Как материал с превосходными физическими и химическими свойствами, высокая чистота Кварцевые трубки играют решающую роль в производстве полупроводников, особенно в технологии химического отложения химического пары (PECVD) с усиленным плазмом (PECVD).

Характеристики кварцевой трубки высокой чистоты

Основным компонентом кварцевых трубок с высокой точкой является диоксид кремния (SIO2), который может быть получен в рамках специального процесса подготовки материала.

Этот материал обладает следующими значительными свойствами:

Высокая чистота: эффективно снижает содержание примесей в процессе производства полупроводников, улучшая производительность и стабильность устройства.

Высокотемпературная стабильность: может выдерживать температуру до 1200 ° C и не подвержена деформации или растрескиванию при высоких температурах, обеспечивая надежность и стабильность производственного процесса.

Коррозионная устойчивость: он обладает превосходной устойчивостью к кислоте и щелочи, устойчивости к окислению и коррозионной устойчивостью и может работать в различных суровых условиях, таких как сильные кислоты, сильные щелочи и высоко окисляющие газы, эффективно защищая полупроводниковые устройства.

Исключительные оптические свойства: он обладает хорошим световым пропусканием и может проникнуть в большую часть ультрафиолетовых, видимых и ближних инфракрасных спектра, обеспечивая высококачественные оптические материалы для изготовления полупроводниковых устройств.

Введение в технологию PECVD

PECVD (Улучшенное химическое осаждение паров в плазме) представляет собой технологию тонкоплентного осаждения, обычно используемая в полупроводниковой промышленности. Он сочетает в себе основные принципы химического осаждения паров (CVD) с плазменной технологией для производства высококачественных тонких пленок и точно контролировать их свойства. По сравнению с традиционной технологией сердечно -сосудистых заболеваний PECVD использует плазму для повышения эффективности осаждения, что позволяет осадить материал при более низких температурах.

В процессе PECVD низкотемпературная плазма при низком давлении запускает светящийся разряд в катоде камеры осаждения. Образец нагревается до установленной температуры с помощью нагревательного устройства, и вводится определенное количество процесса газа. Эти газы подвергаются различным химическим реакциям под действием плазмы и, наконец, образуют твердую тонкую пленку на поверхности образца.

Применение кварцевой трубки высокой чистоты в PECVD

Материал стенки реакции камера:

А Кварцевая трубка высокой чистоты может использоваться в качестве материала стенки реакционной камеры в процессе PECVD. Из -за превосходной коррозионной устойчивости и высокой температурной стабильности он может хорошо противостоять эрозии высокой температуры и коррозийного газа и обеспечить чистоту и точность реакционной камеры.

Электроды и обогреватели:

В системах PECVD, кварцевые трубки с высокой чистотой также могут использоваться в качестве электродов и обогревателей. Его хорошие электрические свойства и высокая температурная стабильность позволяют ему стабильно работать в высоких электрических и высоких температурных средах, обеспечивая плавную прогресс процесса осаждения.

Университетский материал:

Кварцевые трубки с высокой точкой также могут использоваться в качестве оконных материалов в процессах ионной имплантации. В процессе PECVD необходимо защищать вакуумную и коррозионную стойкость оборудования, а кварцевые трубки с высокой чистотой пробелкой просто соответствуют этим требованиям.

Повысить эффективность и качество осаждения:

Из-за превосходного светового пропускания кварцевых трубок высокой чистоты можно обеспечить однородное распределение и достаточная реакция реакционного газа в плазме, тем самым повышая эффективность осаждения. В то же время использование материалов с высокой точкой также уменьшает влияние примесей на качество фильма, улучшая однородность и производительность фильма.

Важность регулярной замены кварцевых трубок

Во время процесса PECVD слой SINX и других веществ будет осаждать на внешней стенке кварцевой трубки, когда время обслуживания увеличивается. Этот слой осадка повлияет на эффект возбуждения кварцевой трубки, что, в свою очередь, влияет на качество и эффективность депонированной пленки. Следовательно, регулярная замена кварцевых трубок с высокой точкой является важной мерой для обеспечения стабильности процесса PECVD и качества пленки.

Применение кварцевой трубки высокой чистоты в технологии PECVD имеет незаменимое значение. Его превосходные физические и химические свойства позволяют ему стабильно работать в высокой температуре, высоком электрическом поле и коррозийной среде, обеспечивая плавный прогресс процесса осаждения и высокое качество пленки.

Luverre Quartz - это производитель, специализирующийся на кварцевых трубках и других кварцах. У нас более 18 лет работы с производством кварцевых трубок, мы будем вашим надежным партнером по кварцевым трубкам и другим кварцевым предметам.

Luverre Quartz может производить индивидуальные кварцевые трубки в различных формах, таких как спираль, квадратная, круглая, с обработкой, включая резку, изгиб, сварку и т. Д., И доступны в различных цветах, таких как прозрачные кварцевые трубки, непрозрачные кварцевые трубки, молочные белые кварцевые трубки, красные кварцевые трубки и т. Д.