그만큼 고온에 강한 링 모양의 석영 보트는 극한의 열처리 환경을 위해 특별히 설계된 정밀한 석영 용기입니다. 독특한 '링 모양' 구조 설계는 보트 본체의 기계적 안정성을 향상시킬 뿐만 아니라 고온로에서 잡기, 밀기, 당기기 및 자동 변속기를 더 쉽게 수행할 수 있게 해줍니다. 고순도 석영유리(SiO2 함량 ≥ 99%)를 고온 용융 성형하여 만든 제품으로, 우수한 내열성(장기 사용 시 1100°C~1200°C까지)과 내열충격성이 우수한 제품입니다. 반도체 확산, 광전지 소결, LED 에피택셜 성장, 정밀 세라믹 소결 공정에 널리 사용되며, 웨이퍼, 실리콘 웨이퍼 또는 분말 재료를 고온에서 안전하게 운반하는 핵심 캐리어입니다.

FAQ

Q: 이 석영 보트의 최대 온도 허용 오차는 얼마입니까?

A: 당사의 내열성 링형 석영 보트는 연화점이 약 1730℃인 고순도 투명 또는 유백색 석영 소재로 만들어졌습니다. 산화 분위기에서는 1100℃~1200℃ 범위의 환경에서 장기간 안정적으로 작동할 수 있으며, 단기간 동안 더 높은 온도에도 견딜 수 있습니다.

Q: '링' 디자인의 주요 목적은 무엇입니까?

A: 링형 디자인은 주로 작동의 용이성을 위한 것입니다. 고온로의 자동화 생산 라인이나 수동 작업 중에 금속 후크는 전송용 석영 링을 잡아서 보트와의 직접적인 접촉을 피하고 오염이나 손상을 일으키며 보트의 구조적 강도를 높일 수 있습니다.

Q: 맞춤 서비스를 제공합니까? 최소 주문 수량은 얼마입니까?

A: 우리는 크기, 반지 수, 석영 색상(투명/유백색/투명) 및 가공 정확도를 포함한 포괄적인 맞춤 서비스를 제공합니다. 당사는 소스 제조업체로서 단일 제품 프로토타이핑 및 배치 생산을 지원합니다. 특정 주문 수량은 사양의 복잡성에 따라 달라집니다.

Q: 석영 보트가 고온에서 변형되지 않도록 어떻게 보장합니까?

A: 성형 공정에서 원료의 점도와 어닐링 곡선을 정밀하게 제어하여 내부 응력을 제거합니다. 대형 보트의 경우 링의 위치와 벽 두께를 최적화하여 장기간 고온 하중에서도 치수 안정성을 보장합니다.

사용자의 관점에서 볼 때 이 고온 내성 링 모양의 석영 보트는 주로 다음과 같은 핵심 문제를 해결합니다.

고온 변형 및 붕괴 위험: 일반 석영 재료가 장기간 고온 베이킹 시 부드러워지고 변형되어 운반하는 웨이퍼나 샘플이 뒤집히거나 폐기되는 문제를 해결합니다.

자동화 전송 과제: 독특한 링 디자인은 매끄러운 석영 표면을 잡기 어려운 문제를 해결하고 다양한 튜브 퍼니스 및 박스 퍼니스의 자동 보트 리프팅 메커니즘에 완벽하게 적응하여 생산 라인 효율성을 향상시킵니다.

공정 오염 문제: 고순도 소재는 고온에서 용기에서 불순물이 침전되어 고순도 소재(예: 반도체 실리콘 웨이퍼)를 오염시키는 문제를 해결하여 제품 수율을 보장합니다.

핵심 매개변수

이산화규소 함량: ≥ 99%

장기 작동 온도: 1100℃ - 1200℃

열팽창 계수: 5.5×10⁻⁷ cm/cm·℃

밀도: 2.2g/cm³

외관 색상 : 투명, 유백색, 반투명

가공 정확도: ±0.05mm - ±0.5mm

적용 가치

뛰어난 내열 충격성: 석영 보트를 1100℃로 가열한 후 바로 찬물에 담가도 터지지 않습니다. 이러한 특성은 급속 가열 및 냉각 공정에서 안전성을 보장하여 재료비를 크게 절감합니다.

매우 높은 화학적 안정성: 불화수소산을 제외한 거의 모든 산과 염기에 내성이 있습니다. 산 세척 중에는 금속 이온이 방출되지 않아 처리된 재료의 순도가 보호됩니다.

우수한 전기 절연성: 저항 값은 일반 유리의 100만 배에 달하므로 이상적인 전기 절연 재료로, 특히 전기장 가열이 필요한 공정에 적합합니다.

유연한 구조적 맞춤화: 단일 링, 이중 링 또는 다중 링 구조는 물론 고객의 용해로 크기에 따라 웨이퍼 캐리어의 다양한 슬롯 위치(예: 45슬롯, 81슬롯, 121슬롯 등)를 맞춤화할 수 있습니다.

고객 적용사례

사례 1: 잘 알려진 3세대 반도체 에피택셜 웨이퍼 제조업체(탄화규소 기판 처리)

고객 문제: 고객이 탄화규소에 대한 고온 어닐링 공정(1250℃의 높은 온도)을 수행했을 때 원래 공급업체가 제공한 일반 석영 보트는 약 10회 사용 후 명백한 굽힘 변형을 보여 값비싼 탄화규소 기판이 떨어지고 균열이 발생했으며 석영 불순물이 에피택셜 층의 청결도에 영향을 미쳤습니다.

우리의 솔루션: 우리는 고객을 위해 고점도, 유백색 반투명, 고온 저항성 링 모양 석영 보트를 맞춤 제작했습니다. 석영 소재의 점도 매개변수를 조정하여 극한의 온도에서 크리프 저항성을 향상했습니다. 동시에 힘을 더욱 균일하게 만들기 위해 '링'의 지지점을 최적화했습니다.

적용 효과: 테스트 후 새로운 석영 보트는 1250℃에서 50회 연속 작동한 후 변형 없이 0.2mm 이내의 평탄도 편차를 유지했으며 금속 이온이 방출되는 것이 감지되지 않았습니다.

사례 2: 유럽의 모 태양광 연구실(확산 과정)

고객 문제: 고객은 특별한 퍼니스 튜브 직경을 가진 오래된 수평 튜브 퍼니스를 가지고 있었고 자동으로 밀고 당기기 위해 기계식 손과 결합해야 했습니다. 시중의 표준 석영 보트는 크기가 적절하지 않거나 기계 손으로 링의 위치를 ​​잡을 수 없습니다.

우리의 솔루션: 고객이 CAD 도면을 제공했고 우리는 시뮬레이션 분석을 위해 3D 모델링을 사용하여 직경 150mm, 길이 800mm의 특수 모양의 석영 보트를 맞춤 제작했습니다. 강화된 이중 링 구조는 특별히 설계되었으며 링의 외경 공차는 ±0.1mm 이내로 엄격하게 제어되어 기계 손으로 잡는 정확도를 보장합니다.

적용 효과: 제품 배송 후 고객의 기존 장비와 자동화된 기계 손에 완벽하게 맞아 인 확산 공정의 지속적인 자동화 생산을 달성하고 수동 개입으로 인한 단편화율을 크게 줄입니다.

극한의 고온을 견딜 수 있고 정확한 치수를 지닌 석영 캐리어를 찾고 계시다면 당사에 문의해 주십시오. 상세한 엔지니어링 도면이 있든 예비 아이디어가 있든 당사 기술 팀은 전문적인 석영 재료 솔루션과 견적을 제공할 수 있습니다.

Luverre Quartz는 융합 석영 튜브, 융합 석영 판, 융합 석영 막대, 융합 석영 창, 융합 석영 도가니, 융합 석영 보트, 융합 석영 플랜지, 융합 석영 비커, 융합 석영 유리 기기 등을 포함한 광범위한 고품질 융합 석영 유리를 제조 및 판매합니다. 우리는 융합 석영 유리 제품에 대한 모든 종류의 맞춤형 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

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