Como material con excelentes propiedades físicas y químicas, alta pureza Los tubos de cuarzo juegan un papel crucial en la fabricación de semiconductores, especialmente en la tecnología de deposición química de vapor (PECVD) mejorada por plasma.

Características del tubo de cuarzo de alta pureza

El componente principal de los tubos de cuarzo de alta pureza es el dióxido de silicio (SIO2), que se puede obtener a través de un proceso especial de preparación de materiales.

Este material tiene las siguientes propiedades significativas:

Alta pureza: reduce efectivamente el contenido de impureza en el proceso de fabricación de semiconductores, mejorando el rendimiento y la estabilidad del dispositivo.

Estabilidad de alta temperatura: puede soportar temperaturas de hasta 1200 ° C, y no es propenso a la deformación o agrietamiento a altas temperaturas, asegurando la confiabilidad y estabilidad del proceso de fabricación.

Resistencia a la corrosión: tiene una excelente resistencia ácida y álcali, resistencia a la oxidación y resistencia a la corrosión, y puede funcionar en varios ambientes hostiles, como ácidos fuertes, álcalis fuertes y gases altamente oxidantes, protegiendo efectivamente los dispositivos semiconductores.

Propiedades ópticas excepcionales: tiene una buena transmitancia de luz y puede penetrar la mayoría de los espectros ultravioleta, visible e infrarrojo cercano, que proporciona materiales ópticos de alta calidad para la fabricación de dispositivos semiconductores.

Introducción a la tecnología PECVD

PECVD (deposición de vapor químico mejorado en plasma) es una tecnología de deposición de película delgada comúnmente utilizada en la industria de semiconductores. Combina los principios básicos de la deposición de vapor químico (CVD) con tecnología de plasma para producir películas delgadas de alta calidad y controlar con precisión sus propiedades. En comparación con la tecnología CVD tradicional, PECVD utiliza el plasma para mejorar la eficiencia de la deposición, lo que permite la deposición del material a temperaturas más bajas.

En el proceso PECVD, un plasma de baja temperatura bajo baja presión desencadena una descarga de brillo en el cátodo de la cámara de deposición. La muestra se calienta a una temperatura establecida mediante un dispositivo de calentamiento, y se introduce una cantidad específica de gas de proceso. Estos gases experimentan varias reacciones químicas bajo la acción del plasma y finalmente forman una película delgada sólida en la superficie de la muestra.

Aplicación de tubo de cuarzo de alta pureza en PECVD

Material de la pared de la cámara de reacción:

El El tubo de cuarzo de alta pureza se puede usar como material de pared de la cámara de reacción en el proceso PECVD. Debido a su excelente resistencia a la corrosión y estabilidad de alta temperatura, puede resistir bien la erosión de la alta temperatura y el gas corrosivo, y garantizar la pureza y precisión de la cámara de reacción.

Electrodos y calentadores:

En los sistemas PECVD, los tubos de cuarzo de alta pureza también se pueden usar como electrodos y calentadores. Sus buenas propiedades eléctricas y su estabilidad de alta temperatura le permiten trabajar de manera estable en un campo eléctrico alto y ambientes de alta temperatura, lo que garantiza el progreso suave del proceso de deposición.

Material de la ventana:

Los tubos de cuarzo de alta pureza también se pueden usar como materiales de ventana en procesos de implantación de iones. En el proceso PECVD, los materiales de ventana deben proteger la resistencia al vacío y la corrosión del equipo, y los tubos de cuarzo de alta pureza simplemente cumplen con estos requisitos.

Mejorar la eficiencia y la calidad de la deposición:

Debido a la excelente transmitancia de luz de los tubos de cuarzo de alta pureza, se puede garantizar la distribución uniforme y la reacción suficiente del gas de reacción en el plasma, mejorando así la eficiencia de deposición. Al mismo tiempo, el uso de materiales de alta pureza también reduce la influencia de las impurezas en la calidad de la película, mejorando la uniformidad y el rendimiento de la película.

La importancia de reemplazar regularmente los tubos de cuarzo

Durante el proceso PECVD, una capa de SINX y otras sustancias precipitará en la pared exterior del tubo de cuarzo a medida que aumenta el tiempo de servicio. Esta capa de sedimento afectará el efecto de excitación del tubo de cuarzo, lo que a su vez afecta la calidad y la eficiencia de la película depositada. Por lo tanto, el reemplazo regular de los tubos de cuarzo de alta pureza es una medida importante para garantizar la estabilidad del proceso PECVD y la calidad de la película.

La aplicación del tubo de cuarzo de alta pureza en la tecnología PECVD es de importancia insustituible. Sus excelentes propiedades físicas y químicas le permiten funcionar de manera estable a alta temperatura, campo eléctrico alto y entorno corrosivo, asegurando el progreso suave del proceso de deposición y la alta calidad de la película.

Luverre Quartz es un fabricante especializado en tubos de cuarzo y otros artículos de cuarzo. Tenemos más de 18 años de experiencia con la producción de tubos de cuarzo, seremos su socio confiable en tubos de cuarzo y otros artículos de cuarzo.

Luverre Quartz puede fabricar tubos de cuarzo personalizados en varias formas, como espiral, cuadrada, redonda, con procesamiento que incluye corte, flexión, soldadura, etc., y disponibles en diferentes colores, como tubos de cuarzo transparentes, tubos de cuarzo opaco, tubos de cuarzo blanco, tubos de cuarzo rojo, y así sucesivamente.