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500-10000mm 石英炉管は 、高温実験および工業生産の中核コンポーネントです。高純度の石英素材を使用しており、高温や腐食に強く、透明度も良好です。その長さは複数のシーン要件をカバーしており、プロセスの安定性を確保するために半導体、太陽光発電、材料焼結などの分野で広く使用されています。
石英製品の専門メーカーとして、当社は長さ 500 ミリメートルから 10000 ミリメートル (10 メートル) までの高品質のカスタマイズされた石英炉管の提供を専門としています。これらの製品は、高度な熱処理と精密製造プロセスを経て高純度石英材料（SiO 2 含有量 ≥ 99.99%）から作られており、優れた熱安定性、化学的不活性性、光学特性を備えており、世界中のさまざまな産業分野での高温処理や環境制御用途に適しています。
製品の応用分野
半導体および太陽光発電産業
-ウェーハの拡散、酸化、アニーリングプロセス
-太陽電池製造における高温処理
-半導体材料の化学蒸着（CVD）
科学研究および実験室
- 材料科学高温実験
・化学合成反応容器
-精密分析機器部品
工業用熱処理
・金属材料の熱処理
・ガラス加工
・特殊セラミック焼結
オプトエレクトロニクスおよび光ファイバー産業
-光ファイバ母材の製造
-特殊ガラス溶解
-光学部品の製造
製品の主な利点
1. 優れた材料性能
-超高純度： 純度99.99％以上の高品質の天然珪砂を使用し、汚染を保証しません。
-熱安定性： 軟化点1730℃まで、長期使用温度1200℃
・熱膨張係数： 5.5×10⁻⁷/℃と低く、耐熱衝撃性に優れています。
・優れた光学性能： 紫外～赤外の波長域で優れた透過率
2. 精密な製造工程
-寸法精度: 直径公差±0.5mm、肉厚均一性>95%
-表面品質： 内外面平滑度Ra≤0.8μm、パーティクル汚染を低減
-幾何精度: 真直度 ≤ 0.1%、楕円率 ≤ 0.5%
3. カスタマイズされた生産能力
-長さ範囲: 500mm-10000mm、連続的に調整可能
-直径範囲: 標準製品 20-300mm、特別な要件は 600mm に達する可能性があります
・複雑構造： フランジ界面、多分岐管、観察窓等の一体構造も製作可能
-特殊処理： 石英ライニング、コーティング、メタライゼーションなどの二次加工を提供します。
対処すべき主要な問題
1. 高温環境下での性能低下
従来の材料は、長期間の高温下で変形や結晶化が起こりやすいです。当社の石英炉管は、最適化された熱処理プロセスにより結晶化に対する高温耐性が大幅に向上し、長期にわたる安定した動作を保証します。
2. プロセス汚染のリスク
低純度の石英材料はプロセス環境に金属不純物を導入する可能性があります。当社の高純度石英材料は不純物元素の総量を 50ppm 未満に制御しており、極めて高い清浄度が要求される半導体プロセスに特に適しています。
3. 熱応力による損傷
有限要素解析による設計の最適化と特殊な焼きなましプロセスの組み合わせにより、当社製品の熱応力は 40% 以上軽減され、寿命と安全性が大幅に向上しました。
4. 大型製品の製造の難しさ
当社独自の水平回転加熱技術と精密な寸法制御システムにより、超長尺石英管（長さ10メートルまで）の真直度、真円度、肉厚均一性の問題を解決します。
顧客事例の共有
事例1：欧州の半導体製造装置メーカー
課題: お客様は、新世代の 300 mm ウェーハ拡散装置用に、真直度誤差 < 0.08%、内面粗さ Ra ≤ 0.4 μ m の、長さ 8 メートルの超高純度石英炉管を必要としています。
解決策: 特殊な配合の石英材料と独自に開発した水平回転加熱プロセスを組み合わせて、3 回のアニーリング処理によって内部応力を除去します。
結果: 製品は技術仕様を完全に満たしており、お客様の機器は SEMI 規格認証に合格しました。 18 か月以上、パフォーマンスが低下することなく安定して実行されています。
事例 2: 北米太陽光発電研究所
課題: クライアントは新しい太陽光発電材料の研究を行っており、急速な熱サイクル (室温から 1100 ℃まで) に耐え、複数のガス導入口と観察窓を統合できる透明な石英管を必要としています。
解決策: 熱衝撃耐性を向上させるために傾斜アニール技術を使用して、統合されたマルチブランチ構造を設計し、光学グレードの石英観察窓を統合しました。
結果: 製品は 500 回を超える急速熱サイクル後も無傷のままであり、お客様が新材料の研究開発プロジェクトを正常に完了するのに役立ちました。
事例 3: アジアの特殊ガラスメーカー
課題: お客様は特殊な光学ガラスを製造するために直径 450 mm、長さ 6 メートルの石英炉管を必要とし、作業温度を 1250 ℃ 以上に長時間維持する必要があります。
解決策: 当社は、高温での寸法安定性を確保するための強化されたサポート構造設計と組み合わせた、特殊な結晶化防止配合の石英素材を開発しました。
結果： 12ヶ月連続運転後、結晶化層の厚さが従来品の30％となり、寿命が2倍以上延長されました。
高温工業処理の分野では、石英炉管は容器であるだけでなく、プロセスの成否を左右する重要な要素でもあります。 25 年にわたる専門的な経験と技術の蓄積により、当社は標準サイズから複雑なカスタマイズに至るまで、世界中のお客様に高性能クォーツ ソリューションを提供しています。半導体製造、太陽光発電、最先端の科学研究のいずれの分野であっても、当社の製品はその優れた性能と信頼性により世界中の顧客から信頼を獲得しています。
石英炉管を使用する際にどのような問題や課題に遭遇しましたか?高温でのパフォーマンスの低下、特殊なサイズ要件を満たすのが難しいこと、または他のシステム コンポーネントとの互換性の問題が原因でしょうか?メッセージを残して私たちとコミュニケーションをとることを歓迎します。当社の技術チームが専門的なアドバイスとソリューションを提供します。
Luverre Quartz は 、溶融石英管、溶融石英プレート、溶融石英ロッド、溶融石英窓、溶融石英るつぼ、溶融石英ボート、溶融石英フランジ、溶融石英ビーカー、溶融石英ガラス器具などを含む、幅広い高品質の溶融石英ガラスを製造および販売しています。溶融石英ガラス製品のあらゆるカスタマイズ要求にお応えします。
詳細につきましては、お気軽にお問い合わせください。
なぜ私たちを選ぶのですか?
1.私たちはより経験豊富です。
当社は18年以上のクォーツ製品の製造経験があります。
2.私たちはより効率的です。
私たちはお客様のご要望に24時間以内にお答えし、高効率の生産、エンジニア、販売チームを擁しています。
3.当社の品質はより保証されています。
石英塊から石英砂、そして石英製品に至るまでの品質管理を行っており、他メーカーと比べてより厳格な品質管理を行っております。
4.より困難な石英製品の生産が可能です。
当社は大型の研削盤と精密エッチング機を備えており、大型の石英プレート、チューブ、高サイズの精密石英製品の生産が可能です。
