Transparentes Quarzofenrohr mit großem Durchmesser

Transparenter großer Durchmesser Quarzofenrohr ist ein röhrenförmiges Quarzglasprodukt aus hochreinem Naturkristall oder Quarzsand, das bei hoher Temperatur geschmolzen und präzise verarbeitet wird. Seine Hauptmerkmale sind „hohe Reinheit“, „großer Durchmesser“ und „hervorragende thermische Leistung“, was es zu einem unverzichtbaren Grundverbrauchsmaterial in High-End-Wärmebehandlungsprozessen macht, insbesondere bei der Herstellung integrierter Halbleiterschaltkreise (IC) und der Produktion von Solar-Photovoltaikzellen.

Unsere Produktpalette umfasst verschiedene Spezifikationen von 6 Zoll (ca. 150 mm) bis 12 Zoll (3000 mm) und sogar noch größer. Die Länge kann entsprechend den Prozessanforderungen des Kunden angepasst werden, mit gleichmäßiger Wandstärke und hoher Innenoberflächenbeschaffenheit, wodurch Konsistenz und Zuverlässigkeit des Prozesses gewährleistet werden.

Kernfunktionen:

Design mit großem Durchmesser: Der Durchmesserbereich reicht von 50 mm bis 500 mm und erfüllt die Anforderungen einer Großproduktion oder spezieller Experimente.

Hohe Transparenz: Mit einer Durchlässigkeit von über 90 % im ultravioletten bis infraroten Bereich (200–2500 nm) gewährleistet es eine visuelle Überwachung des Herstellungsprozesses;

Hohe Temperaturbeständigkeit: Kann in einer Umgebung von 1100 °C lange Zeit stabil arbeiten und kurzfristig hohen Temperaturen von 1300 °C standhalten;

Niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient: ausgezeichnete thermische Stabilität, wodurch das Risiko einer Verformung bei hohen Temperaturen verringert wird;

Chemische Inertheit: Beständig gegen Säure- und Alkalikorrosion, Vermeidung von Reaktionen mit Prozessgasen wie Cl₂, NH∝.

Dieses Produkt gewährleistet die Gleichmäßigkeit der Rohrwand (± 0,1 mm) durch Präzisionsbearbeitungsprozesse wie kaltisostatisches Pressen und Gasschmelztechnologie und löst so effektiv das Problem der verringerten Prozessausbeute, die durch ungleichmäßige Erwärmung herkömmlicher Ofenrohre verursacht wird.

Anwendungsszenarien

Transparente Quarzofenrohre mit großem Durchmesser und ihren einzigartigen Eigenschaften sind zu Schlüsselkomponenten in den folgenden Bereichen geworden:

Halbleiterfertigung

Epitaxie: Als CVD-Reaktionskammer (chemische Gasphasenabscheidung) erfolgt die Abscheidung epitaktischer Schichten wie Si und GaAs mit hoher Transparenz für die Echtzeitbeobachtung der Filmgleichmäßigkeit.

Diffusions-/Oxidationsprozess: Isolieren Sie das Prozessgas vom Heizelement in einem Hochtemperatur-Diffusionsofen, um Metallverunreinigungen zu verhindern und die Gerätezuverlässigkeit zu verbessern.

Photovoltaik-Industrie

PERC/TOPCon-Zellenproduktion: Wird für Dotierungsprozesse wie Bordiffusion und Phosphordiffusion verwendet, mit einem Design mit großem Durchmesser, das für große M10/G12-Siliziumwafer geeignet ist, um die Produktionskapazität einzelner Röhren zu verbessern.

PECVD-Beschichtung: Als Quarzglocke sorgt sie für die gleichmäßige Abscheidung des amorphen Silizium-/Siliziumnitridfilms.

LED- und Display-Technologie

MOCVD (Metal Organic Chemical Vapour Deposition): Als Kernkomponente der Reaktionskammer bei der GaN-basierten LED-Chip-Produktion ist es beständig gegen Umgebungen mit hohen Temperaturen und hohem Druck und verlängert die Wartungszyklen der Geräte.

Forschung und spezielle Experimente

Hochtemperatur-Materialsynthese: Unterstützt das Hochtemperatur-Sintern von Nanomaterialien, Quantenpunkten usw. in einer inerten Atmosphäre und die Transparenz erleichtert die In-situ-Charakterisierung (z. B. Raman-Spektroskopie-Analyse).

Prüfung optischer Geräte: Als optisches Fenster in Hochtemperaturumgebungen wird es zur Vorbereitung und Prüfung von Laserkristallen und Faservorformen verwendet.

Typische Problemlösungen:

Prozessverschmutzung: Hochreines Quarzmaterial verhindert die Ausfällung von Metallionen und reduziert den Leckstrom des Geräts.

Thermische Spannungsrisse: Kombination eines niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten mit einem Glühprozess, um Restspannungen im Rohrkörper zu beseitigen;

Kapazitätsengpass: Das Design mit großem Durchmesser reduziert die Anzahl der Waferladungen einzelner Chargen und verbessert die Produktionseffizienz um mehr als 30 %.

Maßgeschneiderter Service

Um den differenzierten Bedürfnissen unterschiedlicher Kunden gerecht zu werden, bieten wir folgende Individualisierungsmöglichkeiten an:

Anpassung von Größe und Form

Passen Sie den Durchmesser und die Länge nach Bedarf an (minimaler Innendurchmesser 20 mm, maximale Länge 3000 mm);

Unterstützen Sie die Konstruktion unregelmäßiger Rohre (z. B. konischer Rohre und Rohre mit Flanschendkappen).

Oberflächenbehandlungsprozess

Polierbehandlung: Innenwandrauheit Ra ≤ 0,2 μm, wodurch die Partikelhaftung verringert wird;

Beschichtungsservice: Optionale AR-Beschichtung oder korrosionsbeständige Beschichtung zur Verlängerung der Lebensdauer.

Integrierte Lösung

Unterstützung von Quarzhalterungen, Beobachtungsfenstern und anderem Zubehör zur Erzielung einer integrierten Lieferung von „Ofenrohr + Halterung“;

Bieten Sie thermische Simulationsanalysedienste an und optimieren Sie die Rohrstruktur entsprechend dem Ofendesign des Kunden.

Das transparente Quarzofenrohr mit großem Durchmesser mit Hochleistungsmaterialien und Präzisionsfertigungstechnologie als Kern bietet eine stabile und zuverlässige Lösung für Hochtemperaturprozesse. Durch maßgeschneiderte Dienstleistungen und technischen Support über den gesamten Lebenszyklus helfen wir unseren Kunden, Einschränkungen der Produktionskapazität zu überwinden, die Produktausbeute zu verbessern und einen Wettbewerbsvorteil in High-End-Fertigungsbereichen wie Halbleitern und Photovoltaik zu wahren.

Luverre Quartz produziert und vertreibt eine breite Palette hochwertiger Quarzglasgläser, darunter Quarzglasrohre, Quarzglasplatten, Quarzglasstäbe, Quarzglasfenster, Quarzglastiegel, Quarzglasboote, Quarzglasflansche, Quarzglasbecher, Quarzglasinstrumente und mehr. Wir können alle Arten von individuellen Anforderungen an Quarzglasprodukte erfüllen.

Für weitere Informationen können Sie uns gerne kontaktieren.

Warum uns wählen?

1.Wir sind erfahrener.

Wir verfügen über mehr als 18 Jahre Erfahrung in der Produktion von Quarzglasartikeln.

2.Wir sind effizienter.

Wir beantworten Kundenanfragen innerhalb von 24 Stunden und verfügen über ein hocheffizientes Produktions-, Ingenieur- und Vertriebsteam.

3. Unsere Qualität ist garantierter.

Wir kontrollieren die Qualität von Quarzglasklumpen über Quarzglassand bis hin zu Quarzglasprodukten. Wir haben eine bessere und strengere Qualitätskontrolle als andere Hersteller.

4.Wir sind in der Lage, schwierigere Quarzglasprodukte herzustellen.

Wir verfügen über große Schleifplattformen und Präzisionsätzmaschinen, die es uns ermöglichen, großformatige Quarzglasplatten, -rohre und hochformatige Präzisionsquarzglasartikel herzustellen.