hebben JGS1-, JGS2- en JGS3-platen op voorraad in standaarddiktes van 5 tot 80 mm. Monsterbestellingen kunnen binnen 7 tot 15 dagen worden geleverd, terwijl de levertijden voor bulkbestellingen in overleg worden bepaald op basis van de hoeveelheid en de complexiteit van de verwerking. Alle verzonden producten worden geleverd met materiaalcertificaten en testrapporten om batchconsistentie en traceerbaarheid te garanderen.

Als u geïnteresseerd bent in 5-80 mm JGS1-3 zeer zuivere UV-vierkante kwartsplaat, of als u aanpassingsbehoeften heeft, neem dan gerust contact met ons op.

Luverre Quartz is een fabrikant die zich richt op produceren verschillende kwartsplaten , we kunnen op maat gemaakte kwartsplaten produceren in verschillende maten en vormen, zoals vierkant, rond, ovaal en andere speciaal gevormde ontwerpen volgens de eisen van de klant. De verwerking omvat snijden, buigen, lassen, enz., En er zijn verschillende kleuren beschikbaar, zoals transparante kwartsplaten, ondoorzichtige kwartsplaten, melkachtige kwartsplaten enzovoort.