고순도 용융 석영 도가니

순도가 높은 용융 석영 도가니 는 고순도 석영사(SiO 2 함유량 ≥ 99.99%)를 고온 용융, 정밀 성형, 특수 후처리 공정을 거쳐 제작한 핵심용기입니다. 핵심 장점은 뛰어난 열 안정성, 화학적 불활성, 낮은 열팽창 계수로 극한 온도 환경(0~1600℃)에서도 구조적 안정성을 유지할 수 있다는 점입니다. 반도체, 태양광발전, 정밀주조 등 분야에서 대체불가한 핵심 소모품입니다.

핵심 기능

초순수 소재: 불순물 함량이 100ppm 미만이며 금속 이온 오염을 방지하고 반도체 등급 청결도 요구 사항을 충족합니다.

열충격 저항: 급속한 냉각 및 가열(ΔT ≤ 300 ℃/s)을 견딜 수 있어 열 응력으로 인한 균열 위험을 줄입니다.

내식성: 강산(HF 제외), 강염기 및 용융 금속에 대한 저항성이 매우 강하여 수명이 연장됩니다.

높은 투과율: 자외선~적외선 대역의 투과율은 90% 이상으로 광학 재료 용융에 적합합니다.

맞춤형 디자인: 모양, 크기, 벽 두께 및 표면 처리(연마 및 코팅 등)에 대한 맞춤형 맞춤화를 지원합니다.

일반적인 애플리케이션 시나리오

(1) 반도체 산업

단결정 실리콘 성장: Czochralski 방법(Czochralski 방법) 단결정 로의 핵심 용기로서 다결정 실리콘 용융 공정을 수행하여 실리콘 결정의 순도가 9N 이상에 도달하도록 보장합니다.

화합물 반도체: GaAs, InP 등 III-V 화합물을 녹여 금속 불순물 도입으로 인한 격자 결함을 방지하는 데 사용됩니다.

Epitaxis Deposition : MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)용 반응챔버로, 박막의 균일성을 보장합니다.

문제점 해결: 기존 흑연 도가니 교체, 탄소 오염 위험 제거, 웨이퍼 수율 15% -20% 향상.

(2) 태양광 산업

다결정 실리콘 잉곳: 방향성 응고 방식으로 실리콘 소재를 담지하고 정밀한 온도 제어를 통해 낮은 불량률의 실리콘 잉곳 생산을 실현합니다.

PERC 셀 준비: 확산로 석영 보트로서 고온 인 확산 과정을 견딜 수 있고 유리층 박리를 줄일 수 있습니다.

문제점 해결: 도가니의 서비스 수명을 200배 이상으로 연장하고 와트당 비용을 0.03위안 절감합니다.

(3) 정밀주조 및 특수합금

티타늄 합금 용해: 도가니 재료와의 반응을 피하기 위해 진공 아크로에서 티타늄 및 지르코늄과 같은 활성 금속을 운반합니다.

광학 유리 성형: 불화칼슘, 게르마늄 유리 등 굴절률이 높은 재료를 녹여 광학적 균일성을 보장하는 데 사용됩니다.

문제점 해결: 백금 로듐 합금 도가니를 교체하면 귀금속 손실과 오염을 방지하면서 비용을 80% 절감할 수 있습니다.

(4) 연구 및 특수 실험

고온 화학 반응: 오토클레이브의 내부 라이닝으로 극한의 pH 환경과 고압 조건을 견딜 수 있습니다.

양자 재료 합성: MBE(분자빔 에피택시) 시스템에서 원자 수준의 깨끗한 표면을 제공합니다.

맞춤형 서비스

우리는 고객, 장비, 프로세스에 따라 도가니에 대한 요구 사항이 다르다는 것을 잘 알고 있습니다. 따라서 당사는 당사 제품이 귀하의 생산 시스템과 완벽하게 일치할 수 있도록 포괄적이고 유연한 맞춤 서비스를 제공합니다.

크기 사용자 정의:

귀하의 퍼니스 모델에 따라 다양한 직경, 높이, 바닥 모양(평평한 바닥, 볼 바닥) 및 기울기로 도가니를 맞춤 제작할 수 있습니다.

우리는 소규모 실험실 크기(예: 몇 인치)부터 대형 산업 크기(예: 32인치, 36인치 이상)까지 모든 범위의 제품을 제공합니다.

벽 두께 맞춤화:

다양한 열장 설계, 단열 성능 및 기계적 강도 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 측벽 및 바닥 두께의 솔루션을 제공합니다.

코팅 맞춤화:

내벽의 바륨/세륨 코팅: 이는 반도체 등급 도가니의 표준 옵션입니다. 코팅은 고온에서 치밀한 장벽층을 형성하여 도가니와 실리콘 액체 사이의 반응과 결정화를 효과적으로 억제하고 석영 층의 형성을 지연시키며 도가니의 서비스 수명을 크게 연장하고 실리콘 액체 오염을 줄일 수 있습니다.

당사는 귀하의 공정 요구 사항에 따라 다양한 두께와 구성의 코팅 솔루션을 제공할 수 있습니다.

순도가 매우 높고 안정적인 고순도 용융 석영 도가니를 사용하여 고품질 생산을 위한 견고한 기반을 만들어 보세요. 문의 및 협력을 환영합니다!

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