Окно из кварцевой пластины веерообразной формы представляет собой кварцевый компонент оптического качества веерообразной формы, обычно используемый в смотровых окнах полупроводникового оборудования, выходных окнах лазера, уплотнительных интерфейсах вакуумных камер и боковых контрольных портах высокотемпературных печей. По сравнению с обычными прямоугольными или круглыми окнами, веерообразная конструкция позволяет добиться максимально эффективного открытия в ограниченном пространстве, а также адаптируется к изогнутым монтажным поверхностям. Как профессиональный производитель по индивидуальному заказу, Luverre Quartz предоставляет полный комплекс услуг по технологической обработке: от черновой резки, прецизионного шлифования, полировки до нанесения покрытия, поддерживая индивидуальную настройку любого центрального угла (30 ° -180 °), внутреннего и внешнего радиуса и толщины, отвечая строгим требованиям высокотехнологичных производственных областей для кварцевых оконных проемов неправильной формы.

Какие основные проблемы он может решить для вас?

-Ограниченное пространство для установки: веерообразный контур можно встроить в круглые фланцы или стенки трубы без необходимости модификации корпуса оборудования.  

-Отклонение направления оптического пути: настраивается за счет веерообразных углов, точный контроль угла падения и выхода луча.  

-Высокотемпературная вакуумная герметизация: низкий коэффициент расширения гарантирует отсутствие взрыва или утечки в условиях вакуума или высоких температур.  

-Постоянство оптических характеристик: от центра веерообразного круга до внешней дуги материал однородный, без полос, изображение без искажений.

Типичные сценарии применения

Оборудование для травления полупроводников: боковое оптическое окно обнаружения конечной точки реакционной камеры - прикреплено к внутренней стенке дугообразной камеры, что экономит пространство.

Лидар: Круглое окно светоотдачи вращающегося модуля сканирования - веерообразное покрытие под большим углом в диапазоне горизонтального сканирования.

Вакуумная лакировочная машина: веерообразное окно для наблюдения за процессом нанесения - устойчиво к высокотемпературному запеканию и прилипанию пленки.

Оборудование для медицинской визуализации: Круглое окно детектора КТ — низкое рассеяние, высокий коэффициент пропускания, уменьшение артефактов

Высокотемпературная печь: боковое окно измерения температуры или получения изображения - устойчиво к термическому удару 1200 ℃, без конденсации

Заявление клиента (анонимно)

Случай 1: Компания по производству полупроводникового оборудования (модуль оптического обнаружения конечной точки травильной машины)

-Требование: Установите веерообразное кварцевое окно на изогнутой боковой стенке реакционной камеры травления с центральным углом 60 °, радиусом внешней дуги 80 мм, радиусом внутренней дуги 40 мм и толщиной 8 мм. Окно должно выдерживать запекание при температуре 200 ℃ и среде плазмы высокой плотности, а коэффициент пропускания в ультрафиолетовой области (266 нм) должен составлять ≥ 80%.  

-Решение: Мы используем синтетический кварц JGS1, который подвергается грубому шлифованию на станке с ЧПУ и кольцевой полировке для достижения шероховатости поверхности Ra0,3 нм. Измеренный коэффициент пропускания УФ-излучения при длине волны 266 нм составляет 83%. Сделайте фаску размером 0,2 мм × 45° по краю окна, чтобы избежать концентрации напряжений.  

-Результат: после установки клиентом мощность сигнала обнаружения конечной точки увеличилась на 35%, а частота ложных срабатываний снизилась до одной трети от исходной.

Случай 2: Стартап-компания по производству лазерных радаров (вращающееся сканирующее круглое окно)

-Требование: круглая структура светового потока на 360 ° для 128-линейного механического LiDAR требует четырех веерообразных кварцевых пластин с центральными углами 90 ° каждая, которые должны быть собраны в полное круглое кольцо. Требуйте, чтобы концентричность внутренней и внешней дуг каждой веерообразной пластины составляла ≤ 0,02 мм, а коэффициент пропускания составлял ≥ 98% при длине волны 905 нм.  

-Решение: Мы изготовили веерообразные пластины по индивидуальному заказу с внешним радиусом дуги 65 мм, внутренним радиусом дуги 55 мм и толщиной 2 мм. Каждая пластина маркируется отдельным номером, чтобы обеспечить зазор при сращивании ≤ 0,05 мм. Они также покрыты узкополосной антибликовой пленкой длиной 905 нм.  

-Результат: коэффициент пропускания склеенного круглого окна составил 98,2%, а однородность сканированного облака точек была значительно улучшена.

Случай 3: Немецкий производитель оборудования для вакуумного нанесения покрытий (анонимно)

-Требование: Спроектировать веерообразное смотровое окно с центральным углом 45° для системы оптического онлайн-мониторинга, установленное на изогнутом фланце цилиндрической камеры нанесения покрытия. Он должен выдерживать запекание при температуре 150 ℃, а также противостоять разбрызгиванию и прилипанию алюминиевого пленочного материала.  

-Решение: мы предоставляем веерообразное кварцевое окно JGS2 толщиной 5 мм с водонепроницаемой, маслостойкой и гидрофобной пленкой, покрытой на внешней поверхности и без покрытия на внутренней поверхности, чтобы обеспечить пропускание света. Край имеет ступенчатую структуру (ступенька толщиной 3 мм + прозрачная область толщиной 2 мм) с уплотнительным кольцом.  

-Результат: гидрофобная мембрана эффективно сокращает период прилипания мембранного материала, а частота очистки увеличена с одного раза на партию до одного раза на каждые 10 партий.

Если вам нужны небольшие партии образцов научно-исследовательского уровня или большие количества компонентов промышленного класса, мы можем предоставить комплексные услуги: от проверки чертежей, выбора материала, обработки и полировки до испытаний покрытия. Пожалуйста, пришлите нам ваш угол наклона вентилятора, радиус, толщину и параметры среды использования, и мы предоставим вам технические решения и предложения в течение 24 часов. Сделайте точное веерообразное окно идеальным каналом для вашей оптической системы.

Luverre Quartz производит и продает широкий ассортимент высококачественного кварцевого стекла, включая кварцевые трубки, кварцевые пластины, кварцевые стержни, кварцевые окна, кварцевые тигли, кварцевые лодочки, кварцевые фланцы, кварцевые стаканы, инструменты из кварцевого стекла и многое другое. Мы можем удовлетворить все индивидуальные требования к изделиям из кварцевого стекла.