JGS1 UV光学透明石英板
JGS1 UV光学 透明石英板は、溶融石英板または合成石英板とも呼ばれ、高純度の合成二酸化ケイ素(SiO ₂)原料を高温で溶解し、精密加工して作られた高性能光学材料です。優れた UV 透過率、熱安定性、化学純度、高いレーザー損傷閾値で知られており、深紫外 (UV) から近赤外 (NIR) までの広いスペクトル範囲における要求の厳しい用途に最適です。

主な機能と価値:
優れた紫外線透過率: JGS1石英板は、深紫外線帯域(特に180nm~250nm)において比類のない透過率性能を有し、通常の光学ガラスや他の種類の石英ガラス(JGS2など)に比べてはるかに優れています。このため、紫外光学システムの中核材料となります。
優れた熱安定性: 熱膨張係数が極めて低いため、亀裂や変形を起こすことなく急激な温度変化に耐えることができ、高温や熱衝撃環境下でも寸法安定性と光学性能を確保します。
高いレーザー損傷閾値: 材料の内部不純物とヒドロキシル (OH ⁻) 含有量が極めて低く、高出力紫外線レーザーの長期照射に耐えることができ、容易にカラーセンターや損傷を生成することなくデバイスの寿命を延ばします。
優れた化学純度と耐食性: 合成プロセスで製造されており、金属不純物をほとんど含まず、ほとんどの酸や化学薬品(フッ酸、熱リン酸を除く)に対して優れた耐食性を有し、クリーンで腐食性の環境に適しています。
高硬度と機械的強度: 表面はモース硬度が高く、耐摩耗性と耐傷性があり、複雑な作業条件下でも耐久性を確保します。

この製品はどのような問題を解決できますか?
多くのハイエンドアプリケーションでは、通常の光学材料は、独自の制限によりシステムパフォーマンスの低下、寿命の短縮、さらには故障につながる可能性があります。 JGS1 クォーツ プレートは、次のような問題点に対処するように設計されています。
1.「紫外線の非効率的な透過」の問題を解決します。
問題点: 通常のガラスや光学材料は紫外光、特に 200nm 未満の深紫外光を大幅に吸収するため、光源エネルギーが大幅に損失され、システム効率が非常に低くなります。
解決策: JGS1 石英プレートは、紫外帯域 (特に 185nm や 254nm などの重要なスペクトル線) での透過率が非常に高く、紫外光の効率的かつ無損失の透過を保証し、光源エネルギーの利用を最大限に高めます。
2.「高温環境下でのパフォーマンス低下」の問題を解決します。
問題点: 多くの光学材料は、高温または低温と高温が交互に繰り返される環境下で軟化、変形、亀裂が発生し、光学コンポーネントの焦点距離の変化、画像品質の低下、さらには物理的損傷につながります。
ソリューション: JGS1 石英プレートの優れた熱安定性により、1000 ℃までの一定温度で長時間動作し、激しい熱衝撃にも耐えることができ、高温炉や半導体拡散プロセスなどの過酷な環境でも光学系の安定した動作が保証されます。
3. 高エネルギーレーザーによるコンポーネントの損傷の問題を解決します。
問題点: 紫外線レーザー加工やフォトリソグラフィーなどのアプリケーションでは、通常の光学コンポーネントはレーザー損傷閾値が低く、高エネルギー密度のレーザーパルスによって容易に損傷を受け、ダークスポットや亀裂が形成され、頻繁に交換する必要があります。
解決策: JGS1 石英プレートの純粋な材料と高いレーザー損傷閾値により、高出力紫外線レーザー光学システム (エキシマ レーザーなど) のウィンドウ、プリズム、ビーム エキスパンダー、およびその他のコンポーネントに最適なコンポーネントとなり、機器の信頼性と耐用年数が大幅に向上します。
4.「物質汚染プロセス環境」の問題を解決します。
問題点: 金属不純物の汚染は、半導体および集積回路の製造において致命的です。通常の光学材料では微量の金属イオンが析出し、ウエハを汚染する場合があります。
解決策:JGS1合成石英板は化学純度が極めて高く、アルカリ金属などの不純物を含みません。これは、半導体プロセスにおけるフォトマスク基板や CVD キャビティ観察窓などの主要コンポーネント用の「クリーン」な材料であり、チップ製造の歩留まりを保証します。

主な応用分野
JGS1 水晶板は、上記のユニークな性能により、以下のハイテク分野で広く使用されています。
UV リソグラフィーと半導体製造:
DUVリソグラフィー装置のレンズ、プリズム、フォトマスク基板として使用されます。
半導体の拡散や酸化のプロセスに使用されるファーネスチューブ観察窓。
分析機器と分光学:
UV分光光度計、蛍光分光計、ICP-MSなどの機器のサンプルセル、比色皿、光学窓として。
紫外レーザー用の出力ウィンドウと光学コンポーネントの作成に使用されます。
医療および生命科学:
UV滅菌装置の観察窓で、滅菌用UV-C光を効率よく透過します。
DNAシーケンサーやフローサイトメーターなどの生物学的機器の光学部品として。
高エネルギーレーザーシステム:
エキシマレーザー(KrF、ArFなど)やフェムト秒レーザーなどのシステムの反射板、ビームエキスパンダー、保護窓として。
工業加工および科学研究:
UV硬化装置、露光機、レーザー加工装置などに使用されます。
高温炉や真空チャンバーの観察窓として。

カスタマイズされたサービス
標準製品ではすべてのお客様の固有のニーズを満たすことができないことを私たちは承知しています。そのため、私たちはお客様の設計コンセプトを現実化するための、包括的かつ高精度のカスタマイズサービスを提供します。
サイズと形状のカスタマイズ:
円形、正方形、長方形、その他の不規則な輪郭のボードを提供できます。
サイズ範囲はミリメートルから数百ミリメートルまであり、デバイスのスペースに応じて正確に切断できます。
厚さのカスタマイズ:
当社は、さまざまな機械的強度と光学設計要件を満たすために、0.5 mm の薄板から 50 mm を超える厚板まで、さまざまな厚さのオプションを提供しています。
表面精度と滑らかさのカスタマイズ:
表面形状:λ/10の高平坦度まで加工可能。
表面平滑性:研磨面(20/10スクラッチ/ディグなど)からつや消し面まで、用途に応じてさまざまなグレードをご用意しております。
平行度: 高精度のビーム偏向用途に合わせて正確に制御できます。
コーティングサービス:
当社は、特定の波長 (193nm、248nm、355nm など) で最適な透過または反射性能を実現し、システムの光エネルギー損失をさらに削減するために、UV 反射防止フィルム (AR)、反射フィルム、分光フィルムなどの専門的にカスタマイズされたコーティング サービスを提供します。
面取りと穴あけ:
エッジ割れを防ぐ安全な面取り加工を施しております。
図面の要件に従って精密な穴あけを行うことができるため、取り付けや統合が簡単に行えます。

信頼性の高い高性能の深紫外光学材料をお探しの場合は、JGS1 UV 透明石英プレートが最適な選択肢になります。当社の技術チームはいつでも、製品の選択、技術的な相談、カスタマイズされたソリューションのサポートを提供する準備ができています。
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