Verre de quartz JGS1 à haute uniformité optique

Le verre de quartz JGS1 à haute uniformité optique est un matériau transparent de haut niveau spécialement conçu pour les systèmes optiques haut de gamme, avec une non-uniformité d'indice de réfraction extrêmement faible (Δ n ≤ 1 × 10 ⁻⁶) et une excellente transmission spectrale. En tant que principal fabricant mondial de produits à quartz personnalisés, nos produits de qualité JGS1 suivent strictement les normes internationales et éliminent parfaitement la distorsion du front d'onde. Ce sont des substrats essentiels dans les domaines de la lithographie ultraviolette profonde, des lasers à haute énergie et de l’interférométrie de précision.

Foire aux questions (FAQ)

Q1 : Quelles sont les différences essentielles dans les propriétés optiques entre le verre de quartz JGS1 et la silice fondue ordinaire ?

R : JGS1 appartient à la silice fondue synthétique et son principal avantage réside dans sa pureté chimique et son uniformité optique extrêmement élevées. Comparé au quartz naturel ou à la silice fondue de faible qualité, JGS1 a une transmission plus élevée de 185 nm à 2 500 nm et contient de très faibles bulles et impuretés internes. La chose la plus cruciale est que la non-uniformité de son indice de réfraction est contrôlée au millionième, ce qui peut efficacement éviter la distorsion du front d'onde causée par le passage des faisceaux lumineux, ce qui est incomparable au quartz ordinaire.

Q2 : Votre entreprise peut-elle fournir un traitement personnalisé du quartz JGS1 avec des tailles non standard ou des formes de surface spéciales ?

R : Absolument possible. En tant que fabricant professionnel de produits en quartz personnalisés, nous fournissons des services de personnalisation complets aux clients du monde entier. Qu'il s'agisse de fenêtres optiques à très grande ouverture, de prismes irréguliers ou de substrats de lentilles avec des exigences de précision de surface extrêmement élevées, nous pouvons les couper, les meuler, les polir et les revêtir selon les dessins du client, avec un contrôle de tolérance jusqu'au niveau nanométrique.

Q3 : Quel est le seuil de résistance aux dommages du matériau JGS1 dans un environnement ultraviolet profond (DUV) ?

R : Le verre de quartz JGS1 présente une excellente résistance aux dommages causés par le laser en raison de sa faible teneur en hydroxyle et de sa structure dense. Aux longueurs d'onde de 193 nm (laser excimère ArF) et 248 nm (laser excimère KrF), son seuil de dommages corporels et son seuil de dommages de surface sont tous deux au premier niveau de l'industrie, ce qui le rend très approprié pour les environnements d'application laser haute puissance et à taux de répétition élevé.

Q4 : Comment garantir l'uniformité optique et la cohérence des produits achetés en gros ?

R : Nous adoptons des processus de test avancés, et chaque lot de produits JGS1 quittant l'usine est soumis à des tests d'interféromètre de haute précision (tels que l'interféromètre Zygo) et fournissons des rapports de tests détaillés (y compris une carte de distribution de l'indice de réfraction, des données de biréfringence de contrainte, etc.). Notre système de gestion de la qualité garantit que chaque étape, depuis la fusion des matières premières jusqu'au polissage final, est contrôlable, garantissant ainsi la cohérence de la livraison mondiale des produits.

Pour les utilisateurs engagés dans la recherche et la fabrication optiques de précision, la « distorsion du front d'onde » et la « perte d'énergie » sont les deux principaux problèmes. Les petites fluctuations de densité à l'intérieur des matériaux optiques ordinaires peuvent provoquer une divergence du faisceau laser ou un flou d'imagerie, réduisant directement la résolution du système ; L'absorption des impuretés peut entraîner un effet de lentille thermique et même une explosion de matériau sous un laser haute puissance.

Notre verre de quartz JGS1 à haute uniformité optique est conçu pour résoudre ces problèmes :

Résoudre le problème de la distorsion de l'image : l'uniformité ultime de l'indice de réfraction garantit qu'il n'y a pas d'erreur de phase lorsque le faisceau passe à travers, garantissant ainsi la résolution maximale des machines de lithographie, des télescopes et d'autres systèmes.

Répondre aux effets thermiques de haute puissance : le coefficient d'absorption ultra-faible minimise l'augmentation de la température du matériau sous irradiation laser à haute énergie, maintenant ainsi la stabilité du système optique.

Relever les défis de la personnalisation : dépasser les limites des pièces standard, offrir aux utilisateurs une personnalisation unique, des matières premières aux composants finis, raccourcissant ainsi le cycle de recherche et développement.

Indicateurs de performances optiques ultimes

Transmission spectrale : la transmission moyenne est > 90 % dans la plage de 185 nm à 2 500 nm, en particulier dans la région ultraviolette profonde.

Uniformité optique : Δ n ≤ 1 × 10 ⁻⁶, garantissant une distorsion minimale du front d'onde et répondant aux exigences de la lithographie ultraviolette extrême (EUV) et ultraviolette profonde (DUV).

Biréfringence à faible contrainte : <5 nm/cm, adaptée aux systèmes optiques sensibles à la polarisation.

Scénarios largement applicables

Équipement de lithographie à semi-conducteurs : utilisé comme groupe d'objectifs de projection, substrat de masque et lentille de système d'éclairage.

Système laser à haute énergie : utilisé pour l'extenseur de faisceau laser, le miroir de focalisation, le miroir de couplage de sortie et le dispositif de fusion par confinement inertiel.

Mesure et tests de précision : miroir de référence interférométrique, plate-forme optique de haute précision, miroir principal du télescope astronomique.

Optique aérospatiale : lentilles de charge utile des satellites, fenêtres d'instruments de télédétection spatiale, tolérantes aux différences extrêmes de température et aux rayonnements.

Capacité de service de personnalisation globale

Nous sommes bien conscients des exigences strictes en matière de spécifications et de tailles dans différents scénarios d'application. S'appuyant sur des équipements avancés de traitement à froid et de formage à chaud, nous fournissons :

Personnalisation de la taille : Divers disques, blocs et pièces irrégulières avec des diamètres allant de 10 mm à 600 mm+.

Précision de surface : il peut fournir une planéité et une sphéricité avec λ/20 à 632,8 nm ou une précision encore plus élevée.

Traitement de surface : comprenant un polissage ultra lisse, un film antireflet (AR), un film à haute réflectivité (HR) et des services de revêtement personnalisés pour les films spectraux.

Analyse de cas d'application typique

Cas 1 : Un observatoire réputé (utilisé pour calibrer de grands télescopes)

Lors de la construction d'un télescope astronomique à grande ouverture, l'équipe de recherche avait besoin d'une fenêtre optique à haute uniformité d'un diamètre de 450 mm et d'une épaisseur de 40 mm comme miroir de correction du champ d'image pour le foyer principal du télescope. Le matériau doit avoir une transmission extrêmement élevée dans la plage de longueurs d'onde du visible au proche infrarouge, et la distorsion du front d'onde à pleine ouverture doit être inférieure à λ/6. La billette JGS1 à haute uniformité préparée par la méthode CVD a été soumise à un meulage et un revêtement de précision, et le produit final livré présentait une distorsion du front d'onde à pleine ouverture supérieure à λ/8 lors des tests d'acceptation, ce qui a aidé le télescope à obtenir une imagerie spatiale plus claire.

Cas 2 : Un institut de recherche en physique des hautes énergies en Europe - Fenêtre de transmission laser à fusion par confinement inertiel

Contexte du client

L'institut de recherche construit un dispositif expérimental de fusion laser à grande échelle, qui nécessite un matériau de fenêtre sous vide de grand diamètre (Φ 300 mm) pour résister au bombardement synchrone de plusieurs faisceaux laser à haute énergie.

faire face à des défis

Les fenêtres en quartz traditionnelles sont sujettes aux effets de lentille thermique à des densités d'énergie élevées, conduisant à une dérive focale ; De plus, les matériaux de grande taille sont difficiles à garantir une uniformité optique globale et sont sujets à des points chauds locaux pouvant provoquer des explosions.

solution

Nous avons utilisé notre technologie unique de fusion de quartz synthétique de grande taille pour préparer pour nos clients des plaques JGS1 de grand diamètre sans rayures ni bulles.

Contrôle de l'uniformité : grâce à un processus de recuit spécial, les contraintes résiduelles à l'intérieur des feuilles de grande taille sont éliminées pour garantir Δ n ≤ 1 × 10 ⁻⁶.

Optimisation du seuil de dommages : la surface a été soumise à un super nettoyage et à un traitement de revêtement spécial, augmentant le seuil de dommages laser à 15 J/cm ⊃2 ; (10ns, 1064nm).

Efficacité des applications

Cette fenêtre a montré des performances stables dans plusieurs expériences de prise de vue à pleine puissance, sans aucune déformation thermique ni dommage, garantissant ainsi l'exactitude des données expérimentales et le fonctionnement sûr de l'appareil. Le client a évalué notre produit comme répondant aux normes d'admission des meilleurs laboratoires internationaux.

Que vous ayez besoin d'une vérification de prototype de haute précision en une seule pièce ou d'un achat en gros à grande échelle, nous sommes prêts à vous fournir la solution de personnalisation du verre de quartz JGS1 la plus professionnelle. Veuillez contacter notre équipe commerciale mondiale pour une consultation technique et des tarifs gratuits.

Luverre Quartz fabrique et vend une large gamme de verre de quartz de haute qualité, notamment des tubes de quartz, des plaques de quartz, des tiges de quartz, des fenêtres en quartz, des creusets en quartz, des bateaux en quartz, des brides en quartz, des béchers en quartz, des instruments en verre de quartz, etc. Nous pouvons répondre à toutes sortes d’exigences personnalisées en matière de produits en verre de quartz.