Das fächerförmige Quarzplattenfenster ist eine optische Quarzkomponente mit fächerförmiger Form, die häufig in Beobachtungsfenstern für Halbleitergeräte, Laserausgangsfenstern, Dichtungsschnittstellen für Vakuumkammern und seitlichen Überwachungsöffnungen für Hochtemperaturöfen verwendet wird. Im Vergleich zu herkömmlichen rechteckigen oder runden Fenstern kann durch das fächerförmige Design die maximale effektive Öffnung auf begrenztem Raum erreicht werden, während es sich gleichzeitig an gekrümmte Montageflächen anpasst. Als professioneller kundenspezifischer Hersteller bietet Luverre Quartz umfassende Prozessbearbeitungsdienstleistungen vom Grobschneiden, Präzisionsschleifen, Polieren bis hin zur Beschichtung und unterstützt die individuelle Anpassung jedes beliebigen Mittelpunktwinkels (30 ° -180 °), Innen- und Außenradius und Dicke und erfüllt so die strengen Anforderungen der High-End-Fertigungsbereiche für unregelmäßige Quarzfensteröffnungen.

Welche Kernprobleme kann es für Sie lösen?

-Begrenzter Einbauraum: Die fächerförmige Kontur kann in kreisförmige Flansche oder Rohrwände eingebettet werden, ohne dass das Gerätegehäuse verändert werden muss.  

-Abweichung der optischen Pfadrichtung: Angepasst durch fächerförmige Winkel, präzise Steuerung der Strahleinfalls- und -austrittswinkel.  

-Hochtemperatur-Vakuumabdichtung: Der niedrige Ausdehnungskoeffizient stellt sicher, dass es in Vakuum- oder Hochtemperaturumgebungen nicht zu Explosionen oder Undichtigkeiten kommt.  

-Optische Leistungskonsistenz: Von der Mitte des fächerförmigen Kreises bis zum äußeren Bogen ist das Material gleichmäßig ohne Streifen und die Abbildung ist verzerrungsfrei.

Typische Anwendungsszenarien

Halbleiter-Ätzausrüstung: seitliches optisches Endpunkterkennungsfenster für die Reaktionskammer – platzsparend an der Innenwand der bogenförmigen Kammer angebracht

Lidar: Kreisförmiges Lichtaustrittsfenster des rotierenden Scanmoduls – fächerförmige Abdeckung des horizontalen Scanbereichs mit großem Winkel

Vakuumbeschichtungsmaschine: fächerförmiges Fenster zur Beobachtung des Abscheidungsprozesses – beständig gegen Hochtemperatur-Einbrennen und Filmanhaftung

Medizinische Bildgebungsgeräte: Kreisförmiges CT-Detektorfenster – geringe Streuung, hohe Transmission, Reduzierung von Artefakten

Hochtemperaturofen: seitliche Temperaturmessung oder Bildaufnahmefenster – beständig gegen 1200 °C Thermoschock, keine Kondensation

Kundenanwendungsfall (anonym)

Fall 1: Ein Halbleiterausrüstungsunternehmen (Modul zur optischen Endpunkterkennung einer Ätzmaschine)

-Anforderung: Installieren Sie ein fächerförmiges Quarzfenster an der gekrümmten Seitenwand der Ätzreaktionskammer mit einem zentralen Winkel von 60 °, einem äußeren Bogenradius von 80 mm, einem inneren Bogenradius von 40 mm und einer Dicke von 8 mm. Das Fenster sollte dem Backen bei 200 °C und einer Plasmaumgebung mit hoher Dichte standhalten und die Durchlässigkeit im ultravioletten Bereich (266 nm) sollte ≥ 80 % betragen.  

-Lösung: Wir verwenden synthetischen Quarz JGS1, der einem CNC-Grobschliff und Ringpolieren unterzogen wird, um eine Oberflächenrauheit von Ra0,3 nm zu erreichen. Die gemessene UV-Transmission bei 266 nm beträgt 83 %. Machen Sie am Rand des Fensters eine Fase von 0,2 mm × 45 °, um Spannungskonzentrationen zu vermeiden.  

-Ergebnis: Nach der Installation durch den Kunden erhöhte sich die Signalstärke der Endpunkterkennung um 35 % und die Fehlauslösungsrate sank auf ein Drittel des Originals.

Fall 2: Ein Laserradar-Startup-Unternehmen (rotierendes, scannendes kreisförmiges Fenster)

-Anforderung: Eine kreisförmige 360°-Lichtausgabestruktur für einen mechanischen LiDAR mit 128 Zeilen erfordert, dass vier fächerförmige Quarzplatten mit Mittelpunktswinkeln von jeweils 90° zu einem vollständigen Kreisring zusammengesetzt werden. Die Konzentrizität der inneren und äußeren Bögen jeder fächerförmigen Platte muss ≤ 0,02 mm und die Durchlässigkeit ≥ 98 % bei 905 nm betragen.  

-Lösung: Wir haben maßgeschneiderte fächerförmige Platten mit einem äußeren Bogenradius von 65 mm, einem inneren Bogenradius von 55 mm und einer Dicke von 2 mm. Jede Platte ist mit einer unabhängigen Nummer gekennzeichnet, um einen Spleißspalt von ≤ 0,05 mm sicherzustellen. Sie sind außerdem mit einer 905-nm-Schmalband-Antireflexionsfolie beschichtet.  

-Ergebnis: Die Durchlässigkeit des gespleißten kreisförmigen Fensters wurde mit 98,2 % gemessen und die Gleichmäßigkeit der gescannten Punktwolke wurde deutlich verbessert.

Fall 3: Ein deutscher Hersteller von Vakuumbeschichtungsanlagen (anonym)

-Anforderung: Entwerfen Sie ein fächerförmiges Beobachtungsfenster mit einem zentralen Winkel von 45 ° für ein optisches Online-Überwachungssystem, installiert auf dem gebogenen Flansch einer zylindrischen Beschichtungskammer. Es muss dem Backen bei 150 °C standhalten und Spritzern sowie dem Anhaften von Aluminiumfolienmaterial widerstehen.  

-Lösung: Wir bieten ein 5 mm dickes, fächerförmiges JGS2-Quarzfenster mit einer wasserdichten, ölbeständigen und hydrophoben Filmbeschichtung auf der Außenfläche und ohne Beschichtung auf der Innenfläche, um die Lichtwegübertragung sicherzustellen. Die Kante hat eine Stufenstruktur (3 mm dicke Stufe + 2 mm dicker transparenter Bereich) mit O-Ring-Dichtung.  

-Ergebnis: Die hydrophobe Membran reduziert effektiv die Haftdauer des Membranmaterials und die Reinigungshäufigkeit wurde von einmal pro Charge auf einmal alle 10 Chargen verlängert.

Ganz gleich, ob Sie kleine Chargen von Proben in wissenschaftlicher Forschungsqualität oder große Mengen an Komponenten in Industriequalität benötigen: Wir bieten alles aus einer Hand: von der Zeichnungsprüfung über die Materialauswahl, Verarbeitung und Politur bis hin zur Beschichtungsprüfung. Bitte senden Sie uns Ihre Parameter für Fächerwinkel, -radius, -dicke und -umgebung und wir werden Ihnen innerhalb von 24 Stunden technische Lösungen und Angebote unterbreiten. Machen Sie das präzise fächerförmige Fenster zum idealen Kanal für Ihr optisches System.

Luverre Quartz produziert und vertreibt eine breite Palette hochwertiger Quarzgläser, darunter Quarzrohre, Quarzplatten, Quarzstäbe, Quarzfenster, Quarztiegel, Quarzboote, Quarzflansche, Quarzbecher, Quarzglasinstrumente und mehr. Wir können alle Arten von individuellen Anforderungen an Quarzglasprodukte erfüllen.