Tubo de forno de quartzo transparente de grande diâmetro

Transparente de grande diâmetro O tubo do forno de quartzo é um produto tubular de vidro de quartzo feito de cristal natural de alta pureza ou areia de sílica, derretido em alta temperatura e processado com precisão. Suas principais características são “alta pureza”, “grande diâmetro” e “excelente desempenho térmico”, tornando-o um consumível básico essencial em processos de tratamento térmico de alta tecnologia, especialmente na fabricação de circuitos integrados (IC) de semicondutores e na produção de células solares fotovoltaicas.

Nossa linha de produtos abrange diversas especificações, de 6 polegadas (aproximadamente 150 mm) a 12 polegadas (3.000 mm) e até maiores. O comprimento pode ser customizado de acordo com a necessidade do processo do cliente, com espessura de parede uniforme e alto acabamento superficial interno, garantindo consistência e confiabilidade do processo.

Recursos principais:

Design de grande diâmetro: A faixa de diâmetro cobre de 50 mm a 500 mm, atendendo às necessidades de produção em larga escala ou experimentos especiais;

Alta transparência: Com transmitância superior a 90% na faixa ultravioleta a infravermelha (200-2500nm), garante monitoramento visual do processo de fabricação;

Resistência a altas temperaturas: pode funcionar de forma estável em um ambiente de 1100 ℃ por um longo tempo e pode suportar altas temperaturas de 1300 ℃ no curto prazo;

Baixo coeficiente de expansão térmica: excelente estabilidade térmica, reduzindo o risco de deformação em alta temperatura;

Inércia química: Resistente à corrosão ácida e alcalina, evitando reações com gases de processo como Cl ₂, NH ∝.

Este produto garante a uniformidade da parede do tubo (± 0,1 mm) através de processos de usinagem de precisão, como prensagem isostática a frio e tecnologia de fusão de gás, resolvendo efetivamente o problema de diminuição do rendimento do processo causado pelo aquecimento desigual dos tubos dos fornos tradicionais.

Cenários de aplicação

Tubos transparentes de forno de quartzo de grande diâmetro, com suas propriedades únicas, tornaram-se componentes-chave nas seguintes áreas:

Fabricação de semicondutores

Epitaxia: Por ser uma câmara de reação CVD (deposição química de vapor), realiza a deposição de camadas epitaxiais como Si e GaAs, com alta transparência para observação em tempo real da uniformidade do filme.

Processo de difusão/oxidação: Isole o gás do processo do elemento de aquecimento em um forno de difusão de alta temperatura para evitar contaminação metálica e melhorar a confiabilidade do dispositivo.

indústria fotovoltaica

Produção de células PERC/TOPCon: usada para processos de dopagem, como difusão de boro e difusão de fósforo, com um design de grande diâmetro adequado para wafers de silício de grande porte M10/G12 para melhorar a capacidade de produção de tubo único.

Revestimento PECVD: Como uma Bell Jar de quartzo, garante a uniformidade da deposição do filme de silício amorfo/nitreto de silício.

Tecnologia LED e Display

MOCVD (Metal Organic Chemical Vapor Deposition): Como componente principal da câmara de reação na produção de chips LED baseados em GaN, é resistente a ambientes de alta temperatura e alta pressão e estende os ciclos de manutenção do equipamento.

Pesquisa e Experimentos Especiais

Síntese de materiais em alta temperatura: suporta sinterização em alta temperatura de nanomateriais, pontos quânticos, etc. em uma atmosfera inerte, e a transparência facilita a caracterização in-situ (como análise de espectroscopia Raman).

Teste de dispositivos ópticos: Como janela óptica em ambientes de alta temperatura, é utilizada para a preparação e teste de cristais de laser e pré-formas de fibra.

Soluções de problemas típicos:

Poluição do processo: o material de quartzo de alta pureza evita a precipitação de íons metálicos e reduz a corrente de fuga do dispositivo;

Fissuração por tensão térmica: Combinação de baixo coeficiente de expansão térmica com processo de recozimento para eliminar tensões residuais no corpo do tubo;

Gargalo de capacidade: O design de grande diâmetro reduz a quantidade de carregamento de wafer de lote único e melhora a eficiência da produção em mais de 30%.

Atendimento personalizado

Para atender às necessidades diferenciadas de diferentes clientes, oferecemos as seguintes opções de personalização:

Personalização de tamanho e forma

Ajuste o diâmetro e o comprimento conforme necessário (diâmetro interno mínimo 20mm, comprimento máximo 3000mm);

Apoie o projeto de tubos irregulares (como tubos cônicos e tubos com tampas flangeadas).

Processo de tratamento de superfície

Tratamento de polimento: Rugosidade da parede interna Ra ≤ 0,2 μm, reduzindo a adesão das partículas;

Serviço de revestimento: Revestimento AR opcional ou revestimento resistente à corrosão para prolongar a vida útil.

Solução integrada

Suporte de suportes de quartzo, janelas de observação e outros acessórios para obter entrega integrada de 'tubo de forno + acessório';

Fornece serviços de análise de simulação térmica e otimiza a estrutura do tubo para corresponder ao projeto do forno do cliente.

O tubo transparente do forno de quartzo de grande diâmetro, com materiais de alto desempenho e tecnologia de fabricação de precisão como núcleo, fornece uma solução estável e confiável para processos de alta temperatura. Por meio de serviços personalizados e suporte técnico durante todo o ciclo de vida, ajudamos os clientes a superar as limitações de capacidade de produção, melhorar o rendimento do produto e manter uma vantagem competitiva em campos de fabricação de ponta, como semicondutores e energia fotovoltaica.

Luverre Quartz fabrica e vende uma ampla variedade de vidro de sílica fundida de alta qualidade, incluindo tubos de sílica fundida, placas de sílica fundida, hastes de sílica fundida, janelas de sílica fundida, cadinhos de sílica fundida, barcos de sílica fundida, flanges de sílica fundida, copos de sílica fundida, instrumentos de vidro de sílica fundida e muito mais. Podemos atender a todos os tipos de requisitos personalizados para produtos de vidro de sílica fundida.

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