Прозрачная кварцевая печная труба большого диаметра

Прозрачный большого диаметра Кварцевая печная труба представляет собой трубчатое изделие из кварцевого стекла, изготовленное из природного кристалла или кварцевого песка высокой чистоты, расплавленное при высокой температуре и прецизионно обработанное. Его основными характеристиками являются «высокая чистота», «большой диаметр» и «отличные тепловые характеристики», что делает его незаменимым основным расходным материалом в высокотехнологичных процессах термообработки, особенно в производстве полупроводниковых интегральных схем (ИС) и производстве солнечных фотоэлектрических элементов.

Наш ассортимент продукции охватывает различные спецификации от 6 дюймов (приблизительно 150 мм) до 12 дюймов (3000 мм) и даже больше. Длина может быть изменена в соответствии с технологическими требованиями заказчика, с одинаковой толщиной стенок и высоким качеством внутренней поверхности, что обеспечивает единообразие и надежность процесса.

Основные возможности:

Конструкция большого диаметра: диапазон диаметров составляет от 50 до 500 мм, что отвечает потребностям крупномасштабного производства или специальных экспериментов;

Высокая прозрачность: коэффициент пропускания более 90% в ультрафиолетовом и инфракрасном диапазоне (200-2500 нм) обеспечивает визуальный контроль производственного процесса;

Высокая термостойкость: может стабильно работать в среде 1100 ℃ в течение длительного времени и выдерживать высокие температуры 1300 ℃ в краткосрочной перспективе;

Низкий коэффициент теплового расширения: отличная термическая стабильность, снижающая риск высокотемпературной деформации;

Химическая инертность: Устойчив к кислотной и щелочной коррозии, позволяет избежать реакций с технологическими газами, такими как Cl ₂, NH ∝.

Этот продукт обеспечивает однородность стенки трубы (± 0,1 мм) за счет прецизионных процессов механической обработки, таких как холодное изостатическое прессование и технология газовой плавки, эффективно решая проблему снижения производительности процесса, вызванную неравномерным нагревом традиционных печных труб.

Сценарии применения

Прозрачные кварцевые печные трубы большого диаметра, обладающие уникальными свойствами, стали ключевыми компонентами в следующих областях:

Производство полупроводников

Эпитаксия: Являясь реакционной камерой CVD (химическое осаждение из паровой фазы), она обеспечивает осаждение эпитаксиальных слоев, таких как Si и GaAs, с высокой прозрачностью для наблюдения за однородностью пленки в реальном времени.

Процесс диффузии/окисления: изолируйте технологический газ от нагревательного элемента в высокотемпературной диффузионной печи, чтобы предотвратить загрязнение металлом и повысить надежность устройства.

фотоэлектрическая промышленность

Производство ячеек PERC/TOPCon: используется для процессов легирования, таких как диффузия бора и диффузия фосфора, с конструкцией большого диаметра, подходящей для кремниевых пластин большого размера M10/G12, для повышения производительности производства отдельных трубок.

PECVD-покрытие: как кварцевый колпак, обеспечивает равномерность нанесения пленки аморфного кремния/нитрида кремния.

Светодиодные и дисплейные технологии

MOCVD (химическое осаждение из паровой фазы металлов): Являясь основным компонентом реакционной камеры при производстве светодиодных чипов на основе GaN, он устойчив к высоким температурам и высоким давлениям и продлевает циклы обслуживания оборудования.

Исследования и специальные эксперименты

Высокотемпературный синтез материалов: поддерживает высокотемпературное спекание наноматериалов, квантовых точек и т. д. в инертной атмосфере, а прозрачность облегчает определение характеристик на месте (например, анализ рамановской спектроскопии).

Испытание оптических устройств: в качестве оптического окна в высокотемпературных средах оно используется для подготовки и тестирования лазерных кристаллов и заготовок волокон.

Типичные решения проблем:

Технологическое загрязнение: кварцевый материал высокой чистоты предотвращает осаждение ионов металлов и снижает ток утечки устройства;

Растрескивание под воздействием термического напряжения: сочетание низкого коэффициента теплового расширения с процессом отжига для устранения остаточных напряжений в теле трубы;

Узкое место в производительности: конструкция большого диаметра снижает объем загрузки пластин за одну партию и повышает эффективность производства более чем на 30%.

Индивидуальный сервис

Чтобы удовлетворить различные потребности различных клиентов, мы предлагаем следующие варианты настройки:

Настройка размера и формы

Отрегулируйте диаметр и длину по мере необходимости (минимальный внутренний диаметр 20 мм, максимальная длина 3000 мм);

Поддержка проектирования труб нестандартной формы (например, конических труб и труб с фланцевыми заглушками).

Процесс обработки поверхности

Полирующая обработка: Шероховатость внутренней стенки Ra ≤ 0,2 мкм, что снижает прилипание частиц;

Нанесение покрытия: Дополнительное покрытие AR или антикоррозионное покрытие для продления срока службы.

Комплексное решение

Поддержка кварцевых кронштейнов, смотровых окон и других аксессуаров для комплексной поставки «труба печи + приспособление»;

Предоставляйте услуги по анализу теплового моделирования, оптимизируйте конструкцию труб в соответствии с проектом печи заказчика.

Прозрачная кварцевая печная труба большого диаметра, в основе которой лежат высокопроизводительные материалы и прецизионная технология производства, обеспечивает стабильное и надежное решение для высокотемпературных процессов. Благодаря индивидуальному обслуживанию и технической поддержке полного жизненного цикла мы помогаем клиентам преодолеть ограничения производственных мощностей, повысить выход продукции и сохранить конкурентное преимущество в высокотехнологичных производственных областях, таких как полупроводники и фотоэлектрические элементы.

Luverre Quartz производит и продает широкий ассортимент высококачественного кварцевого стекла, включая трубки из кварцевого стекла, пластины из кварцевого стекла, стержни из кварцевого стекла, окна из кварцевого стекла, тигли из кварцевого стекла, лодочки из кварцевого стекла, фланцы из кварцевого стекла, стаканы из кварцевого стекла, инструменты из кварцевого стекла и многое другое. Мы можем удовлетворить все индивидуальные требования к изделиям из плавленого кварцевого стекла.

Для получения дополнительной информации, пожалуйста, свяжитесь с нами.

Почему выбирают нас?

1. Мы более опытны.

У нас более 18 лет опыта производства изделий из плавленого кварца.

2. Мы более эффективны.

Мы отвечаем на запросы клиентов в течение 24 часов и имеем высокоэффективное производство, инженеров и команду продаж.

3. Наше качество более гарантировано.

Мы контролируем качество от кусков плавленого кварца до кварцевого песка, а затем продуктов из плавленого кварца. У нас лучший и более строгий контроль качества, чем у других производителей.

4. Мы можем производить более сложные изделия из кварцевого стекла.

У нас есть большие шлифовальные платформы и прецизионные травильные машины, которые позволяют нам производить пластины, трубки из плавленого кварца больших размеров и прецизионные изделия из плавленого кварца.