كمواد ذات خصائص مادية وكيميائية ممتازة ، وعالية النقاء تلعب أنابيب الكوارتز دورًا حاسمًا في تصنيع أشباه الموصلات ، خاصة في تقنية ترسب البخار الكيميائي المحسّن بالبلازما (PECVD).

خصائص أنبوب الكوارتز عالي النقاء

المكون الرئيسي لأنابيب الكوارتز عالية النقاء هو ثاني أكسيد السيليكون (SIO2) ، والذي يمكن الحصول عليه من خلال عملية إعداد المواد الخاصة.

هذه المادة لها خصائص مهمة التالية:

نقاء عالية: يقلل بشكل فعال من محتوى الشوائب في عملية تصنيع أشباه الموصلات ، مما يحسن أداء الجهاز واستقراره.

ثبات درجات الحرارة العالية: يمكن أن تصمد أمام درجات حرارة تصل إلى 1200 درجة مئوية ، وليس عرضة للتشوه أو التكسير في درجات حرارة عالية ، مما يضمن موثوقية واستقرار عملية التصنيع.

مقاومة التآكل: لديها مقاومة حمض وقلوية ممتازة ، ومقاومة الأكسدة ، ومقاومة التآكل ، ويمكن أن تعمل في بيئات مختلفة مثل الأحماض القوية ، والقلويات القوية ، والغازات ذات المؤكسدة الشديدة ، وحماية أجهزة أشباه الموصلات بشكل فعال.

الخصائص البصرية الاستثنائية: لديها نقل إضاءة جيد ويمكن أن تخترق معظم أطياف الأشعة فوق البنفسجية ، المرئية ، والقريبة من الأشعة تحت الحمراء ، مما يوفر مواد بصرية عالية الجودة لتصنيع أجهزة أشباه الموصلات.

مقدمة لتكنولوجيا PECVD

PECVD (ترسب البخار الكيميائي المحسن في البلازما) هي تقنية رقيقة لترسب الأفلام شائعة الاستخدام في صناعة أشباه الموصلات. فهو يجمع بين المبادئ الأساسية لترسب البخار الكيميائي (CVD) مع تكنولوجيا البلازما لإنتاج أفلام رقيقة عالية الجودة والتحكم بدقة في خصائصها. بالمقارنة مع تقنية الأمراض القلبية الوعائية التقليدية ، يستخدم PECVD البلازما لتحسين كفاءة الترسيب ، مما يتيح ترسب المواد في درجات حرارة أقل.

في عملية PECVD ، تؤدي البلازما منخفضة الحرارة تحت الضغط المنخفض إلى تفريغ توهج عند كاثود غرفة الترسيب. يتم تسخين العينة إلى درجة حرارة محددة بواسطة جهاز تسخين ، ويتم إدخال كمية محددة من الغاز العملية. تخضع هذه الغازات إلى تفاعلات كيميائية مختلفة تحت عمل البلازما ، وأخيراً تشكل فيلمًا رفيعًا صلبًا على سطح العينة.

تطبيق أنبوب الكوارتز عالية النقاء في PECVD

مادة جدار غرفة التفاعل:

ال يمكن استخدام أنبوب الكوارتز عالي النقاء كمواد جدار لغرفة التفاعل في عملية PECVD. نظرًا لمقاومة التآكل الممتازة واستقرار درجة الحرارة العالية ، يمكن أن تقاوم تآكل درجة الحرارة العالية والغاز التآكل ، وضمان نقاء ودقة غرفة التفاعل.

الأقطاب الكهربائية والسخانات:

في أنظمة PECVD ، يمكن أيضًا استخدام أنابيب الكوارتز عالية الطهارة كأقطاب وسخانات. تمكن خصائصه الكهربائية الجيدة واستقرار درجة الحرارة العالية من العمل بشكل ثابت في مجال كهربائي مرتفع وبيئات درجات الحرارة العالية ، مما يضمن التقدم السلس لعملية الترسيب.

مادة النافذة:

يمكن أيضًا استخدام أنابيب الكوارتز عالية النقاء كمواد نافذة في عمليات زرع أيون. في عملية PECVD ، تحتاج مواد النوافذ إلى حماية الفراغ والتآكل المقاومة للمعدات ، وأنابيب الكوارتز عالية النقاء تلبي هذه المتطلبات.

تحسين كفاءة الترسب وجودة:

نظرًا لانتقال الضوء الممتاز للأنابيب الكوارتز عالية النقاء ، يمكن ضمان التوزيع الموحد وتفاعل كافي لغاز التفاعل في البلازما ، وبالتالي تحسين كفاءة الترسب. في الوقت نفسه ، يقلل استخدام المواد عالية النقاء أيضًا من تأثير الشوائب على جودة الفيلم ، مما يؤدي إلى تحسين توحيد الفيلم وأداءه.

أهمية استبدال أنابيب الكوارتز بانتظام

أثناء عملية PECVD ، ستترسب طبقة من SINX والمواد الأخرى على الجدار الخارجي لأنبوب الكوارتز مع زيادة وقت الخدمة. ستؤثر هذه الطبقة من الرواسب على تأثير الإثارة لأنبوب الكوارتز ، والذي بدوره يؤثر على جودة وكفاءة الفيلم المودع. لذلك ، يعد الاستبدال المنتظم لأنابيب الكوارتز عالية النقاء مقياسًا مهمًا لضمان استقرار عملية PECVD وجودة الفيلم.

إن تطبيق أنبوب الكوارتز عالي النقاء في تقنية PECVD له أهمية لا يمكن الاستغناء عنها. تمكنها خصائصها الفيزيائية والكيميائية الممتازة من العمل بشكل ثابت في درجة حرارة عالية ، وحقل كهربائي مرتفع وبيئة تآكل ، مما يضمن التقدم السلس لعملية الترسيب والجودة العالية للفيلم.

Luverre Quartz هي شركة تصنيع متخصصة في أنابيب الكوارتز وغيرها من عناصر الكوارتز. لدينا أكثر من 18 عامًا من الخبرة في إنتاج أنابيب الكوارتز ، سنكون شريكك الموثوق به على أنابيب الكوارتز وغيرها من عناصر الكوارتز.

يمكن لـ Luverre Quartz تصنيع أنابيب الكوارتز المخصصة في أشكال مختلفة ، مثل الحلزوني ، المربع ، الدائري ، مع المعالجة بما في ذلك القطع ، الانحناء ، اللحام ، وما إلى ذلك ، ومتوفرة بألوان مختلفة ، مثل أنابيب الكوارتز الشفافة ، وأنابيب الكوارتز غير المعتمة ، وأنابيب الكوارتز البيضاء البيضاء ، وما إلى ذلك.