팬 모양의 석영 판 창 은 팬 모양의 광학 등급 석영 구성 요소로 반도체 장비 관찰 창, 레이저 출력 창, 진공 챔버 밀봉 인터페이스 및 고온로 측면 모니터링 포트에 일반적으로 사용됩니다. 기존의 직사각형 또는 원형 창과 비교하여 팬 모양 디자인은 제한된 공간에서 최대 유효 조리개를 달성하는 동시에 곡선 장착 표면에도 적용할 수 있습니다. 전문 맞춤형 제조업체인 Luverre Quartz는 거친 절단, 정밀 연삭, 연마에서 코팅까지 전체 공정 처리 서비스를 제공하고 중심 각도(30°-180°), 내부 및 외부 반경, 두께에 대한 맞춤형 사용자 정의를 지원하여 불규칙한 석영 창 개구부에 대한 고급 제조 분야의 엄격한 요구 사항을 충족합니다.

어떤 핵심 문제를 해결할 수 있습니까?

- 제한된 설치 공간: 팬 모양의 윤곽은 장비 케이스를 수정할 필요 없이 원형 ​​플랜지나 파이프 벽에 내장될 수 있습니다.  

- 광학 경로 방향 편차: 부채꼴 각도를 통한 맞춤화, 빔 입사 및 출사 각도의 정밀한 제어.  

-고온 진공 밀봉: 낮은 팽창 계수로 진공 또는 고온 환경에서 폭발이나 누출이 발생하지 않습니다.  

-광학적 성능 일관성: 부채꼴 원의 중심에서 바깥쪽 호까지 재료가 줄무늬 없이 균일하고 이미징이 왜곡되지 않습니다.

일반적인 애플리케이션 시나리오

반도체 식각 장비 : 반응 챔버의 측면 광학 종점 감지 창 - 원호형 챔버 내벽에 부착되어 공간 절약

Lidar: 회전 스캐닝 모듈의 원형 광 출력 창 - 수평 스캐닝 범위의 넓은 각도 팬 모양 범위

진공 코팅기: 증착 과정을 관찰하기 위한 부채꼴 창 - 고온 베이킹 및 필름 접착에 강함

의료영상장비 : 원형 CT 검출창 - 저산란, 고투과율, 인공물 감소

고온로: 측면 온도 측정 또는 이미지 획득 창 - 1200℃ 열충격에 강하고 응결 없음

고객 신청사례(익명)

사례 1: 반도체 장비 회사(에칭 머신 광학 엔드포인트 검출 모듈)

-요구사항: 에칭 반응 챔버의 곡선 측벽에 부채꼴 석영 창을 설치하며, 중심 각도는 60°, 외부 호 반경은 80mm, 내부 호 반경은 40mm, 두께는 8mm입니다. 윈도우는 200℃의 베이킹과 고밀도 플라즈마 환경을 견뎌야 하며, 자외선 영역(266nm)에서의 투과율은 80% 이상이어야 합니다.  

-해결책: 우리는 Ra0.3nm의 표면 거칠기를 달성하기 위해 CNC 거친 연삭 및 링 연마를 거친 JGS1 합성 석영을 사용합니다. 266nm에서 측정된 UV 투과율은 83%입니다. 응력 집중을 피하기 위해 창 가장자리에 0.2mm × 45° 모따기를 만듭니다.  

-결과: 고객이 설치한 후 엔드포인트 감지 신호 강도가 35% 증가하고 잘못된 트리거링 비율이 원래의 1/3로 감소했습니다.

사례 2: 레이저 레이더 스타트업 기업(회전 스캐닝 원형 창)

-요구 사항: 128라인 기계식 LiDAR의 360° 원형 광 출력 구조에는 중앙 각도가 각각 90°인 4개의 부채꼴 석영 판이 완전한 원형 링으로 조립되어야 합니다. 각 부채꼴 판의 내부 및 외부 호의 동심도는 0.02mm 이하, 투과율은 905nm에서 98% 이상이어야 합니다.  

-해결책: 우리는 외부 호 반경이 65mm, 내부 호 반경이 55mm, 두께가 2mm인 부채꼴 플레이트를 맞춤 제작했습니다. 각 플레이트에는 0.05mm 이하의 접합 간격을 보장하기 위해 독립적인 번호가 표시되어 있습니다. 또한 905nm 협대역 반사 방지 필름으로 코팅되어 있습니다.  

-결과: 접합된 원형 창의 투과율은 98.2%로 측정되었으며, 스캔된 포인트 클라우드의 균일성이 크게 향상되었습니다.

사례 3: 독일의 진공 코팅 장비 제조사(익명)

-요구 사항: 원통형 코팅 챔버의 곡선 플랜지에 설치되는 온라인 광학 모니터링 시스템을 위해 중심 각도가 45°인 부채꼴 관찰 창을 설계합니다. 150℃의 베이킹에 견딜 수 있어야 하며, 알루미늄 필름 재료의 튀김과 접착에 저항해야 합니다.  

-해결책: 우리는 빛의 경로 전송을 보장하기 위해 외부 표면에 방수, 내유성, 소수성 필름이 코팅되어 있고 내부 표면에는 코팅이 없는 5mm 두께의 부채꼴 모양의 JGS2 석영 창을 제공합니다. 가장자리는 O-링 밀봉이 있는 계단식 구조(3mm 두께 단차 + 2mm 두께 투명 영역)를 채택합니다.  

-결과: 소수성 멤브레인은 멤브레인 소재의 접착 기간을 효과적으로 단축하고, 세척 빈도가 배치당 1회에서 10배치당 1회로 확장되었습니다.

소규모 배치의 과학 연구 등급 샘플이 필요하든 대량의 산업 등급 부품이 필요하든 관계없이 당사는 도면 검토, 재료 선택, 처리 및 연마부터 코팅 테스트까지 원스톱 서비스를 제공할 수 있습니다. 팬 각도, 반경, 두께, 사용 환경 매개변수를 보내주시면 24시간 이내에 기술 솔루션과 견적을 제공해 드리겠습니다. 정확한 팬 모양 창을 광학 시스템에 이상적인 채널로 만드십시오.

Luverre Quartz는 석영 튜브, 석영 판, 석영 막대, 석영 창, 석영 도가니, 석영 보트, 석영 플랜지, 석영 비커, 석영 유리 기기 등을 포함한 다양한 고품질 석영 유리를 제조 및 판매합니다. 우리는 석영 유리 제품에 대한 모든 종류의 맞춤형 요구 사항을 충족할 수 있습니다.