Tubo de horno de cuarzo transparente de gran diámetro.

Transparente de gran diámetro El tubo de horno de cuarzo es un producto tubular de vidrio de cuarzo hecho de cristal natural de alta pureza o arena de sílice, fundido a alta temperatura y procesado con precisión. Sus características principales son 'alta pureza', 'gran diámetro' y 'excelente rendimiento térmico', lo que lo convierte en un consumible básico esencial en procesos de tratamiento térmico de alta gama, especialmente en la fabricación de circuitos integrados (IC) de semiconductores y la producción de células solares fotovoltaicas.

Nuestra gama de productos cubre varias especificaciones, desde 6 pulgadas (aproximadamente 150 mm) hasta 12 pulgadas (3000 mm) e incluso más grandes. La longitud se puede personalizar según los requisitos del proceso del cliente, con un espesor de pared uniforme y un alto acabado de la superficie interna, lo que garantiza la consistencia y confiabilidad del proceso.

Características principales:

Diseño de gran diámetro: el rango de diámetro cubre de 50 mm a 500 mm, satisfaciendo las necesidades de producción a gran escala o experimentos especiales;

Alta transparencia: Con una transmitancia superior al 90% en el rango ultravioleta a infrarrojo (200-2500nm), asegura el seguimiento visual del proceso de fabricación;

Resistencia a altas temperaturas: puede funcionar de manera estable en un ambiente de 1100 ℃ durante mucho tiempo y puede soportar altas temperaturas de 1300 ℃ en el corto plazo;

Bajo coeficiente de expansión térmica: excelente estabilidad térmica, lo que reduce el riesgo de deformación a alta temperatura;

Inercia química: Resistente a la corrosión ácida y alcalina, evitando reacciones con gases de proceso como Cl ₂, NH ∝.

Este producto garantiza la uniformidad de la pared del tubo (± 0,1 mm) a través de procesos de mecanizado de precisión, como el prensado isostático en frío y la tecnología de fusión de gas, resolviendo eficazmente el problema de la disminución del rendimiento del proceso causada por el calentamiento desigual de los tubos de los hornos tradicionales.

Escenarios de aplicación

Los tubos de horno de cuarzo transparentes de gran diámetro, con sus propiedades únicas, se han convertido en componentes clave en los siguientes campos:

Fabricación de semiconductores

Epitaxia: como cámara de reacción CVD (deposición química de vapor), realiza la deposición de capas epitaxiales como Si y GaAs, con alta transparencia para la observación en tiempo real de la uniformidad de la película.

Proceso de difusión/oxidación: aísle el gas de proceso del elemento calefactor en un horno de difusión de alta temperatura para evitar la contaminación del metal y mejorar la confiabilidad del dispositivo.

industria fotovoltaica

Producción de células PERC/TOPCon: utilizada para procesos de dopaje como difusión de boro y difusión de fósforo, con un diseño de gran diámetro adecuado para obleas de silicio de gran tamaño M10/G12 para mejorar la capacidad de producción de tubos individuales.

Revestimiento PECVD: como campana de cuarzo, garantiza la uniformidad de la deposición de la película de silicio amorfo/nitruro de silicio.

Tecnología LED y pantalla

MOCVD (deposición química de vapor de metales orgánicos): como componente central de la cámara de reacción en la producción de chips LED basados ​​en GaN, es resistente a entornos de alta temperatura y alta presión y extiende los ciclos de mantenimiento de los equipos.

Investigación y experimentos especiales.

Síntesis de materiales a alta temperatura: admite la sinterización a alta temperatura de nanomateriales, puntos cuánticos, etc. en una atmósfera inerte, y la transparencia facilita la caracterización in situ (como el análisis de espectroscopía Raman).

Prueba de dispositivos ópticos: como ventana óptica en entornos de alta temperatura, se utiliza para la preparación y prueba de cristales láser y preformas de fibra.

Soluciones típicas de problemas:

Contaminación del proceso: el material de cuarzo de alta pureza evita la precipitación de iones metálicos y reduce la corriente de fuga del dispositivo;

Agrietamiento por tensión térmica: combinación de un bajo coeficiente de expansión térmica con un proceso de recocido para eliminar la tensión residual en el cuerpo del tubo;

Cuello de botella de capacidad: el diseño de gran diámetro reduce la cantidad de carga de obleas de un solo lote y mejora la eficiencia de producción en más de un 30 %.

Servicio personalizado

Para satisfacer las necesidades diferenciadas de diferentes clientes, ofrecemos las siguientes opciones de personalización:

Personalización de tamaño y forma.

Ajuste el diámetro y la longitud según sea necesario (diámetro interior mínimo 20 mm, longitud máxima 3000 mm);

Admite el diseño de tuberías irregulares (como tuberías cónicas y tuberías con tapas de extremo con bridas).

Proceso de tratamiento de superficies

Tratamiento de pulido: rugosidad de la pared interior Ra ≤ 0,2 μ m, lo que reduce la adhesión de partículas;

Servicio de recubrimiento: recubrimiento AR opcional o recubrimiento resistente a la corrosión para extender la vida útil.

Solución integrada

Soporte de soportes de cuarzo, ventanas de observación y otros accesorios para lograr la entrega integrada de 'tubo de horno+accesorio';

Proporcione servicios de análisis de simulación térmica y optimice la estructura de tuberías para que coincida con el diseño del horno del cliente.

El tubo de horno de cuarzo transparente de gran diámetro, con materiales de alto rendimiento y tecnología de fabricación de precisión como núcleo, proporciona una solución estable y confiable para procesos de alta temperatura. A través de servicios personalizados y soporte técnico durante todo el ciclo de vida, ayudamos a los clientes a superar las limitaciones de la capacidad de producción, mejorar el rendimiento del producto y mantener una ventaja competitiva en campos de fabricación de alta gama, como los semiconductores y la energía fotovoltaica.

Luverre Quartz fabrica y vende una amplia gama de vidrio de sílice fundida de alta calidad, incluidos tubos de sílice fundida, placas de sílice fundida, varillas de sílice fundida, ventanas de sílice fundida, crisoles de sílice fundida, botes de sílice fundida, bridas de sílice fundida, vasos de precipitados de sílice fundida, instrumentos de vidrio de sílice fundida y más. Podemos cumplir con todo tipo de requisitos personalizados para productos de vidrio de sílice fundida.

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