JGS1-Quarzglas mit hoher optischer Gleichmäßigkeit

JGS1-Quarzglas mit hoher optischer Gleichmäßigkeit ist ein transparentes Material der Spitzenklasse, das speziell für optische High-End-Systeme entwickelt wurde, mit extrem geringer Ungleichmäßigkeit des Brechungsindex (Δ n ≤ 1 × 10 ⁻⁶) und ausgezeichneter spektraler Durchlässigkeit. Als weltweit führender Hersteller von maßgeschneiderten Quarzprodukten halten sich unsere Produkte der Güteklasse JGS1 strikt an internationale Standards und eliminieren Wellenfrontverzerrungen perfekt. Sie sind wesentliche Kernsubstrate in den Bereichen Tief-Ultraviolett-Lithographie, Hochenergielaser und Präzisionsinterferometrie.

Häufig gestellte Fragen (FAQ)

F1: Was sind die wesentlichen Unterschiede in den optischen Eigenschaften zwischen JGS1-Quarzglas und gewöhnlichem Quarzglas?

A: JGS1 gehört zu synthetischem Quarzglas und sein Hauptvorteil liegt in seiner extrem hohen chemischen Reinheit und optischen Gleichmäßigkeit. Im Vergleich zu natürlichem Quarz oder minderwertigem Quarzglas weist JGS1 eine höhere Durchlässigkeit im Bereich von 185 nm bis 2500 nm auf und weist sehr wenige innere Blasen und Verunreinigungen auf. Das Wichtigste ist, dass die Ungleichmäßigkeit des Brechungsindex auf ein Millionstel kontrolliert wird, wodurch Wellenfrontverzerrungen durch den Durchgang von Lichtstrahlen, die mit gewöhnlichem Quarz nicht zu vergleichen sind, wirksam vermieden werden können.

F2: Kann Ihr Unternehmen eine maßgeschneiderte Verarbeitung von JGS1-Quarz mit nicht standardmäßigen Größen oder speziellen Oberflächenformen anbieten?

A: Absolut möglich. Als professioneller Hersteller kundenspezifischer Quarzprodukte bieten wir Kunden weltweit umfassende kundenspezifische Dienstleistungen an. Ob es sich um optische Fenster mit extrem großer Apertur, unregelmäßige Prismen oder Linsensubstrate mit extrem hohen Anforderungen an die Oberflächengenauigkeit handelt, wir können sie gemäß Kundenzeichnungen schneiden, schleifen, polieren und beschichten, mit Toleranzkontrolle bis in den Nanometerbereich.

F3: Wie hoch ist die Schadenswiderstandsschwelle von JGS1-Material in einer Umgebung mit tiefem Ultraviolett (DUV)?

A: JGS1-Quarzglas weist aufgrund seines niedrigen Hydroxylgehalts und seiner dichten Struktur eine hervorragende Beständigkeit gegen Laserschäden auf. Bei Wellenlängen von 193 nm (ArF-Excimer-Laser) und 248 nm (KrF-Excimer-Laser) liegen sowohl die Körperschädigungsschwelle als auch die Oberflächenschädigungsschwelle auf dem branchenweit führenden Niveau, wodurch es sich sehr gut für Laseranwendungsumgebungen mit hoher Leistung und hoher Wiederholrate eignet.

F4: Wie kann die optische Einheitlichkeit und Konsistenz von in großen Mengen gekauften Produkten sichergestellt werden?

A: Wir wenden fortschrittliche Testprozesse an und jede Charge von JGS1-Produkten, die das Werk verlässt, wird einem hochpräzisen Interferometertest (z. B. Zygo-Interferometer) unterzogen und liefert detaillierte Testberichte (einschließlich Brechungsindexverteilungskarte, Spannungsdoppelbrechungsdaten usw.). Unser Qualitätsmanagementsystem stellt sicher, dass jeder Schritt vom Schmelzen des Rohmaterials bis zum abschließenden Polieren kontrollierbar ist und sorgt so für eine einheitliche globale Produktlieferung.

Für Benutzer, die sich mit der Forschung und Herstellung von Präzisionsoptiken befassen, sind „Wellenfrontverzerrung“ und „Energieverlust“ die beiden größten Probleme. Die geringen Dichteschwankungen in gewöhnlichen optischen Materialien können zu einer Divergenz des Laserstrahls oder Bildunschärfen führen, wodurch die Systemauflösung direkt verringert wird. Die Absorption von Verunreinigungen kann zu einem thermischen Linseneffekt und sogar zu einer Materialexplosion unter Hochleistungslasern führen.

Unser JGS1-Quarzglas mit hoher optischer Gleichmäßigkeit wurde entwickelt, um diese Probleme zu lösen:

Lösung des Problems der Bildverzerrung: Die ultimative Gleichmäßigkeit des Brechungsindex stellt sicher, dass beim Durchgang des Strahls kein Phasenfehler auftritt, und gewährleistet so die maximale Auflösung von Lithographiemaschinen, Teleskopen und anderen Systemen.

Bewältigung leistungsstarker thermischer Effekte: Der extrem niedrige Absorptionskoeffizient minimiert den Temperaturanstieg des Materials unter energiereicher Laserbestrahlung und sorgt so für die Stabilität des optischen Systems.

Bewältigung der Anpassungsherausforderungen: Durchbrechen der Einschränkungen von Standardteilen, Bereitstellung von kundenspezifischen Anpassungen aus einer Hand vom Rohmaterial bis zu fertigen Komponenten, Verkürzung des Forschungs- und Entwicklungszyklus.

Ultimative optische Leistungsindikatoren

Spektrale Durchlässigkeit: Die durchschnittliche Durchlässigkeit beträgt> 90 % im Bereich von 185 nm bis 2500 nm, insbesondere im tiefen Ultraviolettbereich.

Optische Gleichmäßigkeit: Δ n ≤ 1 × 10 ⁻⁶, was eine minimale Wellenfrontverzerrung gewährleistet und die Anforderungen der Lithographie im extremen Ultraviolett (EUV) und tiefen Ultraviolett (DUV) erfüllt.

Niedrige Spannungsdoppelbrechung: <5 nm/cm, geeignet für polarisationsempfindliche optische Systeme.

Weit verbreitete Szenarien

Halbleiterlithographieausrüstung: Wird als Projektionsobjektivlinsengruppe, Maskensubstrat und Beleuchtungssystemlinse verwendet.

Hochenergie-Lasersystem: Wird für Laserstrahlaufweiter, Fokussierungsspiegel, Ausgangskopplungsspiegel und Trägheitseinschluss-Fusionsgerät verwendet.

Präzisionsmessung und -prüfung: Interferometer-Referenzspiegel, hochpräzise optische Plattform, Hauptspiegelrohling für astronomische Teleskope.

Luft- und Raumfahrtoptik : Nutzlastlinsen für Satelliten, Fenster für Weltraumfernerkundungsinstrumente, tolerant gegenüber extremen Temperaturunterschieden und Strahlung.

Globale Anpassungsservicefähigkeit

Wir sind uns der strengen Anforderungen an Spezifikationen und Größen in verschiedenen Anwendungsszenarien bewusst. Wir stützen uns auf moderne Kaltverarbeitungs- und Warmumformanlagen und bieten:

Größenanpassung: Verschiedene Scheiben, Blöcke und unregelmäßige Teile mit Durchmessern von 10 mm bis 600 mm+.

Oberflächengenauigkeit: Es kann Ebenheit und Sphärizität mit einer Genauigkeit von λ/20 bei 632,8 nm oder einer noch höheren Genauigkeit liefern.

Oberflächenbehandlung: einschließlich ultraglattes Polieren, Antireflexfilm (AR), Film mit hohem Reflexionsvermögen (HR) und maßgeschneiderte Beschichtungsdienste für Spektralfilme.

Typische Anwendungsfallanalyse

Fall 1: Ein bekanntes Observatorium (wird zur Kalibrierung großer Teleskope verwendet)

Beim Bau eines astronomischen Teleskops mit großer Apertur benötigte das Forschungsteam ein optisches Fenster mit hoher Gleichmäßigkeit mit einem Durchmesser von 450 mm und einer Dicke von 40 mm als Bildfeldkorrekturspiegel für den Hauptfokus des Teleskops. Das Material muss eine extrem hohe Durchlässigkeit im sichtbaren bis nahinfraroten Wellenlängenbereich aufweisen und die Wellenfrontverzerrung bei voller Apertur sollte weniger als λ/6 betragen. Der durch das CVD-Verfahren hergestellte JGS1-Rohling mit hoher Gleichmäßigkeit wurde einem Präzisionsschleifen und Beschichten unterzogen, und das gelieferte Endprodukt wies bei Abnahmetests eine Wellenfrontverzerrung bei voller Apertur auf, die besser als λ/8 war, was dazu beitrug, dass das Teleskop eine klarere Weltraumabbildung erhielt.

Fall 2: Ein Forschungsinstitut für Hochenergiephysik in Europa – Laserübertragungsfenster für Trägheitsfusion

Kundenhintergrund

Das Forschungsinstitut baut ein groß angelegtes Laserfusions-Versuchsgerät, das ein Vakuumfenstermaterial mit großem Durchmesser (Φ 300 mm) erfordert, um dem synchronen Beschuss mehrerer hochenergetischer Laserstrahlen standzuhalten.

vor Herausforderungen stehen

Herkömmliche Quarzfenster sind bei hohen Energiedichten anfällig für thermische Linseneffekte, die zu einer Fokusdrift führen. Darüber hinaus ist es bei großformatigen Materialien schwierig, eine allgemeine optische Gleichmäßigkeit sicherzustellen, und sie sind anfällig für lokale Hotspots, die Explosionen verursachen können.

Lösung

Wir haben unsere einzigartige großformatige Schmelztechnologie für synthetischen Quarz genutzt, um JGS1-Platten mit großem Durchmesser für unsere Kunden herzustellen, die frei von Streifen und Blasen sind.

Gleichmäßigkeitskontrolle: Durch einen speziellen Glühprozess werden Eigenspannungen im Inneren großformatiger Bleche beseitigt, um Δ n ≤ 1 × 10 ⁻⁶ sicherzustellen.

Optimierung der Schadensschwelle: Die Oberfläche wurde einer Superreinigung und einer speziellen Beschichtungsbehandlung unterzogen, wodurch die Laserzerstörschwelle auf 15 J/cm ⊃2 erhöht wurde; (10 ns, 1064 nm).

Anwendungswirksamkeit

Dieses Fenster hat in mehreren Schießexperimenten mit voller Leistung eine stabile Leistung gezeigt, ohne thermische Verformung oder Beschädigung, wodurch die Genauigkeit der experimentellen Daten und der sichere Betrieb des Geräts wirksam gewährleistet werden. Der Kunde bewertete unser Produkt als den Zulassungsstandards führender internationaler Labore entsprechend.

Ganz gleich, ob Sie eine hochpräzise Prototypenverifizierung eines einzelnen Stücks oder eine Massenbeschaffung in großem Maßstab benötigen, wir sind bereit, Ihnen die professionellste JGS1-Quarzglas-Anpassungslösung anzubieten. Bitte kontaktieren Sie unser globales Vertriebsteam für kostenlose technische Beratung und Preisgestaltung.

Luverre Quartz produziert und vertreibt eine breite Palette hochwertiger Quarzgläser, darunter Quarzrohre, Quarzplatten, Quarzstäbe, Quarzfenster, Quarztiegel, Quarzschiffchen, Quarzflansche, Quarzbecher, Quarzglasinstrumente und mehr. Wir können alle Arten von individuellen Anforderungen an Quarzglasprodukte erfüllen.