扇形石英プレートウィンドウ は、扇形の形状をした光学グレードの石英部品で、半導体装置の観察窓、レーザー出力窓、真空チャンバーのシールインターフェース、および高温炉の側面監視ポートで一般的に使用されます。従来の長方形または円形の窓と比較して、扇形のデザインは限られたスペースで最大の有効開口を達成することができ、また湾曲した取り付け面にも適応します。ルベールクォーツはプロのカスタムメーカーとして、粗切断、精密研削、研磨、コーティングまでの全工程の加工サービスを提供し、任意の中心角（30°〜180°）、内外半径、厚さのカスタマイズをサポートし、不規則な石英窓開口部に対するハイエンド製造分野の厳しい要件を満たします。
どのような主要な問題を解決できるでしょうか?
-限られた設置スペース: 扇形の輪郭は、機器のケーシングを変更することなく、円形フランジまたはパイプ壁に埋め込むことができます。
-光路方向の偏差: 扇形の角度、ビームの入射角と出射角の正確な制御によってカスタマイズされます。
-高温真空シール： 膨張係数が低いため、真空または高温環境でも爆発や漏れがありません。
-光学性能の一貫性： 扇形の円の中心から外側の円弧に至るまで、材料は縞模様がなく均一であり、結像には歪みがありません。
典型的なアプリケーションシナリオ
半導体エッチング装置: 反応チャンバー用側面光学終点検出窓 - 円弧状チャンバーの内壁に取り付けられ、スペースを節約
Lidar: 回転スキャンモジュールの円形光出力ウィンドウ - 水平スキャン範囲を広い角度の扇形にカバー
真空成膜機： 成膜過程を観察するための扇型窓 - 高温ベークと膜付着に強い
医用画像機器: 円形 CT 検出器ウィンドウ - 低散乱、高透過率、アーチファクトの低減
高温炉: 側面温度測定または画像取得ウィンドウ - 1200 ℃ の熱衝撃に耐性があり、結露なし
お客様の申請事例（匿名）
事例1：半導体装置会社（エッチング機の光学終点検出モジュール）
-要件: エッチング反応チャンバーの湾曲した側壁に、中心角 60 °、外側円弧半径 80 mm、内側円弧半径 40 mm、厚さ 8 mm の扇形の石英窓を取り付けます。窓は200℃でのベーキングおよび高密度プラズマ環境に耐え、紫外領域(266nm)での透過率が80%以上である必要があります。
-解決策： 合成石英JGS1を使用し、CNC粗研削とリング研磨を施し、表面粗さRa0.3nmを実現しました。 266nm で測定された UV 透過率は 83% です。応力集中を避けるため窓端に0.2mm×45°の面取りを施します。
-結果: お客様による設置後、エンドポイント検出信号強度は 35% 増加し、誤トリガー率は元の 3 分の 1 に減少しました。
事例2：レーザーレーダースタートアップ企業（回転走査円窓）
-要件: 128 ラインのメカニカル LiDAR の 360 ° 円形の光出力構造には、中心角がそれぞれ 90 ° である 4 つの扇形の石英プレートを完全な円形リングに組み立てる必要があります。各扇形プレートの内側と外側の円弧の同心度が 0.02mm 以下、透過率が 905nm で 98% 以上である必要があります。
-解決策: 外側円弧半径 65 mm、内側円弧半径 55 mm、厚さ 2 mm の扇形プレートをカスタマイズしました。スプライシング ギャップが 0.05 mm 以下であることを保証するために、各プレートには独立した番号が付けられています。また、905nm 狭帯域反射防止膜もコーティングされています。
-結果: 接合された円形窓の透過率は 98.2% であると測定され、スキャンされた点群の均一性が大幅に向上しました。
事例3：ドイツの真空成膜装置メーカー（匿名）
-要件: オンライン光学モニタリング システム用に中心角 45 ° の扇形の観察窓を設計し、円筒形のコーティング チャンバーの湾曲したフランジに取り付けます。 150℃での焼付けに耐え、アルミ膜材料の飛散や付着に耐える必要があります。
-ソリューション: 厚さ 5 mm の扇形の JGS2 石英窓を提供します。外表面には防水性、耐油性、疎水性の膜がコーティングされており、内面にはコーティングが施されていないため、光路の透過性が確保されています。エッジはOリングシールによる段差構造(3mm段差+2mm厚透明部)を採用。
-結果: 疎水性膜により膜材料の付着期間が効果的に短縮され、洗浄頻度がバッチごとに 1 回から 10 バッチに 1 回に延長されました。
少量の科学研究グレードのサンプルが必要な場合でも、大量の工業グレードのコンポーネントが必要な場合でも、当社は図面のレビュー、材料の選択、加工および研磨からコーティングのテストに至るまでのワンストップサービスを提供できます。ファンの角度、半径、厚さ、使用環境パラメータをお送りください。24 時間以内に技術的なソリューションと見積もりを提供します。正確な扇形のウィンドウを光学システムにとって理想的なチャネルにします。
ルベールクォーツは 、石英管、石英板、石英ロッド、石英窓、石英るつぼ、石英ボート、石英フランジ、石英ビーカー、石英ガラス器具など、幅広い高品質の石英ガラスを製造・販売しています。石英ガラス製品のあらゆるカスタマイズのご要望にお応えいたします。
