|
高い光学均一性 JGS1 石英ガラス
光学均一性の高いJGS1石英ガラスは、 屈折率不均一性が極めて低く(Δn≦1×10-6)、分光透過率に優れた、ハイエンド光学系向けに特別に設計された最高レベルの透明材料です。カスタマイズされたクォーツ製品の世界的大手メーカーとして、当社の JGS1 グレード製品は国際規格に厳密に準拠し、波面歪みを完全に除去します。これらは、深紫外リソグラフィー、高エネルギーレーザー、精密干渉法の分野において不可欠なコア基板です。
よくある質問 (FAQ)
Q1: JGS1 石英ガラスと通常の溶融シリカの光学特性の本質的な違いは何ですか?
A: JGS1 は合成石英ガラスに属し、その主な利点はその極めて高い化学純度と光学的均一性にあります。 JGS1は、天然石英や低品位溶融シリカに比べ、185nm～2500nmの透過率が高く、内部の気泡や不純物が非常に少ないのが特徴です。最も重要なことは、その屈折率不均一性が100万分の1に制御されていることです。これにより、通常の石英とは比べものにならない、光線の通過によって引き起こされる波面歪みを効果的に回避できます。
Q2: 規格外のサイズや特殊な表面形状の JGS1 クォーツのカスタマイズ加工は可能ですか?
A: 絶対に可能です。カスタマイズされたクォーツ製品の専門メーカーとして、当社は世界中のお客様に包括的なカスタマイズサービスを提供しています。超大口径光学窓、不規則プリズム、極めて高い面精度が要求されるレンズ基板など、お客様の図面に応じて切断、研削、研磨、コーティングをナノメートルレベルまでの公差管理で対応します。
Q3: 深紫外 (DUV) 環境における JGS1 材料の耐損傷性の閾値はどれくらいですか?
A: JGS1 石英ガラスは、水酸基含有量が低く、構造が緻密であるため、レーザー損傷に対して優れた耐性を示します。 193nm (ArF エキシマ レーザー) および 248nm (KrF エキシマ レーザー) の波長では、本体損傷しきい値と表面損傷しきい値はいずれも業界トップレベルにあり、高出力、高繰り返し率のレーザーアプリケーション環境に非常に適しています。
Q4: 大量購入した製品の光学的均一性と一貫性を確保するにはどうすればよいですか?
A: 当社は高度なテストプロセスを採用しており、工場から出荷される JGS1 製品の各バッチは高精度干渉計テスト (Zygo 干渉計など) を受け、詳細なテストレポート (屈折率分布マップ、応力複屈折データなどを含む) を提供します。当社の品質管理システムは、原材料の溶解から最終研磨までのすべてのステップを制御可能にし、世界的な製品供給の一貫性を保証します。
精密光学の研究と製造に従事するユーザーにとって、「波面歪み」と「エネルギー損失」は 2 つの主要な問題点です。通常の光学材料内の小さな密度変動は、レーザービームの発散や画像のぼやけを引き起こし、システムの解像度を直接低下させる可能性があります。不純物の吸収により、熱レンズ効果が発生したり、高出力レーザー下では物質の爆発が発生したりする可能性があります。
当社の高い光学均一性 JGS1 石英ガラスは、次の問題に対処するように設計されています。
結像歪みの問題の解決: 屈折率が究極的に均一であるため、ビームが通過するときに位相エラーがなくなり、リソグラフィー機、望遠鏡、その他のシステムの最大解像度が保証されます。
高出力の熱影響への対処: 超低吸収係数により、高エネルギーレーザー照射下での材料の温度上昇を最小限に抑え、光学系の安定性を維持します。
カスタマイズの課題への対応: 標準部品の限界を打ち破り、原材料から完成部品までワンストップのカスタマイズをユーザーに提供し、研究開発サイクルを短縮します。
究極の光学性能インジケーター
分光透過率: 平均透過率は 185nm ～ 2500nm の範囲で、特に深紫外領域で >90% です。
光学均一性: Δ n ≤ 1 × 10 ⁻⁶、波面歪みを最小限に抑え、極紫外線 (EUV) および深紫外線 (DUV) リソグラフィーの要件を満たします。
低応力複屈折: <5 nm/cm、偏光に敏感な光学システムに適しています。
広く適用可能なシナリオ
半導体露光装置： 投影対物レンズ群、マスク基板、照明系レンズとして使用。
高エネルギーレーザーシステム: レーザービームエキスパンダー、集束ミラー、出力結合ミラー、慣性閉じ込め核融合装置に使用されます。
精密測定と検査: 干渉計参照ミラー、高精度光学プラットフォーム、天体望遠鏡主鏡ブランク。
航空宇宙光学: 衛星ペイロード レンズ、宇宙リモート センシング機器の窓、極端な温度差や放射線に対する耐性。
グローバルなカスタマイズサービス機能
当社は、さまざまな用途シナリオにおける仕様とサイズに対する厳しい要件を十分に認識しています。高度な冷間加工および熱間成形装置を活用して、以下を提供します。
サイズのカスタマイズ: 直径 10mm から 600mm+ までのさまざまなディスク、ブロック、不規則な部品。
表面精度: λ/20 @ 632.8nm またはそれ以上の精度で平坦性と真球性を実現できます。
表面処理： 超平滑研磨、反射防止膜（AR）、高反射膜（HR）、分光膜のカスタマイズコーティングサービスなど。
代表的なアプリケーション事例の分析
ケース 1: 有名な天文台 (大型望遠鏡の校正に使用)
大口径天体望遠鏡を構築する際、研究チームは望遠鏡の主焦点の像面補正ミラーとして、直径 450 mm、厚さ 40 mm の均一性の高い光学窓を必要としました。この材料は、可視から近赤外の波長範囲で極めて高い透過率を有し、全開口波面歪みが λ/6 未満である必要があります。 CVD法で作製された均一性の高いJGS1ビレットには精密研削とコーティングが施され、納入された最終製品は受け入れテストで全開口波面歪みがλ/8を超え、望遠鏡がより鮮明な深宇宙画像を取得するのに役立ちました。
事例 2: ヨーロッパの高エネルギー物理学研究機関 - 慣性閉じ込め核融合レーザー透過窓
顧客の背景
同研究所では、複数の高エネルギーレーザー光の同時照射に耐えられる大口径（Φ300mm）の真空窓材を必要とする大型レーザー核融合実験装置を構築している。
課題に直面する
従来の石英ウィンドウは、高エネルギー密度で熱レンズ効果を受けやすく、焦点ドリフトを引き起こします。さらに、大きなサイズの材料は全体的な光学的均一性を確保することが難しく、爆発を引き起こす可能性のある局所的なホットスポットが発生しやすいです。
解決
独自の大口径合成石英溶解技術を駆使し、スジや気泡のない大口径プレートJGS1をご用意しました。
均一性制御：特殊なアニーリングプロセスにより、大型シート内の残留応力を除去し、Δ n ≤ 1 × 10 ⁻⁶ を確保します。
損傷閾値の最適化: 表面にはスーパークリーニングと特殊コーティング処理が施され、レーザー損傷閾値が 15 J/cm ⊃2 に増加しました。 (10ns、1064nm)。
アプリケーションの有効性
このウィンドウは、複数のフルパワー射撃実験において、熱による変形や損傷がなく、安定した性能を示しており、実験データの精度とデバイスの安全な動作を効果的に確保しています。お客様は、当社の製品が一流の国際研究所の入学基準を満たしていると評価しました。
単体の高精度プロトタイプの検証が必要な場合でも、大規模な一括調達が必要な場合でも、当社は最もプロフェッショナルな JGS1 石英ガラスのカスタマイズ ソリューションを提供する準備ができています。無料の技術相談と価格については、当社のグローバル営業チームにお問い合わせください。
ルベールクォーツは 、石英管、石英板、石英ロッド、石英窓、石英るつぼ、石英ボート、石英フランジ、石英ビーカー、石英ガラス器具など、幅広い高品質の石英ガラスを製造・販売しています�56709a4b0eb6b=購入の提案
