透明な大きな直径石英炉チューブ
透明な大口径石英炉チューブは、高温で溶けた高純度の天然結晶またはシリカ砂で作られた管状石英ガラス製品です。
Luverre Quartz
99.99%
真空PVCバッグで内側に、その後、木製の箱と外側のエアバブルフィルムで包まれています。
顧客の要件に従って
可用性: | |
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透明な大口径石英炉チューブ
透明な大口径 クォーツ炉チューブは、 高温で溶けた高純度の天然結晶またはシリカ砂で作られた管状の石英ガラス製品です。そのコアの特徴は、 '高純度、' '大きな直径、'、 '優れた熱性能、'であり、特に半導体統合回路(IC)の製造および太陽光発電細胞生産において、ハイエンドの熱処理プロセスにおいて不可欠な基本的な消耗品です。
当社の製品範囲は、6インチ(約150mm)から12インチ(3000mm)からさらに大きいさまざまな仕様をカバーしています。長さは、顧客プロセスの要件に応じてカスタマイズできます。壁の厚さと高い内部表面仕上げにより、プロセスの一貫性と信頼性が確保されます。
コア機能:
大きな直径の設計: 直径の範囲は50mmから500mmをカバーし、大規模な生産または特別な実験のニーズを満たしています。
高い透明性: 紫外線から赤外線範囲(200-2500NM)の90%以上の透過率により、製造プロセスの視覚的監視が保証されます。
高温抵抗: 1100の環境では長い間安定して働くことができ、短期的には1300の高温に耐えることができます。
低熱膨張係数: 優れた熱安定性、高温変形のリスクが低下します。
化学的不活性: 酸およびアルカリの腐食に耐性があり、Cl₂、NH ∝などのプロセスガスとの反応を回避します。
この製品は、寒冷等等型プレスやガス融解技術などの精密な加工プロセスを通じて、チューブ壁(±0.1mm)の均一性を保証し、従来の炉管の不均一な加熱によって引き起こされるプロセス収量の減少の問題を効果的に解決します。
アプリケーションシナリオ
独自の特性を備えた透明な大口径石英炉チューブは、次の分野で重要なコンポーネントになりました。
半導体製造
エピタキシー:CVD(化学蒸気堆積)反応チャンバーとして、SiやGAASなどのエピタキシャル層の堆積を運び、フィルムの均一性をリアルタイムで観察するための透明性が高くなります。
拡散/酸化プロセス:高温拡散炉の加熱要素からプロセスガスを隔離して、金属汚染を防ぎ、デバイスの信頼性を向上させます。
太陽光発電産業
PERC/Topcon細胞生産:ホウ素拡散やリン拡散などのドーピングプロセスに使用されます。M10/G12の大規模なサイズのシリコンウェーファーに適した大きな直径の設計で、単一チューブの生産能力を向上させます。
PECVDコーティング:クォーツベルジャーとして、アモルファスシリコン/窒化シリコンフィルムの均一性が保証されます。
LEDおよび表示テクノロジー
MOCVD(金属有機化学蒸着):GANベースのLEDチップ生産の反応チャンバーのコア成分として、高温および高圧環境に耐性があり、機器のメンテナンスサイクルを拡張します。
研究と特別な実験
高温材料合成:ナノマテリアル、量子ドットなどの高温焼結をサポートし、不活性雰囲気で、透明性により、現場の特性評価(ラマン分光法分析など)が促進されます。
光学デバイスのテスト:高温環境の光学ウィンドウとして、レーザー結晶と繊維のプレフォームの準備とテストに使用されます。
典型的な問題解決策:
プロセス汚染: 高純度石英材料は金属イオンの沈殿を回避し、デバイスの漏れ電流を減らします。
熱応力亀裂: 低熱膨張係数とアニーリングプロセスを組み合わせて、チューブ本体の残留応力を排除します。
容量のボトルネック: 大きな直径の設計により、シングルバッチウェーハの負荷の量が減り、生産効率が30%以上向上します。
カスタマイズされたサービス
さまざまな顧客の差別化されたニーズを満たすために、次のカスタマイズオプションを提供します。
サイズと形状のカスタマイズ
必要に応じて直径と長さを調整します(最小内径20mm、最大長3000mm)。
不規則なパイプの設計(テーパーパイプやフランジ付きエンドキャップ付きパイプなど)をサポートします。
表面処理プロセス
研磨処理:内壁の粗さRa≤0.2μm、粒子接着の減少。
コーティングサービス:オプションのARコーティングまたは耐腐食性コーティングは、サービスの寿命を延ばします。
統合ソリューション
クォーツブラケット、観測窓、その他のアクセサリーをサポートして、 '炉チューブ+フィクスチャ'の統合配信を実現します。
熱シミュレーション分析サービスを提供し、パイプ構造を最適化して、顧客炉の設計に合わせます。
高性能材料と精密製造技術を備えた透明な大口径石英炉チューブは、高温プロセスに安定した信頼できるソリューションを提供します。カスタマイズされたサービスとフルライフサイクルのテクニカルサポートを通じて、顧客が生産能力の制限を突破し、製品の収穫量を改善し、半導体や太陽光発電などのハイエンド製造分野で競争上の優位性を維持するのを支援しています。
Luverre Quartzは 、融合シリカチューブ、融合シリカプレート、融合シリカロッド、融合シリカ窓、融合シリカクチブスト、融合シリカボート、融合シリカフランジ、融合シリカビーカー、融合シリカガラス装置などを含む、幅広い高品質の融合シリカガラスを製造および販売しています。融合シリカガラス製品のあらゆる種類のカスタマイズされた要件を満たすことができます。
詳細については、お気軽にお問い合わせください。
なぜ私たちを選ぶのですか?
1.私たちはより経験豊富です。
融合シリカアイテムの18年以上の生産経験があります。
2.私たちはより効率的です。
24時間以内に顧客のリクエストに返信し、高効率の生産、エンジニア、販売チームがあります。
3.私たちの品質がより保証されています。
融合したシリカランプから融合シリカ砂、融合したシリカ製品まで品質を制御します。他の製造業者よりも優れた、より厳格な品質管理があります。
4.私たちは、より困難な融合シリカ製品を生産することができます。
大規模な研削プラットフォームと精密エッチングマシンがあり、融合シリカプレート、チューブ、高サイズの精度融合シリカアイテムの大規模なサイズを生産できます。
透明な大口径石英炉チューブ
透明な大口径 クォーツ炉チューブは、 高温で溶けた高純度の天然結晶またはシリカ砂で作られた管状の石英ガラス製品です。そのコアの特徴は、 '高純度、' '大きな直径、'、 '優れた熱性能、'であり、特に半導体統合回路(IC)の製造および太陽光発電細胞生産において、ハイエンドの熱処理プロセスにおいて不可欠な基本的な消耗品です。
当社の製品範囲は、6インチ(約150mm)から12インチ(3000mm)からさらに大きいさまざまな仕様をカバーしています。長さは、顧客プロセスの要件に応じてカスタマイズできます。壁の厚さと高い内部表面仕上げにより、プロセスの一貫性と信頼性が確保されます。
コア機能:
大きな直径の設計: 直径の範囲は50mmから500mmをカバーし、大規模な生産または特別な実験のニーズを満たしています。
高い透明性: 紫外線から赤外線範囲(200-2500NM)の90%以上の透過率により、製造プロセスの視覚的監視が保証されます。
高温抵抗: 1100の環境では長い間安定して働くことができ、短期的には1300の高温に耐えることができます。
低熱膨張係数: 優れた熱安定性、高温変形のリスクが低下します。
化学的不活性: 酸およびアルカリの腐食に耐性があり、Cl₂、NH ∝などのプロセスガスとの反応を回避します。
この製品は、寒冷等等型プレスやガス融解技術などの精密な加工プロセスを通じて、チューブ壁(±0.1mm)の均一性を保証し、従来の炉管の不均一な加熱によって引き起こされるプロセス収量の減少の問題を効果的に解決します。
アプリケーションシナリオ
独自の特性を備えた透明な大口径石英炉チューブは、次の分野で重要なコンポーネントになりました。
半導体製造
エピタキシー:CVD(化学蒸気堆積)反応チャンバーとして、SiやGAASなどのエピタキシャル層の堆積を運び、フィルムの均一性をリアルタイムで観察するための透明性が高くなります。
拡散/酸化プロセス:高温拡散炉の加熱要素からプロセスガスを隔離して、金属汚染を防ぎ、デバイスの信頼性を向上させます。
太陽光発電産業
PERC/Topcon細胞生産:ホウ素拡散やリン拡散などのドーピングプロセスに使用されます。M10/G12の大規模なサイズのシリコンウェーファーに適した大きな直径の設計で、単一チューブの生産能力を向上させます。
PECVDコーティング:クォーツベルジャーとして、アモルファスシリコン/窒化シリコンフィルムの均一性が保証されます。
LEDおよび表示テクノロジー
MOCVD(金属有機化学蒸着):GANベースのLEDチップ生産の反応チャンバーのコア成分として、高温および高圧環境に耐性があり、機器のメンテナンスサイクルを拡張します。
研究と特別な実験
高温材料合成:ナノマテリアル、量子ドットなどの高温焼結をサポートし、不活性雰囲気で、透明性により、現場の特性評価(ラマン分光法分析など)が促進されます。
光学デバイスのテスト:高温環境の光学ウィンドウとして、レーザー結晶と繊維のプレフォームの準備とテストに使用されます。
典型的な問題解決策:
プロセス汚染: 高純度石英材料は金属イオンの沈殿を回避し、デバイスの漏れ電流を減らします。
熱応力亀裂: 低熱膨張係数とアニーリングプロセスを組み合わせて、チューブ本体の残留応力を排除します。
容量のボトルネック: 大きな直径の設計により、シングルバッチウェーハの負荷の量が減り、生産効率が30%以上向上します。
カスタマイズされたサービス
さまざまな顧客の差別化されたニーズを満たすために、次のカスタマイズオプションを提供します。
サイズと形状のカスタマイズ
必要に応じて直径と長さを調整します(最小内径20mm、最大長3000mm)。
不規則なパイプの設計(テーパーパイプやフランジ付きエンドキャップ付きパイプなど)をサポートします。
表面処理プロセス
研磨処理:内壁の粗さRa≤0.2μm、粒子接着の減少。
コーティングサービス:オプションのARコーティングまたは耐腐食性コーティングは、サービスの寿命を延ばします。
統合ソリューション
クォーツブラケット、観測窓、その他のアクセサリーをサポートして、 '炉チューブ+フィクスチャ'の統合配信を実現します。
熱シミュレーション分析サービスを提供し、パイプ構造を最適化して、顧客炉の設計に合わせます。
高性能材料と精密製造技術を備えた透明な大口径石英炉チューブは、高温プロセスに安定した信頼できるソリューションを提供します。カスタマイズされたサービスとフルライフサイクルのテクニカルサポートを通じて、顧客が生産能力の制限を突破し、製品の収穫量を改善し、半導体や太陽光発電などのハイエンド製造分野で競争上の優位性を維持するのを支援しています。
Luverre Quartzは 、融合シリカチューブ、融合シリカプレート、融合シリカロッド、融合シリカ窓、融合シリカクチブスト、融合シリカボート、融合シリカフランジ、融合シリカビーカー、融合シリカガラス装置などを含む、幅広い高品質の融合シリカガラスを製造および販売しています。融合シリカガラス製品のあらゆる種類のカスタマイズされた要件を満たすことができます。
詳細については、お気軽にお問い合わせください。
なぜ私たちを選ぶのですか?
1.私たちはより経験豊富です。
融合シリカアイテムの18年以上の生産経験があります。
2.私たちはより効率的です。
24時間以内に顧客のリクエストに返信し、高効率の生産、エンジニア、販売チームがあります。
3.私たちの品質がより保証されています。
融合したシリカランプから融合シリカ砂、融合したシリカ製品まで品質を制御します。他の製造業者よりも優れた、より厳格な品質管理があります。
4.私たちは、より困難な融合シリカ製品を生産することができます。
大規模な研削プラットフォームと精密エッチングマシンがあり、融合シリカプレート、チューブ、高サイズの精度融合シリカアイテムの大規模なサイズを生産できます。