5-80mm JGS1-3 UV 정사각형 석영 판은 수소 산소 불꽃 용해, 진공 전기 용해 또는 플라즈마 화학 기상 증착(PCVD)과 같은 고급 공정을 통해 고순도 이산화규소를 핵심 원료로 만든 광학 등급 석영 유리 판입니다. 이 제품은 JGS1(원자외선 광학 석영 유리), JGS2(자외선 광학 석영 유리), JGS3(적외선 광학 석영 유리)의 세 가지 주요 시리즈를 다루며 두께 범위는 5~80mm이며 정사각형 및 직사각형과 같은 맞춤형 불규칙 구조를 지원합니다.

핵심 기능:

매우 넓은 스펙트럼 투과율

JGS1: 180-2500nm 대역의 투과율은 ≥ 90%이고 185nm에서는 90% 이상에 도달할 수 있습니다. 2730nm의 수산기 흡수 피크는 상당하므로 단파 자외선 레이저 및 심자외선 리소그래피와 같은 분야에 적합합니다.

JGS2: 200-2500nm ≥ 85% 파장 범위의 투과율, 240-250nm에서 약간의 흡수 피크를 가지며 UV 및 가시광선 응용 분야 모두에 적합합니다.

JGS3: 260-3500nm 대역의 투과율은 85% 이상이며 수산기(OH)가 거의 없으며 적외선 전송 성능이 뛰어나 열화상, 광섬유 전송 및 기타 시나리오에 적합합니다.

극단적인 환경 내성

온도 저항 범위: -196 ℃ ~ 1200 ℃(단기 사용 시 1300 ℃에 도달 가능), 열팽창 계수는 5.5 × 10 ⁻⁷/℃에 불과하며 급속 냉각 및 열충격(예: 냉수가 파열되지 않을 때까지 1000 ℃에서 담금질)을 견딜 수 있습니다.

화학적 안정성: 불산, 열인산을 제외하고 산, 염기, 염류, 유기용제에 불활성이며, 반도체 에칭, 화학반응 용기 등 부식성이 강한 환경에 적합합니다.

순도가 높고 결함이 적음

금속 불순물 함량은 10ppm 이하이며, 수산기 함량을 정밀하게 제어할 수 있어(JGS1은 약 2000ppm, JGS2는 약 100-200ppm, JGS3은 0ppm에 가까움) 기포, 줄무늬, 입자 구조 등의 결함을 제거하여 광학적 균일성을 보장합니다.

우수한 기계적 성능

모스 경도 6-7, 압축 강도>1100MPa, 굽힘 강도 67MPa, 표면을 거울 수준(거칠기 Ra ≤ 0.5nm)으로 연마할 수 있어 고정밀 광학 시스템의 요구 사항을 충족합니다.

애플리케이션 시나리오

반도체 및 마이크로 전자공학

리소그래피 기계의 노출 창: JGS1 석영판은 193nm ArF 레이저 리소그래피에 사용되며 투과율 손실이 2% 미만으로 칩 공정 정확도를 보장합니다.

웨이퍼 처리 챔버: JGS3 석영 판은 고온 어닐링로의 관찰 창 역할을 하며 1100℃의 연속 가열을 견딜 수 있어 금속 불순물이 실리콘 웨이퍼를 오염시키는 것을 방지합니다.

플라즈마 에칭 장비: 반응 챔버 격리를 위해 맞춤형 사각 석영 플레이트가 사용되며 CF₄ 및 SF₆와 같은 에칭 가스에 대한 내성이 있으며 수명이 3배 이상 증가합니다.

레이저 및 광통신

UV 레이저: JGS1 석영판은 공진 공동 엔드 미러 역할을 하며 열 왜곡이 λ/10 미만인 355nm 레이저(≥ 10MW/cm ²)의 높은 전력 밀도를 견딜 수 있습니다.

섬유 프리폼: JGS3 석영 판은 공정 기판 증착에 사용되며 적외선 투과율은 인발 공정 중 온도 균일성을 보장하여 섬유 손실을 0.18dB/km로 줄입니다.

스펙트럼 분석기: 맞춤형 다중 대역 복합 석영 플레이트(JGS1+JGS2), 180-2500nm에서 전체 스펙트럼 전송을 달성하고 검출 한계를 ppb 수준으로 높입니다.

항공우주 및 국방

위성 광학 시스템: JGS1 석영판은 UV 원격 감지 카메라 창에 사용되며, 우주 방사선(총 선량 ≥ 10 ++rad) 및 원자 산소 침식을 견딜 수 있으며 수명은 15년 이상입니다.

미사일 시커: JGS3 석영 판은 투과율이 85% @ 3-5μm이고 내충격 강도가 50J/m ⊃2 이상인 적외선 탐지기용 보호 커버 역할을 합니다.

극초음속 항공기: 노즈콘 열 보호를 위한 맞춤형 사각 석영판으로 2000℃의 공기역학적 가열을 견딜 수 있으며 열전도율은 1.38W/(m·K)에 불과하고 단열 효율은 40% 증가합니다.

연구 및 의료

싱크로트론 방사선 광원: JGS1 석영 플레이트는 빔라인의 전면 창에 사용되며 투과율은 0.1nm 극자외선 대역에서 92%를 초과하여 X선 자유 전자 레이저 실험을 지원합니다.

심자외선 소독 장비: 254nm 석영 판을 수은 램프 캡슐화 창으로 맞춤화했으며 투과율이 85% 이상이며 220nm 이하의 오존 생성을 차단하여 작동 안전을 보장합니다.

라만 분광계: JGS2 석영 플레이트가 샘플 셀 기판으로 사용되며 투과율은 785nm 여기광에서 80% 이상이고 신호 대 잡음비는 20dB 향상됩니다.

맞춤형 서비스 역량

크기와 모양의 사용자 정의

처리를 지원합니다 . 모든 정사각형 크기 슬로팅, 펀칭, 모따기 기능을 사용하여 두께 범위 5~80mm(최소 측면 길이 ≥ 10mm) 내의 조리개 정확도는 ± 0.01mm이고 위치 정확도는 0.05mm 이하입니다.

예: 반도체 장비 공급업체를 위해 40mm × 40mm × 10mm 정사각형 석영 플레이트를 맞춤 제작하고 진공 챔버 관찰 창용 관통 구멍이 8mm인 중앙 개구부를 사용합니다.

표면 처리 공정

연마 등급: Ra ≤ 0.5nm의 양면 정밀 연마로 간섭계 및 레이저 공동과 같은 고정밀 시나리오에 적합합니다.

무광택 등급: 단면 샌드블라스팅 처리(거칠기 Ra=1-5μm), 확산 반사 조명 또는 눈부심 방지 디스플레이에 사용됩니다.

코팅 서비스: 반사 방지 필름(AR), 반사 필름(HR), 스펙트럼 필름(BS)과 같은 코팅을 제공하며 파장 범위는 180nm-5μm입니다.

재료 공식 최적화

낮은 수산기 맞춤화: 진공 탈수산기 공정을 통해 JGS1의 수산기 함량이 500ppm 미만으로 감소하고 2730nm의 흡수 피크 강도가 60% 감소하여 193nm 리소그래피 기계 창에 적합합니다.

도핑 변형: 의료용 전기 광원에 사용하기 위한 특정 파장 대역 필터링(예: 220nm 차단 및 340nm 협대역 전송)을 달성하기 위해 TiO 2 및 Eu 2 O3와 같은 요소를 추가합니다.

업계의 문제점 해결

자외선 대역의 불충분한 투과율: 기존 유리는 200nm 미만에서 투과율이 급격히 떨어지는 반면 JGS1 석영 판은 기술적 병목 현상을 극복하여 185nm에서 90%의 투과율을 달성하여 심자외선 응용 분야의 요구 사항을 충족합니다.

고온 환경에서 제어되지 않는 변형: 일반 석영 유리는 열팽창 계수가 높지만 JGS 시리즈는 낮은 수산기 설계 20@632.8nm 를 통해 열 왜곡을 λ로 줄입니다. 레이저 시스템의 안정성을 보장합니다.

부식성 매체 침투: 화학 및 반도체 산업의 장비는 오랫동안 강산 및 알칼리에 노출되어야 합니다. 본 제품은 316L 스테인레스 스틸보다 내식성이 우수하며 유지보수 주기가 5년 이상으로 연장되었습니다.

불규칙한 구조 처리의 어려움: 전통적인 절단 기술은 석영 판을 쉽게 파손시킬 수 있습니다. 레이저 정밀가공 기술을 활용하면 수율을 98%까지 높일 수 있어 고객의 전체 비용을 절감할 수 있다.

자주 묻는 질문

JGS1, JGS2, JGS3 석영 유리의 차이점은 무엇입니까?

JGS1은 UV 투과율이 가장 높은 합성 석영으로 원자외선 광학에 적합합니다. JGS2는 미량의 기포를 함유한 투명한 용융 석영으로 가시광선 및 근자외선 응용 분야에 적합합니다. JGS3는 수산기 함량이 낮고 적외선 투과율이 우수한 적외선 석영입니다. 귀하의 스펙트럼 요구 사항에 따라 가장 적합한 재료를 추천해 드립니다.

귀하가 제공하는 정사각형 석영 판의 최대 치수는 얼마입니까?

우리는 5mm에서 80mm까지의 맞춤형 두께를 지원하며, 도면에 지정된 치수로 플레이트를 절단하고 가장자리 연마할 수 있습니다. 소규모 배치 프로토타입 제작이든 대규모 생산이든 관계없이 당사는 귀하의 사양 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

JGS1-3 사각 석영판은 고온이나 급격한 온도 변화를 견딜 수 있습니까?

예. JGS1과 JGS3의 연화점은 약 1730°C인 반면, JGS2의 연화점은 약 1630°C입니다. 1100°C 이상의 온도에서 지속적으로 작동할 수 있습니다. 선형 팽창 계수는 매우 낮습니다(약 5.4×10⁻7/°C). 1,100°C로 가열한 후 상온으로 급속 냉각해도 깨지지 않으므로 고온로의 관찰창, 반도체 확산로의 배플, 열충격 환경의 광학 분리 부품으로 사용하기에 적합합니다. 장비에 급속 가열 및 냉각 주기가 포함된 경우 제품 선택 시 작동 온도 범위를 지정하는 것이 좋습니다. 그러면 우리는 이 정보를 바탕으로 가장 적합한 재료와 두께의 조합을 추천할 수 있습니다.

맞춤형 제품의 일반적인 리드타임은 얼마나 됩니까?

표준 사양은 일반적으로 재고가 있으며 즉시 배송이 가능합니다. 맞춤형 제품은 가공의 복잡성에 따라 일반적으로 영업일 기준 7~15일 이내에 배송됩니다. 긴급 주문의 경우 신속한 처리 서비스를 제공합니다.

도면 및 대량 공급을 기반으로 맞춤화를 제공합니까?

우리는 귀하의 도면을 기반으로 한 맞춤화를 지원하고 귀하가 제공한 CAD 도면 또는 샘플에 따라 지정된 치수, 두께, 구멍 위치, 슬롯 및 불규칙한 윤곽선으로 사각형 플레이트를 가공할 수 있습니다. 우리는 5~80mm 범위의 표준 두께로 JGS1, JGS2 및 JGS3 플레이트 재고를 유지합니다. 샘플 주문의 경우 7~15일 이내에 배송이 가능하며, 대량 주문의 경우 수량 및 처리 복잡도에 따라 상담을 통해 배송 시간이 결정됩니다. 배송된 모든 제품에는 재료 인증서와 테스트 보고서가 함께 제공되어 배치 일관성과 추적성을 보장합니다.

5-80mm JGS1-3 고순도 UV 사각 석영 판에 관심이 있거나 사용자 정의 요구 사항이 있는 경우 언제든지 저희에게 연락하십시오.

Luverre Quartz는 생산에 주력하는 제조업체입니다. 다양한 석영 판 , 우리는 고객의 요구 사항에 따라 정사각형, 원형, 타원형 및 기타 특수 모양의 디자인과 같은 다양한 크기와 모양의 맞춤형 석영 판을 생산할 수 있습니다. 가공에는 절단, 굽힘, 용접 등이 포함되며 투명 석영 판, 불투명 석영 판, 유백색 석영 판 등과 같은 다양한 색상을 사용할 수 있습니다.