높은 광학적 균일성 JGS1 석영 유리

광학 균일성이 높은 JGS1 석영 유리는 굴절률 불균일도(Δn ≤ 1 × 10 ⁻⁶)가 매우 낮고 분광 투과율이 우수한 고급 광학 시스템용으로 특별히 설계된 최고 수준의 투명 소재입니다. 맞춤형 석영 제품을 생산하는 선도적인 글로벌 제조업체인 당사의 JGS1 등급 제품은 국제 표준을 엄격히 준수하며 파면 왜곡을 완벽하게 제거합니다. 심자외선 리소그래피, 고에너지 레이저, 정밀 간섭계 분야에서 필수적인 핵심 기판입니다.

자주 묻는 질문(FAQ)

Q1: JGS1 석영 유리와 일반 용융 실리카 사이의 광학 특성의 본질적인 차이점은 무엇입니까?

A: JGS1은 합성 용융 실리카에 속하며 핵심 장점은 매우 높은 화학적 순도와 광학적 균일성에 있습니다. 천연 석영이나 저등급 용융 실리카와 비교하여 JGS1은 185nm~2500nm에서 투과율이 더 높고 내부 기포와 불순물이 매우 낮습니다. 가장 중요한 것은 굴절률 불균일성을 100만분의 1로 제어하여 일반 석영과 비교할 수 없는 광선 통과로 인한 파면 왜곡을 효과적으로 방지할 수 있다는 것입니다.

Q2: 귀사는 비표준 크기 또는 특수 표면 형태의 JGS1 석영에 대한 맞춤형 가공을 제공할 수 있습니까?

A: 물론 가능합니다. 맞춤형 석영 제품 전문 제조업체로서 우리는 전 세계 고객에게 포괄적인 맞춤 서비스를 제공합니다. 초대형 조리개 광학 창, 불규칙 프리즘 또는 표면 정확도 요구 사항이 매우 높은 렌즈 기판 등을 고객 도면에 따라 절단, 연삭, 광택 및 코팅할 수 있으며 최대 나노미터 수준의 공차 제어가 가능합니다.

Q3: 심자외선(DUV) 환경에서 JGS1 소재의 손상 저항 임계값은 얼마입니까?

A: JGS1 석영 유리는 낮은 수산기 함량과 조밀한 구조로 인해 레이저 손상에 대한 저항성이 뛰어납니다. 193nm(ArF 엑시머 레이저)와 248nm(KrF 엑시머 레이저) 파장에서 본체 손상 임계값과 표면 손상 임계값이 모두 업계 최고 수준이므로 고출력, 고반복률 레이저 응용 환경에 매우 적합합니다.

Q4: 대량 구매 제품의 광학적 균일성과 일관성을 어떻게 보장합니까?

A: 우리는 고급 테스트 프로세스를 채택하고 공장에서 출고되는 JGS1 제품의 각 배치는 고정밀 간섭계 테스트(예: Zygo 간섭계)를 거쳐 상세한 테스트 보고서(굴절률 분포 맵, 응력 복굴절 데이터 등 포함)를 제공합니다. 당사의 품질 관리 시스템은 원자재 용해부터 최종 연마까지 모든 단계를 제어할 수 있도록 보장하여 글로벌 제품 공급의 일관성을 보장합니다.

정밀 광학 연구 및 제조에 종사하는 사용자의 경우 '파면 왜곡'과 '에너지 손실'은 두 가지 핵심 문제점입니다. 일반 광학 재료 내부의 작은 밀도 변동으로 인해 레이저 빔 발산 또는 이미징 흐림이 발생하여 시스템 해상도가 직접적으로 저하될 수 있습니다. 불순물 흡수는 열 렌즈 효과를 유발할 수 있으며 고출력 레이저에서는 물질 폭발까지 일으킬 수 있습니다.

당사의 높은 광학 균일성 JGS1 석영 유리는 다음 문제를 해결하도록 설계되었습니다.

이미징 왜곡 문제 해결: 굴절률의 궁극적인 균일성은 빔이 통과할 때 위상 오류가 없도록 보장하여 리소그래피 기계, 망원경 및 기타 시스템의 최대 해상도를 보장합니다.

고출력 열 효과 해결: 초저 흡수 계수는 고에너지 레이저 조사 시 재료의 온도 상승을 최소화하여 광학 시스템의 안정성을 유지합니다.

맞춤화 문제 해결: 표준 부품의 한계를 극복하고 사용자에게 원자재부터 완제품 구성품까지 원스톱 맞춤화를 제공하고 연구 개발 주기를 단축합니다.

최고의 광학 성능 지표

스펙트럼 투과율: 평균 투과율은 185nm-2500nm 범위, 특히 심자외선 영역에서 >90%입니다.

광학적 균일성: Δn ≤ 1 × 10 ⁻⁶, 파면 왜곡을 최소화하고 극자외선(EUV) 및 심자외선(DUV) 리소그래피 요구 사항을 충족합니다.

낮은 응력 복굴절: <5 nm/cm, 편광에 민감한 광학 시스템에 적합합니다.

널리 적용 가능한 시나리오

반도체 리소그래피 장비: 투영 대물렌즈군, 마스크 기판, 조명계 렌즈로 사용됩니다.

고에너지 레이저 시스템: 레이저 빔 확장기, 포커싱 미러, 출력 결합 미러 및 관성 감금 융합 장치에 사용됩니다.

정밀 측정 및 테스트: 간섭계 참조 거울, 고정밀 광학 플랫폼, 천문 망원경 주 거울 블랭크.

항공우주 광학 : 위성 페이로드 렌즈, 우주 원격 감지 계기 창, 극심한 온도 차이 및 방사선에 대한 내성.

글로벌 맞춤형 서비스 역량

우리는 다양한 적용 시나리오에서 사양과 크기에 대한 엄격한 요구 사항을 잘 알고 있습니다. 고급 냉간 가공 및 열간 성형 장비를 바탕으로 다음을 제공합니다.

크기 맞춤화: 직경이 10mm에서 600mm+에 이르는 다양한 디스크, 블록 및 불규칙한 부품.

표면 정확도: λ/20 @ 632.8nm 또는 더 높은 정확도로 평탄도와 구형도를 제공할 수 있습니다.

표면 처리: 매우 매끄러운 연마, 반사 방지 필름(AR), 고반사 필름(HR) 및 스펙트럼 필름을 위한 맞춤형 코팅 서비스를 포함합니다.

일반적인 적용 사례 분석

사례 1: 잘 알려진 천문대(대형 망원경 교정에 사용)

연구팀은 대구경 천문 망원경을 제작할 때 망원경의 주초점을 위한 이미지 필드 보정 거울로 직경 450mm, 두께 40mm의 균일성이 높은 광학창이 필요했습니다. 재료는 가시광선부터 근적외선까지의 파장 범위에서 매우 높은 투과율을 가져야 하며, 전체 조리개 파면 왜곡은 λ/6보다 작아야 합니다. CVD 방법으로 제조된 균일성이 높은 JGS1 빌렛은 정밀 연삭 및 코팅을 거쳤으며 전달된 최종 제품은 승인 테스트에서 λ/8보다 나은 전체 조리개 파면 왜곡을 나타내어 망원경이 더 선명한 심우주 이미징을 얻는 데 도움이 되었습니다.

사례 2: 유럽의 고에너지 물리학 연구소 - 관성밀폐 융합 레이저 투과창

고객 배경

연구소에서는 다수의 고에너지 레이저 빔의 동시 충격을 견딜 수 있는 대구경(Φ300mm) 진공창 소재가 필요한 대규모 레이저 융합 실험 장치를 구축하고 있습니다.

도전에 직면하다

기존의 석영 창은 높은 에너지 밀도에서 열 렌즈 효과가 발생하여 초점 드리프트가 발생하기 쉽습니다. 더욱이, 대형 재료는 전체적인 광학적 균일성을 보장하기 어렵고 폭발을 일으킬 수 있는 국소적인 핫스팟이 발생하기 쉽습니다.

해결책

우리는 독자적인 대형 합성 석영 용해 기술을 활용하여 줄무늬와 기포가 없는 고객을 위한 JGS1 대구경 플레이트를 준비했습니다.

균일성 제어: 특수 어닐링 공정을 통해 대형 시트 내부의 잔류 응력을 제거하여 Δn ≤ 1 × 10 ⁻⁶을 보장합니다.

손상 임계값 최적화: 표면을 슈퍼 클리닝 및 특수 코팅 처리하여 레이저 손상 임계값을 15 J/cm ⊃2로 높였습니다. (10ns, 1064nm).

애플리케이션 효율성

이 창은 열 변형이나 손상 없이 여러 번의 최대 전력 촬영 실험에서 안정적인 성능을 보여 실험 데이터의 정확성과 장치의 안전한 작동을 효과적으로 보장합니다. 고객은 우리 제품이 최고의 국제 연구소의 승인 기준을 충족한다고 평가했습니다.

단일 부품의 고정밀 프로토타입 검증이 필요하든 대규모 대량 조달이 필요하든 당사는 가장 전문적인 JGS1 석영 유리 맞춤화 솔루션을 제공할 준비가 되어 있습니다. 무료 기술 상담 및 가격에 대해서는 글로벌 영업팀에 문의하세요.

Luverre Quartz는 석영 튜브, 석영 판, 석영 막대, 석영 창, 석영 도가니, 석영 보트, 석영 플랜지, 석영 비커, 석영 유리 기기 등을 포함한 다양한 고품질 석영 유리를 제조 및 판매합니다. 우리는 석영 유리 제품에 대한 모든 종류의 맞춤형 요구 사항을 충족할 수 있습니다.